【技术实现步骤摘要】
本技术涉及排气装置的，尤其涉及一种排风水洗结构。
技术介绍
1、清洗设备在半导体行业中广泛被使用，而排风机构是设备的重要组成部分。将管路中的气体通过排风结构排除，使得管路压力保持在安全范围内，保证设备的安全使用。排风的效率会影响设备的洁净与安全，而气体的液化结晶是影响排风效率的重要因素。结晶体会导致排风机构内的空间不断被压缩，从而影响设备的排风效率。受设备内部的空间限制，无法使用专门的排风设备来实现排风功能。所以需要设备专门的排风结构应用于清洗设备。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种排风水洗结构。
2、为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
3、一种排风水洗结构，其中，包括：
4、排风腔体，所述排风腔体连接外部抽气装置，包括底板及侧板，所述侧板包括平行设置的靴形侧板，及垂直于所述靴形侧板设置的直侧板和折侧板，所述靴形侧板、所述直侧板及所述折侧板均垂直连接于所述底板并构成一靴状的排风腔体；其中，
5、所述折侧板包括自下而上设置的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板和所述第三侧板平行于所述直侧板设置，所述第二侧板呈斜坡面，且所述第二侧板和所述第三侧板的连接处设置有第一挡板；
6、所述直侧板的底部设置有进气口；
7、所述底板上自所述折侧板至所述直侧板依此设置有栅板、第二挡板及出水口；
8、所述第一挡板和所述第二挡板设置角度相互配合，在所述排风腔体中形成开放的隔间，以防止所述进
9、上述的排风水洗结构，其中，所述第一挡板与所述第三侧板的夹角为135度，所述第二挡板垂直于所述底板。
10、上述的排风水洗结构，其中，所述第二侧板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积的2/3。
11、上述的排风水洗结构，其中，所述第二侧板和所述第一挡板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积。
12、上述的排风水洗结构，其中，所述直侧板的底部还设置有进水口，通过所述进水口进入的流动的水带动液化的酸气从所述出水口流出。
13、上述的排风水洗结构，其中，还包括固定板，所述固定板通过法兰接口设置在所述排风腔体的顶部，所述排风腔体通过所述法兰接口连接外部抽气装置。
14、上述的排风水洗结构，其中，所述第三侧板上设置有压差计接口，用于连接压差计，监测所述排风腔体的压差值。
15、一种清洗装置，包括上述任一项所述的排风水洗结构。
16、本技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：
17、(1)本技术能够防止液化的酸气不会从栅板处回流，从而保证机台不会被污染。
18、(2)本技术不仅具备排风功能，还具有自清洁功能，保证设备排风效。
19、(3)本技术具备检测系统，时刻检测内部是否有堵塞现象，保证设备的安全性。
20、(4)本技术可以按需集成于清洗设备内部，不占据另外的空间，是设备更具竞争力。
21、(5)本技术可以按需设置不同数量及口径的进出口，结构适用性更广。
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1.一种排风水洗结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第一挡板与所述第三侧板的夹角为135度，所述第二挡板垂直于所述底板。
3.根据权利要求1或2中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积的2/3。
4.根据权利要求3中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板和所述第一挡板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积。
5.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述直侧板的底部还设置有进水口，通过所述进水口进入的流动的水带动液化的酸气从所述出水口流出。
6.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，还包括固定板，所述固定板通过法兰接口设置在所述排风腔体的顶部，所述排风腔体通过所述法兰接口连接外部抽气装置。
7.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第三侧板上设置有压差计接口，用于连接压差计，监测所述排风腔体的压差值。
8.一种清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所
...【技术特征摘要】
1.一种排风水洗结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第一挡板与所述第三侧板的夹角为135度，所述第二挡板垂直于所述底板。
3.根据权利要求1或2中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积的2/3。
4.根据权利要求3中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板和所述第一挡板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积。
5.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐帅华，刘大威，徐铭，李盼盼，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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