【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工，具体涉及一种切片清洗机自动供液装置。
技术介绍
1、单晶硅棒经过线切割机切割生产后，硅片本身会带有许多硅粉、灰尘以及残余的粘接剂，因此在进入下一道工序前，必须对其进行有效的清洗。清洗硅片是在专用的清洗槽中进行，在清洗剂溶液和超声波的共同作用下对已切好的硅片进行表面清洗，去除硅片表面的残余硅粉、灰尘以及粘接条等。
2、清洗槽中的清洗剂溶液是通过清洗剂与水按比例混合而成，清洗槽中的清洗剂溶液需定期更换，因此需要重新向清洗槽内加入清洗剂。申请人所在车间有多个需要进行清洗剂注入的工位，因此为了方便供液，将供液罐放置在一个推拉小车上，供液罐与推拉小车之间设有定量电子称重器，在供液的时候，通过检测供液罐的重量变化，从而控制供液罐的供液量。同时为了防止定量电子称重器出现失误导致供液量不精准，还设置一个液位传感器，在供液的时候，根据供液量将液位传感器设置在需要上液的清洗槽内，并固定在与供液量适配的高度，通过液位传感器进一步检测供液量情况，如果液位传感器感应到液位超标，液位传感器发送信号，控制供液罐停止上液，避免因定量电子称重器出现失误，导致供液超量，影响硅片清洗质量。
3、但是该上液装置在投入使用的时候发现，每个需要进行清洗剂注入的工位中的清洗槽注液量要求不同，因此液位传感器的设置位置也不同，每次对其进行固定时，需要测量其需要设置的位置，操作较为繁琐，固定效率低。
技术实现思路
1、本技术的目的是了提供一种切片清洗机自动供液装置，能够提高液位传感器的固定
2、本技术为解决上述技术问题的不足，所采用的技术方案是：一种切片清洗机自动供液装置，包括供液车、液位传感器以及设在供液车上的供液罐，供液罐与供液车之间设有定量电子称重器，供液罐上连通有具有计量泵的供液管道，液位传感器的数据输出端通过信号线与计量泵控制端连接，所述液位传感器设置在标有位置刻度的量杆下部，量杆上滑动套设有套筒，套筒的侧壁设置有螺纹通孔，该螺纹通孔内旋设有能够顶紧量杆的顶持螺栓，套筒的外侧设有水平部与其连接的l形挂杆，l形挂杆的竖直部与套筒之间形成供清洗机槽上沿缘进入的挂设空间。
3、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述顶持螺栓位于套筒内的端面设有能与量杆接触的压片。
4、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述压片朝向量杆的一侧设有防滑胶垫。
5、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述l形挂杆的竖直部与套筒之间设有夹板，夹板与l形挂杆的竖直部之间设有压缩弹簧。
6、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述量杆的下部设有用于卡设液位传感器的箍环。
7、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述供液罐与供液管道连接处设有手动控制阀。
8、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述量杆的横截面为矩形。
9、作为本技术一种切片清洗机自动供液装置的进一步优化，所述量杆的两端均设有限位块。
10、本技术具有以下有益效果：本技术通过将液位传感器固定在标有位置刻度的量杆上，并在量杆上设置可以固定在清洗机槽上沿缘的套筒和l形挂杆，套筒滑动设置在量杆上，通过控制顶持螺栓对量杆的顶持，控制量杆的位置调节，通过调节量杆位置，便于将液位传感器设置在指定位置上，对其进行快速固定。
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1.一种切片清洗机自动供液装置，包括供液车(2)、液位传感器(8)以及设在供液车(2)上的供液罐(3)，供液罐(3)与供液车(2)之间设有定量电子称重器(1)，供液罐(3)上连通有具有计量泵(6)的供液管道(5)，液位传感器(8)的数据输出端通过信号线与计量泵(6)控制端连接，其特征在于：所述液位传感器(8)设置在标有位置刻度的量杆(7)下部，量杆(7)上滑动套设有套筒(11)，套筒(11)的侧壁设置有螺纹通孔，该螺纹通孔内旋设有能够顶紧量杆(7)的顶持螺栓(16)，套筒(11)的外侧设有水平部与其连接的L形挂杆(17)，L形挂杆(17)的竖直部与套筒(11)之间形成供清洗机槽上沿缘进入的挂设空间。
2.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述顶持螺栓(16)位于套筒(11)内的端面设有能与量杆(7)接触的压片(15)。
3.根据权利要求2所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述压片(15)朝向量杆(7)的一侧设有防滑胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述L形挂杆(17)的
5.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述量杆(7)的下部设有用于卡设液位传感器(8)的箍环(9)。
6.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述供液罐(3)与供液管道(5)连接处设有手动控制阀(4)。
7.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述量杆(7)的横截面为矩形。
8.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述量杆(7)的两端均设有限位块(14)。
...【技术特征摘要】
1.一种切片清洗机自动供液装置，包括供液车(2)、液位传感器(8)以及设在供液车(2)上的供液罐(3)，供液罐(3)与供液车(2)之间设有定量电子称重器(1)，供液罐(3)上连通有具有计量泵(6)的供液管道(5)，液位传感器(8)的数据输出端通过信号线与计量泵(6)控制端连接，其特征在于：所述液位传感器(8)设置在标有位置刻度的量杆(7)下部，量杆(7)上滑动套设有套筒(11)，套筒(11)的侧壁设置有螺纹通孔，该螺纹通孔内旋设有能够顶紧量杆(7)的顶持螺栓(16)，套筒(11)的外侧设有水平部与其连接的l形挂杆(17)，l形挂杆(17)的竖直部与套筒(11)之间形成供清洗机槽上沿缘进入的挂设空间。
2.根据权利要求1所述的一种切片清洗机自动供液装置，其特征在于：所述顶持螺栓(16)位于套筒(11)内的端面设有能与量杆(7)接触的压片(15)。
3.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓飞，王军，代玉超，冯亮亮，侯彦非，董阳峰，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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