一种适合大尺寸硅片的石墨舟片制造技术

技术编号:43352579 阅读:7 留言:0更新日期:2024-11-19 17:40
本技术涉及石墨舟制备领域。一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,石墨舟包括多块平行布置的石墨舟片,该石墨舟片包括边框舟片1和中心舟片2,所述边框舟片1包括边框横向舟片11、边框纵向舟片12、边框紧固舟片13,边框横向舟片11为平行布置的两片条状石墨片,边框纵向舟片12为纵向连接两片边框横向舟片11的多片条状石墨片,相邻两条边框纵向舟片12与两条边框横向舟片11围成一个用于放置中心舟片2的矩形的框架,边框舟片1和中心舟片2组成一个矩形结构,矩形结构的左右两侧各有一片长条状的边框紧固舟片13。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石墨舟制备领域。


技术介绍

1、随着碳中和政策的逐步推行,主要国家都在探索新的能源利用方式,光伏发电因其无限性、清洁性等优点逐渐走进人们的视野。同时行业技术的进步使得光伏度电成本不断下降,目前已接近火力发电成本,推动光伏发电产业化快速推进。

2、晶硅电池作为当下光伏发电的主力军,近年来发展迅猛,各种技术层出不穷。在此过程中,大尺寸硅片的升级对于功率增加的贡献尤为可观,然而大尺寸硅片对于设备的考验同样重要。

3、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)法可沉积多种介质膜,包括氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等。其沉积过程中,需要石墨舟作为载体。现有石墨舟的舟片,中心为镂空的,随着尺寸的增加,中心区域场强分布降低,不利于镀膜的均匀性。


技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是:如何对石墨舟的舟片进行改进,使它能够满足镀膜的均匀性。

2、本技术所采用的技术方案是:一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,石墨舟包括多块平行布置的石墨舟片,该石墨舟片包括边框舟片1和中心舟片2,所述边框舟片1包括边框横向舟片11、边框纵向舟片12、边框紧固舟片13,边框横向舟片11为平行布置的两片条状石墨片,边框纵向舟片12为纵向连接两片边框横向舟片11的多片条状石墨片,相邻两条边框纵向舟片12与两条边框横向舟片11围成一个用于放置中心舟片2的矩形的框架,边框舟片1和中心舟片2组成一个矩形结构,矩形结构的左右两侧各有一片长条状的边框紧固舟片13,且一片边框紧固舟片13处于矩形结构的上侧,另外一片边框紧固舟片13处于矩形结构的下侧,所述中心舟片2包括中心十字舟片21和中心支撑舟块22,中心十字舟片21有多个,每个处于边框舟片1的一个矩形的框架中,中心支撑舟块22为柱形,中心支撑舟块22垂直于中心十字舟片21。

3、所述边框横向舟片11的长度为145-165cm、宽度为2-3cm,所述边框纵向舟片12的长度为15-25cm、宽度为2-5cm,所述边框紧固舟片13的长度为5-8cm、宽度为2-5cm。

4、所述中心十字舟片21包括中心横向舟片和中心纵向舟片,中心横向舟片和中心纵向舟片的尺寸相同且成一体化的十字交叉结构,每片中心横向舟片上有两块中心支撑舟块22且两块中心支撑舟块22到中心十字舟片21的中心距离相等,每片中心纵向舟片上有两块中心支撑舟块22且两块中心支撑舟块22到中心十字舟片21的中心距离相等。

5、中心横向舟片的长度为145-165cm、宽度为1-2cm,中心支撑舟块22的直径为0.5-2cm,长度为1-2cm,每片中心横向舟片上的两块中心支撑舟块22到中心十字舟片21的中心距离等于每片中心纵向舟片上的两块中心支撑舟块22到中心十字舟片21的中心距离且都为70-90cm。

6、本技术的有益效果是:解决了在大尺寸硅片下,pecvd法沉积介质膜中均匀性较差的问题。通过增加中心舟片结构,可改变相邻舟片中心区域的电场分布,同时增添的中心支撑舟块,减少硅片与石墨舟片的接触。可实现有益效果如下:

7、1.提高大尺寸硅片下,硅片镀膜的均匀性,电池转换效率提高0.1-0.15%。

8、2.降低石墨舟片本身(包括摩擦、温度)对电池片镀膜效果的影响,提高镀膜稳定性。

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【技术保护点】

1.一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,石墨舟包括多块平行布置的石墨舟片,其特征在于:该石墨舟片包括边框舟片(1)和中心舟片(2),所述边框舟片(1)包括边框横向舟片(11)、边框纵向舟片(12)、边框紧固舟片(13),边框横向舟片(11)为平行布置的两片条状石墨片,边框纵向舟片(12)为纵向连接两片边框横向舟片(11)的多片条状石墨片,相邻两条边框纵向舟片(12)与两条边框横向舟片(11)围成一个用于放置中心舟片(2)的矩形的框架,边框舟片(1)和中心舟片(2)组成一个矩形结构,矩形结构的左右两侧各有一片长条状的边框紧固舟片(13),且一片边框紧固舟片(13)处于矩形结构的上侧,另外一片边框紧固舟片(13)处于矩形结构的下侧,所述中心舟片(2)包括中心十字舟片(21)和中心支撑舟块(22),中心十字舟片(21)有多个,每个处于边框舟片(1)的一个矩形的框架中,中心支撑舟块(22)为柱形,中心支撑舟块(22)垂直于中心十字舟片(21)。

2.根据权利要求1所述的一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,其特征在于:所述边框横向舟片(11)的长度为145-165cm、宽度为2-3cm,所述边框纵向舟片(12)的长度为15-25cm、宽度为2-5cm,所述边框紧固舟片(13)的长度为5-8cm、宽度为2-5cm。

3.根据权利要求1所述的一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,其特征在于:所述中心十字舟片(21)包括中心横向舟片和中心纵向舟片,中心横向舟片和中心纵向舟片的尺寸相同且成一体化的十字交叉结构,每片中心横向舟片上有两块中心支撑舟块(22)且两块中心支撑舟块(22)到中心十字舟片(21)的中心距离相等,每片中心纵向舟片上有两块中心支撑舟块(22)且两块中心支撑舟块(22)到中心十字舟片(21)的中心距离相等。

4.根据权利要求1所述的一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,其特征在于:中心横向舟片的长度为145-165cm、宽度为1-2cm,中心支撑舟块(22)的直径为0.5-2cm,长度为1-2cm,每片中心横向舟片上的两块中心支撑舟块(22)到中心十字舟片(21)的中心距离等于每片中心纵向舟片上的两块中心支撑舟块(22)到中心十字舟片(21)的中心距离且都为70-90cm。

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【技术特征摘要】

1.一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,石墨舟包括多块平行布置的石墨舟片,其特征在于:该石墨舟片包括边框舟片(1)和中心舟片(2),所述边框舟片(1)包括边框横向舟片(11)、边框纵向舟片(12)、边框紧固舟片(13),边框横向舟片(11)为平行布置的两片条状石墨片,边框纵向舟片(12)为纵向连接两片边框横向舟片(11)的多片条状石墨片,相邻两条边框纵向舟片(12)与两条边框横向舟片(11)围成一个用于放置中心舟片(2)的矩形的框架,边框舟片(1)和中心舟片(2)组成一个矩形结构,矩形结构的左右两侧各有一片长条状的边框紧固舟片(13),且一片边框紧固舟片(13)处于矩形结构的上侧,另外一片边框紧固舟片(13)处于矩形结构的下侧,所述中心舟片(2)包括中心十字舟片(21)和中心支撑舟块(22),中心十字舟片(21)有多个,每个处于边框舟片(1)的一个矩形的框架中,中心支撑舟块(22)为柱形,中心支撑舟块(22)垂直于中心十字舟片(21)。

2.根据权利要求1所述的一种适合大尺寸硅片的石墨舟片,其特征在于:所述边框横向舟片(11)的长度为1...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨飞飞刘东林张波李雪方梁玲
申请(专利权)人:山西潞安太阳能科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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