【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太阳能电池片的加工，具体涉及一种工艺及自动化上下料一体机。
技术介绍
1、在太阳能电池片制造过程中，会对硅片进行各种工艺处理，如pecvd、lpcvd等。在进行这些工艺前，需要先将前道工序来的硅片由花篮中取出装入载舟中，硅片装载完成后，将载舟送入工艺设备的反应室进行反应；工艺结束后，载舟从工艺设备中送出，待载舟冷却后，再将硅片从载舟中取出，重新装入花篮中，送往下一道工序。目前，通常会采用独立的上下料自动化设备+工艺设备进行组合。
2、参见公开号为cn114203611a的专利公开了一种用于立式炉的自动上下料系统及立式炉体，虽然其硅片自动上下料系统取放硅片精度高、自动化程度高、稳定性高，能实现石英舟自动稳定可靠进出炉体，但是自动上下料系统与炉体之间前后设置，工艺路线拉的比较大，结构依然不够紧凑、占地空间还是比较大。
3、参见公开号为cn115425113a的专利公开了一种电池制备集成系统以及电池制备集成方法，其通过输送设备将扩散、退火工序集成设计，从而减少设备投资，但是其输送设备与工艺设备实际上还是相互独立，两者之间也是前后设置，同样存在结构不紧凑、占地空间大的问题。
4、因此，当下的上下料自动化设备、工艺机的分体结构，结构冗杂，设备尺寸大。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种工艺及自动化上下料一体机。
2、为达到上述目的，本专利技术采用的一种技术方案是：
3、一种工艺及自动化上下料一体机，包括：p>
4、机架：所述的机架设置有上下料区域、工艺区域，所述的上下料区域位于所述的工艺区域的下方，所述的上下料区域的一端形成进出料口；
5、上下料装置：所述的上下料装置设置在所述的上下料区域内，所述的上下料装置至少用于将位于花篮、载舟中的硅片进行相互转移；
6、工艺装置：所述的工艺装置设置在所述的工艺区域内，所述的工艺装置包括工艺炉、传桨单元，所述的工艺炉设置有多个且为卧式炉，所述的传桨单元用于将装载有硅片的载舟送入或者移出所述的工艺炉；
7、载舟搬送装置：所述的载舟搬送装置在所述的上下料区域、工艺区域之间可移动地设置，所述的载舟搬送装置至少用于将装载有硅片的载舟在所述的上下料装置、传桨单元之间进行相互搬送。
8、上述技术方案优选地，所述的上下料装置包括花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元，所述的花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元从所述的上下料区域的一端至另一端依次分布，所述的花篮搬送单元用于将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、插卸片单元之间进行搬送；所述的插卸片单元用于将位于花篮、载舟中的硅片进行相互转移。
9、进一步优选地，所述的插卸片单元包括花篮插卸片单元、载舟插卸片单元、硅片转移模块，所述的花篮插卸片单元用于将硅片插入或顶出花篮；所述的载舟插卸片单元用于将硅片插入或顶出载舟；所述的硅片转移模块用于将硅片在所述的花篮插卸片单元、载舟插卸片单元之间转移。
10、更进一步优选地，所述的花篮插卸片单元包括花篮插卸片输送模块、花篮顶齿模块、花篮排齐模块，所述的花篮插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的花篮搬送单元将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、所述的花篮插卸片输送模块的第一工作位之间进行搬送，所述的花篮顶齿模块、花篮排齐模块设置在所述的花篮插卸片输送模块的第二工作位，所述的花篮顶齿模块用于将硅片插入或顶出花篮，所述的花篮排齐模块用于将所述的花篮顶齿模块上的硅片进行排齐。
11、更进一步优选地，所述的载舟插卸片单元包括载舟插卸片输送模块、载舟顶齿模块、载舟排齐模块，所述的载舟插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的载舟顶齿模块、载舟排齐模块设置在所述的载舟插卸片输送模块的第一工作位的末端，所述的载舟顶齿模块用于将硅片插入或顶出载舟，所述的载舟排齐模块用于将所述的载舟顶齿模块上的硅片进行排齐，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述的载舟插卸片输送模块的第二工作位、传桨单元之间进行相互搬送。
12、更进一步优选地，所述的花篮插卸片单元包括第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元；所述的载舟插卸片单元包括第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元，且所述的第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元分别位于所述的第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元的两侧。
13、进一步优选地，所述的上下料装置还包括载舟缓存单元，所述的载舟缓存单元包括多个载舟缓存模块，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述的插卸片单元、载舟缓存单元、传桨单元之间进行相互搬送。
14、上述技术方案优选地，所述的传桨单元、工艺炉从所述的工艺区域的另一端至一端依次分布。
15、上述技术方案优选地，所述的工艺装置还包括气源及尾气处理单元，所述的气源及尾气处理单元与所述的工艺炉连接，用于为所述的工艺炉提供反应气体及尾气处理，所述的传桨单元、工艺炉、气源及尾气处理单元从所述的工艺区域的另一端至一端依次分布。
16、上述技术方案优选地，所述的传桨单元的数量与所述的工艺炉的数量一致，且每个所述的工艺炉均对应设置有所述的传桨单元。
17、上述技术方案优选地，多个所述的工艺炉在所述的工艺区域的左右方向上分布成多排，在所述的工艺区域的上下方向上分布成多列。
18、上述技术方案优选地，所述的工艺炉分布有2-4排；和/或所述的工艺炉分布有2-5列，如所述的工艺炉分布2排，每排3列，共6个。
19、上述技术方案优选地，所述的载舟搬送装置包括一对第一导杆、一对第二导杆单元、搬舟单元以及驱动单元，一对所述的第一导杆沿竖直方向延伸，一对所述的第二导杆单元分别连接在一对所述的第一导杆上，且可在一对所述的第一导杆上移动，所述的搬舟单元连接在一对所述的第二导杆单元之间，且可在一对所述的第二导杆单元之间移动，所述的驱动单元用于驱动对所述的第二导杆单元、搬舟单元移动。
20、进一步优选地，所述的第二导杆单元包括第二固定导杆、第二伸缩导杆，所述的第二固定导杆可移动地连接在所述的第一导杆上，所述的第二伸缩导杆可移动地连接在所述的第二固定导杆上，所述的搬舟单元可移动地连接在一对所述的第二伸缩导杆上，所述的第二伸缩导杆可在所述的第二固定导杆上移动，所述的搬舟单元可在所述的第二伸缩导杆上移动，使得所述的搬舟单元的移动范围更大。
21、进一步优选地，所述的第二导杆单元与所述的第一导杆垂直。
22、进一步优选地，所述的搬舟单元包括连杆、勾部，所述的连杆可移动地连接在一对所述的第二导杆单元之间，所述的勾部连接在连杆上，用于勾住载舟，所述的勾部成对设置，一对所述的勾部勾住载舟两端的挂耳。
23、更进一步优选地，所述的勾部设置有多组，使得一个连杆上可以同时搬送多组载舟。
24、为达到上述目的，本专利技术采用的另一种技术方案是：
25、一种工艺及自动化上下料一体机，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的上下料装置包括花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元，所述的花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元从所述的上下料区域的一端至另一端依次分布，所述的花篮搬送单元用于将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、插卸片单元之间进行搬送；所述的插卸片单元用于将位于花篮、载舟中的硅片进行相互转移。
3.根据权利要求2所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的插卸片单元包括花篮插卸片单元、载舟插卸片单元、硅片转移模块，所述的花篮插卸片单元用于将硅片插入或顶出花篮；所述的载舟插卸片单元用于将硅片插入或顶出载舟；所述的硅片转移模块用于将硅片在所述的花篮插卸片单元、载舟插卸片单元之间转移。
4.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的花篮插卸片单元包括花篮插卸片输送模块、花篮顶齿模块、花篮排齐模块，所述的花篮插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的花篮搬送单元将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、所述的花
5.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的载舟插卸片单元包括载舟插卸片输送模块、载舟顶齿模块、载舟排齐模块，所述的载舟插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的载舟顶齿模块、载舟排齐模块设置在所述的载舟插卸片输送模块的第一工作位的末端，所述的载舟顶齿模块用于将硅片插入或顶出载舟，所述的载舟排齐模块用于将所述的载舟顶齿模块上的硅片进行排齐，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述的载舟插卸片输送模块的第二工作位、传桨单元之间进行相互搬送。
6.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的花篮插卸片单元包括第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元；所述的载舟插卸片单元包括第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元，且所述的第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元分别位于所述的第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元的两侧。
7.根据权利要求2所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的上下料装置还包括载舟缓存单元，所述的载舟缓存单元包括多个载舟缓存模块，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述的插卸片单元、载舟缓存单元、传桨单元之间进行相互搬送。
8.根据权利要求1所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的传桨单元、工艺炉从所述的工艺区域的另一端至一端依次分布。
9.根据权利要求1或8所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的工艺装置还包括气源及尾气处理单元，所述的气源及尾气处理单元与所述的工艺炉连接，用于为所述的工艺炉提供反应气体及尾气处理，所述的传桨单元、工艺炉、气源及尾气处理单元从所述的工艺区域的另一端至一端依次分布。
10.根据权利要求1所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的传桨单元的数量与所述的工艺炉的数量一致，且每个所述的工艺炉均对应设置有所述的传桨单元。
11.根据权利要求1或10所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：多个所述的工艺炉在所述的工艺区域的左右方向上分布成多排，在所述的工艺区域的上下方向上分布成多列。
12.根据权利要求11所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的工艺炉分布有2-4排；和/或所述的工艺炉分布有2-5列。
13.根据权利要求1所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的载舟搬送装置包括一对第一导杆、一对第二导杆单元、搬舟单元以及驱动单元，一对所述的第一导杆沿竖直方向延伸，一对所述的第二导杆单元分别连接在一对所述的第一导杆上，且可在一对所述的第一导杆上移动，所述的搬舟单元连接在一对所述的第二导杆单元之间，且可在一对所述的第二导杆单元之间移动，所述的驱动单元用于驱动对所述的第二导杆单元、搬舟单元移动。
14.根据权利要求13所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的第二导杆单元包括第二固定导杆、第二伸缩导杆，所述的第二固定导杆可移动地连接在所述的第一导杆上，所述的第二伸缩导杆可移动地连接在所述的第二固定导杆上，所述的搬舟单元可移动地连接在一对所述的第二伸缩导杆上。
15.根据权利要求13所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的搬舟单元包括连...
【技术特征摘要】
1.一种工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的上下料装置包括花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元，所述的花篮输送单元、花篮搬送单元、插卸片单元从所述的上下料区域的一端至另一端依次分布，所述的花篮搬送单元用于将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、插卸片单元之间进行搬送；所述的插卸片单元用于将位于花篮、载舟中的硅片进行相互转移。
3.根据权利要求2所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的插卸片单元包括花篮插卸片单元、载舟插卸片单元、硅片转移模块，所述的花篮插卸片单元用于将硅片插入或顶出花篮；所述的载舟插卸片单元用于将硅片插入或顶出载舟；所述的硅片转移模块用于将硅片在所述的花篮插卸片单元、载舟插卸片单元之间转移。
4.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的花篮插卸片单元包括花篮插卸片输送模块、花篮顶齿模块、花篮排齐模块，所述的花篮插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的花篮搬送单元将装载有硅片的花篮在所述的花篮输送单元、所述的花篮插卸片输送模块的第一工作位之间进行搬送，所述的花篮顶齿模块、花篮排齐模块设置在所述的花篮插卸片输送模块的第二工作位，所述的花篮顶齿模块用于将硅片插入或顶出花篮，所述的花篮排齐模块用于将所述的花篮顶齿模块上的硅片进行排齐。
5.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的载舟插卸片单元包括载舟插卸片输送模块、载舟顶齿模块、载舟排齐模块，所述的载舟插卸片输送模块具有第一工作位、第二工作位，所述的载舟顶齿模块、载舟排齐模块设置在所述的载舟插卸片输送模块的第一工作位的末端，所述的载舟顶齿模块用于将硅片插入或顶出载舟，所述的载舟排齐模块用于将所述的载舟顶齿模块上的硅片进行排齐，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述的载舟插卸片输送模块的第二工作位、传桨单元之间进行相互搬送。
6.根据权利要求3所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的花篮插卸片单元包括第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元；所述的载舟插卸片单元包括第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元，且所述的第一载舟插卸片单元、第二载舟插卸片单元分别位于所述的第一花篮插卸片单元、第二花篮插卸片单元的两侧。
7.根据权利要求2所述的工艺及自动化上下料一体机，其特征在于：所述的上下料装置还包括载舟缓存单元，所述的载舟缓存单元包括多个载舟缓存模块，所述的载舟搬送装置用于将装载有硅片的载舟在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴军，罗银兵，马照，许立春，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。