【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及卧式热场炉领域，尤其涉及一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构。
技术介绍
1、pe工艺全称pecvd，其目的是在硅片表面形成固态薄膜。其工艺原理是通过将产品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用卧式热场炉（pecvd反应炉）内部的加热体来将产品升温至预定温度，然后通入适量反应气体，气体经过一些列化学变化和等离子反应，在产品表面成型固态薄膜，而在高温条件下，利用物质从高浓度向低浓度运动的特性，将原子以一定可控性参入半导体中。产品到达预定温度后类磷、硼等元素在产品表面进行扩散处理，而现有的pe工艺多基于卧式热场炉进行操作，其中，在卧式热场炉使用的过程中，会因为硅片在进入炉中的时候，硅片会吸热温度使温场浮动，以使得卧式热场炉需要耗费一定的时间来将卧式热场炉内部的温度重新恢复至原本的温度，但内部温差的快速变化会在一定程度上影响到硅片的镀膜效率，进而影响到整个卧式热场炉的工作效率。
技术实现思路
1、为了克服现有卧式热场炉在使用时，会因为硅片进入卧式热场炉的内部，硅片会吸热温度以使温场产生浮动，从而使得变化的温场影响到内部硅片的镀膜，进而影响到整个卧式热场炉工作效率的问题。
2、本专利技术的技术方案为：一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，包括有安装组件；所述安装组件包括安装盘；所述安装组件的下端设置有两个第一调节组件；所述第一调节组件包括第一调节架；两个所述第一调节组件之间设置有两个第二调节组件；所述第二调节组件包括第二调节架；所述第二调节组件与第一调节组件呈交替式布置；
3、作为优选，所述第一调节架的上端设置有固接有两个第一组合条；所述第一组合条的上端安装有第一调节块；一侧端第一调节块的上端安装有第一电磁铁环；所述第一调节架的内侧设置有第一啮合轮；所述第一啮合轮上安装有第一连接杆；所述第一连接杆的下端通过联轴器转动连接有第二电机；所述第一连接杆的一侧设置有第二接头条。
4、作为优选，所述第二接头条上通过转轴转动连接有第一接头条；所述第一接头条上通过转轴转动连接有第二伸展条；所述第二伸展条上通过转轴转动连接有第一伸展条；所述第一伸展条与第二伸展条均设置有多个；一侧端所述第一伸展条上通过转轴转动连接有第一接尾条。
5、作为优选，所述第一接尾条上通过转轴转动连接有第二接尾条；所述第一接尾条的上端转动连接有第一固定片；所述第一固定片上转动连接有第一固定头；所述第一固定头的下端安装有第一底板片；所述第一底板片与第一调节架通过螺栓连接。
6、作为优选，所述第一组合条的两侧均设置有多个第二调节架；所述第二调节架与第二组合条设置为固接；所述第二组合条的上端安装有第二调节块；一侧端所述第二调节块的上端安装有第二电磁铁环；另一侧端所述第二调节块的上端安装有第三电机；所述第三电机上通过联轴器转动连接有第二连接杆；所述第二连接杆上安装有第二啮合轮。
7、作为优选，所述第二啮合轮的下端设置有限位头；所述第二连接杆的后端设置有第四接头条；所述第四接头条上通过转轴转动连接有第三接头条；所述第三接头条上通过转轴转动连接有第四伸展条；所述第四伸展条上通过转轴转动连接有第三伸展条；所述第四伸展条与第三伸展条均设置有多个；所述第三伸展条上通过转轴转动连接有第三接尾条；所述第三接尾条上通过转轴转动连接有第四接尾条；所述第四接尾条的上端转动连接有第二固定片；所述第二固定片上转动连接有第二固定头；所述第二固定头的下端安装有第二底板片。
8、作为优选，所述第一调节架与第二调节架的内侧均固接有多个啮合齿；所述滑动块、第一啮合轮与第二啮合轮的下端均设置有连轮片；所述连轮片的上端通过转轴转动连接有同步轮；所述同步轮的上端安装有定轮板；所述连轮片与第一伸展条、第三伸展条、第一接头条与第三接头条均通过转轴设置为转动连接；所述第一调节架与第二调节架的外侧均固接有多个同步齿。
9、作为优选，所述安装盘的外侧均安装有多个安装片；所述安装片上开设有安装孔；所述安装片的内侧安装有温度传感器；所述安装盘上开设有第一调节槽；所述第一调节槽的内部固接有两个第一限位块；所述第一调节槽的内侧开设有第二调节槽；所述第二调节槽的内部固接有两个第二限位块。
10、作为优选，所述安装组件上安装有转动组件；所述转动组件包括齿盘罩；所述齿盘罩的下端安装有第一电机；所述第一电机的上端通过转轴转动连接有主动齿盘；所述主动齿盘的前端设置有被动齿盘；所述被动齿盘的上端通过转轴安装有转动盘。
11、作为优选，所述转动组件上安装有两个拨动组件；所述拨动组件包括连接条；所述转动盘的前后端均安装有一个连接条；所述的上端固接有定位杆；所述定位杆的上端安装有固定条；所述固定条的下端安装有液压推杆；所述液压推杆上安装有连接架；所述连接架与定位杆设置为滑动连接；所述连接架上安装有固定块；所述固定块上安装有连轨架；相邻两个连轨架之间设置有连接块；所述连轨架上安装有第一丝杆滑轨；所述第一丝杆滑轨的一侧设置有第二丝杆滑轨；所述第二丝杆滑轨与第一丝杆滑轨上均滑动连接有一个丝杆滑块；所述丝杆滑块的上端安装有固定座；所述固定座上安装有电磁铁杆。
12、本专利技术的有益效果：
13、1、通过设置特殊的可调节式粗丝环布结构来代替原有的均布式环布结构，以使得加热丝可以通过间距不一的形式使温度可以在短时间内通过密集的加热丝进行快速升温，并实现对加热区域的约束，使炉内温场达到工艺需求，从而可以在一定程度上解决现有卧式热场炉在使用时，会因为硅片进入卧式热场炉的内部，硅片会吸热温度以使温场产生浮动，从而使得变化的温场影响到内部硅片的镀膜，进而影响到整个卧式热场炉工作效率的问题；
14、2、通过第一丝杆滑轨与第二丝杆滑轨分别驱动丝杆滑块进行移动，以使得丝杆滑块上的电磁铁杆可以分别连接第一电磁铁环与第二电磁铁环，并通过第一电磁铁环与第二电磁铁环带动第一调节组件与第二调节组件进行转动，以使得完成调节后的多个电热粗丝可以进行调节，以实现对电热粗丝之间的间距进行调节，而通过调节后的第一调节组件与第二调节组件可以使得多个电热粗丝在卧式热场炉的内部呈间距不一的形式对硅片进行加热，并通过密集布置的电热粗丝来实现快速升温，以实现对加热区域的约束，进而可以在一定程度上提高整个卧式热场炉的加热效率；
15、3、通过第二电机与第三电机以分别驱动第一连接杆与第二连接杆进行转动，以通过转动的第一连接杆与第二连接杆来驱动第一啮合轮与第二啮合轮进行转动，而转动的第一啮合轮与第二啮合轮在啮合齿的作用下带动第一啮合轮与第二啮合轮在第一调节架与第二调节架的内部进行滑动，以使得连轮片带动同步轮与同步齿啮合，从而使得第一接头条与第二接头条和第三接头条与第四接头条进行转动，从而使得部分连轮片可以带动滑动块在滑动槽的内侧滑动，并使得滑动本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，包括有安装组件（1）；其特征在于：所述安装组件（1）包括安装盘（101）；所述安装组件（1）的下端设置有两个第一调节组件（4）；所述第一调节组件（4）包括第一调节架（407）；两个所述第一调节组件（4）之间设置有两个第二调节组件（5）；所述第二调节组件（5）包括第二调节架（504）；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）呈交替式布置；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）上均设置有电热丝组件（6）；所述电热丝组件（6）包括滑动槽（601）；所述第一调节架（407）与第二调节架（504）上均开设有第二调节架（504）与滑动槽（601）；所述滑动槽（601）的内侧滑动连接有多个滑动块（602）；所述滑动块（602）的下端设置有电热粗丝（603）。
2.根据权利要求1所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一调节架（407）的上端设置有固接有两个第一组合条（403）；所述第一组合条（403）的上端安装有第一调节块（401）；一侧端第一调节块（401）的上端安装有第一电磁铁环（402）；所述第一调节架（407
3.根据权利要求2所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第二接头条（411）上通过转轴转动连接有第一接头条（410）；所述第一接头条（410）上通过转轴转动连接有第二伸展条（409）；所述第二伸展条（409）上通过转轴转动连接有第一伸展条（408）；所述第一伸展条（408）与第二伸展条（409）均设置有多个；一侧端所述第一伸展条（408）上通过转轴转动连接有第一接尾条（412）。
4.根据权利要求3所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一接尾条（412）上通过转轴转动连接有第二接尾条（413）；所述第一接尾条（412）的上端转动连接有第一固定片（414）；所述第一固定片（414）上转动连接有第一固定头（415）；所述第一固定头（415）的下端安装有第一底板片（416）；所述第一底板片（416）与第一调节架（407）通过螺栓连接。
5.根据权利要求3所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一组合条（403）的两侧均设置有多个第二调节架（504）；所述第二调节架（504）与第二组合条（503）设置为固接；所述第二组合条（503）的上端安装有第二调节块（501）；一侧端所述第二调节块（501）的上端安装有第二电磁铁环（502）；另一侧端所述第二调节块（501）的上端安装有第三电机（506）；所述第三电机（506）上通过联轴器转动连接有第二连接杆（505）；所述第二连接杆（505）上安装有第二啮合轮（507）。
6.根据权利要求5所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第二啮合轮（507）的下端设置有限位头（508）；所述第二连接杆（505）的后端设置有第四接头条（512）；所述第四接头条（512）上通过转轴转动连接有第三接头条（511）；所述第三接头条（511）上通过转轴转动连接有第四伸展条（510）；所述第四伸展条（510）上通过转轴转动连接有第三伸展条（509）；所述第四伸展条（510）与第三伸展条（509）均设置有多个；所述第三伸展条（509）上通过转轴转动连接有第三接尾条（513）；所述第三接尾条（513）上通过转轴转动连接有第四接尾条（514）；所述第四接尾条（514）的上端转动连接有第二固定片（515）；所述第二固定片（515）上转动连接有第二固定头（516）；所述第二固定头（516）的下端安装有第二底板片（517）。
7.根据权利要求1所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一调节架（407）与第二调节架（504）的内侧均固接有多个啮合齿（604）；所述滑动块（602）、第一啮合轮（404）与第二啮合轮（507）的下端均设置有连轮片（605）；所述连轮片（605）的上端通过转轴转动连接有同步轮（606）；所述同步轮（606）的上端安装有定轮板（607）；所述连轮片（605）与第一伸展条（408）、第三伸展条（509）、第一接头条（410）与第三接头条（511）均通过转轴设置为转动连接；所述第一调节架（407）与第二调节架（504）的外侧均固接有多个同步齿（608）。
8.根据权利要求1所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述安装盘（10...
【技术特征摘要】
1.一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，包括有安装组件（1）；其特征在于：所述安装组件（1）包括安装盘（101）；所述安装组件（1）的下端设置有两个第一调节组件（4）；所述第一调节组件（4）包括第一调节架（407）；两个所述第一调节组件（4）之间设置有两个第二调节组件（5）；所述第二调节组件（5）包括第二调节架（504）；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）呈交替式布置；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）上均设置有电热丝组件（6）；所述电热丝组件（6）包括滑动槽（601）；所述第一调节架（407）与第二调节架（504）上均开设有第二调节架（504）与滑动槽（601）；所述滑动槽（601）的内侧滑动连接有多个滑动块（602）；所述滑动块（602）的下端设置有电热粗丝（603）。
2.根据权利要求1所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一调节架（407）的上端设置有固接有两个第一组合条（403）；所述第一组合条（403）的上端安装有第一调节块（401）；一侧端第一调节块（401）的上端安装有第一电磁铁环（402）；所述第一调节架（407）的内侧设置有第一啮合轮（404）；所述第一啮合轮（404）上安装有第一连接杆（405）；所述第一连接杆（405）的下端通过联轴器转动连接有第二电机（406）；所述第一连接杆（405）的一侧设置有第二接头条（411）。
3.根据权利要求2所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第二接头条（411）上通过转轴转动连接有第一接头条（410）；所述第一接头条（410）上通过转轴转动连接有第二伸展条（409）；所述第二伸展条（409）上通过转轴转动连接有第一伸展条（408）；所述第一伸展条（408）与第二伸展条（409）均设置有多个；一侧端所述第一伸展条（408）上通过转轴转动连接有第一接尾条（412）。
4.根据权利要求3所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一接尾条（412）上通过转轴转动连接有第二接尾条（413）；所述第一接尾条（412）的上端转动连接有第一固定片（414）；所述第一固定片（414）上转动连接有第一固定头（415）；所述第一固定头（415）的下端安装有第一底板片（416）；所述第一底板片（416）与第一调节架（407）通过螺栓连接。
5.根据权利要求3所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第一组合条（403）的两侧均设置有多个第二调节架（504）；所述第二调节架（504）与第二组合条（503）设置为固接；所述第二组合条（503）的上端安装有第二调节块（501）；一侧端所述第二调节块（501）的上端安装有第二电磁铁环（502）；另一侧端所述第二调节块（501）的上端安装有第三电机（506）；所述第三电机（506）上通过联轴器转动连接有第二连接杆（505）；所述第二连接杆（505）上安装有第二啮合轮（507）。
6.根据权利要求5所述的一种卧式热场炉的约束式粗丝加热结构，其特征在于：所述第二啮合轮（507）的下端设置有限位头（508）；所述第二连接杆（505）的后端设置有第四接头条（512）；所述第四接头条（512）上通过转轴转动连接有第三接头条（511）；所述第三接头条（511）上通过转轴转动连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹伟，钱啸枫，
申请(专利权)人：信阳中毅高热材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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