一种石英坩埚表面打磨装置制造方法及图纸

技术编号:43336387 阅读:5 留言:0更新日期:2024-11-15 20:32
本技术涉及打磨装置技术领域。具体公开了一种石英坩埚表面打磨装置,包括机壳,所述机壳上设置有用于放置石英坩埚的支撑架,所述支撑架上转动设置有两个相互平行的支撑辊,所述支撑辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机,所述机壳的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件,所述机壳上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件,所述支撑架上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件。本技术的优点是通过设置第一打磨组件和第二打磨组件,从而能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨,打磨过程中,能够显著降低工作人员的劳动强度,并且提高打磨效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及打磨装置,特别是一种石英坩埚表面打磨装置


技术介绍

1、石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展,石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。用此坩埚取代小的透明石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,在坩埚的生产过程中,打磨是十分重要的工艺,现有的打磨装置,常采用人工手动打磨,工人劳动强度大,打磨效率低下,提高了生产成本,并且人工打磨的过程磨掉的厚度不一致。


技术实现思路

1、为了能够克服现有技术人工打磨劳动强度大,打磨效率低的缺点,本申请提供一种石英坩埚表面打磨装置。

2、本申请提供的一种石英坩埚表面打磨装置,采用如下的技术方案:

3、一种石英坩埚表面打磨装置,包括机壳,所述机壳上设置有用于放置石英坩埚的支撑架,所述支撑架上转动设置有两个相互平行的支撑辊,所述支撑辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机,所述机壳的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件,所述机壳上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件,所述机壳内并位于支撑架的底部设置有废水回收箱,所述支撑架上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件。

4、通过采用上述技术方案,转动电机驱动支撑辊转动,支撑辊转动的过程中将带动石英坩埚转动,石英坩埚转动的过程中,第一打磨组件和第二打磨组件将能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨,供水组件能够将水喷射至石英坩埚的表面,从而对打磨过程中的石英坩埚表面进行降温,并且进行降尘,打磨过程中,能够显著降低工作人员的劳动强度,并且提高打磨效率。

5、可选的,所述第一打磨组件包括两根相互平行的支撑轨道,两根所述支撑轨道均固定设置在机壳上,并且两根所述支撑轨道之间滑动设置有支撑板,所述支撑板上转动设置有打磨辊,所述打磨辊的一端同轴设置有用于驱动自身转动的第一驱动电机,所述支撑板上设置有弧型的防飞溅板,其中一个支撑轨道上设置有一根丝杆,所述丝杆穿设在支撑板上,所述丝杆的一端同轴设置有第二驱动电机。

6、通过采用上述技术方案,启动第二驱动电机,第二驱动电机转动时将带动丝杆转动,丝杆转动的过程中将带动支撑板沿着支撑轨道的长度方向滑动至指定的位置,然后启动第一驱动电机,第一驱动电机转动的过程中将带动打磨辊转动,打磨辊转动的过程中将对石英坩埚的侧面进行打磨,防飞溅板能够降低打磨过程中石英坩埚表面的产生的灰尘的飞溅。

7、可选的,所述第二打磨组件包括滑轨,所述滑轨固定设置在机壳上,所述滑轨上滑动设置有滑动座,所述滑动座上转动设置有转轴,所述转轴的一端同轴设置有打磨盘、另一端同轴设置有第三驱动电机,所述滑轨的一端设置有第一气缸,所述第一气缸的伸缩杆与滑动座相连。

8、通过采用上述技术方案,启动第一气缸,第一气缸的活塞杆将朝着远离缸体的方向伸出,从而带动滑动座沿着滑轨的长度方向移动,当滑动座移动至指定位置时,打磨盘与石英坩埚的表面相贴合,然后启动第三驱动电机,第三驱动电机将带动打磨盘转动,从而对石英坩埚的表面进行打磨。

9、可选的,所述防飞溅板上沿着自身的长度方向均匀设置有多个喷头,所述滑动座的顶部也设置有喷头,多个所述喷头均朝向石英坩埚设置。

10、通过采用上述技术方案,喷头将水喷向石英坩埚的表面,从而对石英坩埚进行降尘降温。

11、可选的,所述供水组件包括水泵、抽水管以及供水管,所述水泵设置在机壳上并位于废水回收箱的顶部,所述抽水管的一端与废水回收箱相连通、另一端水泵的进水口相连通,所述供水管的一端与水泵的出水口相连通,多个所述喷头分别与供水管相连通。

12、通过采用上述技术方案,启动水泵,水泵将废水回收箱中过滤后的水泵入供水管中,然后经由喷头喷出,从而使降温降尘用水能够循环使用,以节约水资源。

13、可选的,所述压紧组件包括第二气缸、安装板以及支撑杆,所述安装板水平设置,所述支撑杆的一端与机壳连接、另一端与安装板连接,所述第二气缸沿着竖直方向设置在安装板上,所述第二气缸的活塞杆上设置有升降板,所述安装板和升降板之间设置有多根伸缩导向杆,所述升降板上转动设置有夹持辊,所述夹持辊的一端同轴设置有第四驱动电机。

14、通过采用上述技术方案,启动第二气缸,第二气缸将能够控制升降板进行升降,当夹持辊移动至与石英坩埚的表面相贴合时,启动第四驱动电机,夹持辊与支撑辊相配合,即能够使石英坩埚整体稳定地放置以及转动。

15、可选的,所述支撑板上和滑动座上均设置有位置传感器。

16、通过采用上述技术方案,位置传感器能够对支撑板上的打磨辊和滑动座上的打磨盘与石英坩埚的之间位置进行测量,以便于打磨辊和打磨盘移动至合适的位置。

17、可选的,所述废水回收箱内靠近水泵的一端设置有过滤板。

18、通过采用上述技术方案,过滤板能够对废水回收箱中的废水进行过滤,以便于过滤后的废水能够重新使用,从而降低生产成本,节约水资源。

19、本技术具有以下优点:

20、1、通过设置第一打磨组件和第二打磨组件,从而能够对石英坩埚的侧面和底面进行打磨,打磨过程中,能够显著降低工作人员的劳动强度,并且提高打磨效率;

21、2、通过设置多个喷头和供水组件,从而能够对打磨过程中的石英坩埚表面进行降尘降温;

22、3、通过设置位置传感器,从而能够对支撑板上的打磨辊和滑动座上的打磨盘与石英坩埚的之间位置进行测量,以便于打磨辊和打磨盘移动至合适的位置。

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【技术保护点】

1.一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:包括机壳(1),所述机壳(1)上设置有用于放置石英坩埚的支撑架(2),所述支撑架(2)上转动设置有两个相互平行的支撑辊(21),所述支撑辊(21)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机(22),所述机壳(1)的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件(3),所述机壳(1)上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件(4)以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件(5),所述机壳(1)内并位于支撑架(2)的底部设置有废水回收箱(11),所述支撑架(2)上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述第一打磨组件(4)包括两根相互平行的支撑轨道(41),两根所述支撑轨道(41)均固定设置在机壳(1)上,并且两根所述支撑轨道(41)之间滑动设置有支撑板(42),所述支撑板(42)上转动设置有打磨辊(43),所述打磨辊(43)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的第一驱动电机(44),所述支撑板(42)上设置有弧型的防飞溅板(45),其中一个支撑轨道(41)上设置有一根丝杆(46),所述丝杆(46)穿设在支撑板(42)上,所述丝杆(46)的一端同轴设置有第二驱动电机(47)。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述第二打磨组件(5)包括滑轨(51),所述滑轨(51)固定设置在机壳(1)上,所述滑轨(51)上滑动设置有滑动座(52),所述滑动座(52)上转动设置有转轴(53),所述转轴(53)的一端同轴设置有打磨盘(54)、另一端同轴设置有第三驱动电机(55),所述滑轨(51)的一端设置有第一气缸(56),所述第一气缸(56)的伸缩杆与滑动座(52)相连。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述防飞溅板(45)上沿着自身的长度方向均匀设置有多个喷头(7),所述滑动座(52)的顶部也设置有喷头(7),多个所述喷头(7)均朝向石英坩埚设置。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述供水组件(6)包括水泵(61)、抽水管(62)以及供水管(63),所述水泵(61)设置在机壳(1)上并位于废水回收箱(11)的顶部,所述抽水管(62)的一端与废水回收箱(11)相连通、另一端水泵(61)的进水口相连通,所述供水管(63)的一端与水泵(61)的出水口相连通,多个所述喷头(7)分别与供水管(63)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述压紧组件(3)包括第二气缸(31)、安装板(32)以及支撑杆(33),所述安装板(32)水平设置,所述支撑杆(33)的一端与机壳(1)连接、另一端与安装板(32)连接,所述第二气缸(31)沿着竖直方向设置在安装板(32)上,所述第二气缸(31)的活塞杆上设置有升降板(34),所述安装板(32)和升降板(34)之间设置有多根伸缩导向杆(35),所述升降板(34)上转动设置有夹持辊(36),所述夹持辊(36)的一端同轴设置有第四驱动电机(37)。

7.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述支撑板(42)上和滑动座(52)上均设置有位置传感器(8)。

8.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述废水回收箱内靠近水泵(61)的一端设置有过滤板(12)。

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【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:包括机壳(1),所述机壳(1)上设置有用于放置石英坩埚的支撑架(2),所述支撑架(2)上转动设置有两个相互平行的支撑辊(21),所述支撑辊(21)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的转动电机(22),所述机壳(1)的顶部设置有用于对石英坩埚进行压紧的压紧组件(3),所述机壳(1)上设置有用于对石英坩埚的侧面打磨的第一打磨组件(4)以及对石英坩埚的底面进行打磨的第二打磨组件(5),所述机壳(1)内并位于支撑架(2)的底部设置有废水回收箱(11),所述支撑架(2)上设置有用于降低打磨时温度和减少粉尘释放的供水组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述第一打磨组件(4)包括两根相互平行的支撑轨道(41),两根所述支撑轨道(41)均固定设置在机壳(1)上,并且两根所述支撑轨道(41)之间滑动设置有支撑板(42),所述支撑板(42)上转动设置有打磨辊(43),所述打磨辊(43)的一端同轴设置有用于驱动自身转动的第一驱动电机(44),所述支撑板(42)上设置有弧型的防飞溅板(45),其中一个支撑轨道(41)上设置有一根丝杆(46),所述丝杆(46)穿设在支撑板(42)上,所述丝杆(46)的一端同轴设置有第二驱动电机(47)。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面打磨装置,其特征在于:所述第二打磨组件(5)包括滑轨(51),所述滑轨(51)固定设置在机壳(1)上,所述滑轨(51)上滑动设置有滑动座(52),所述滑动座(52)上转动设置有转轴(53),所述转轴(53)的一端同轴设置有打磨盘(54)、另一端同轴设置有第三驱动电机(55),所述滑轨(51)的一端设置有第一气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员:李新春杜川黄勇余鑫龚勇刚
申请(专利权)人:乐山京隆石英玻璃制品有限公司
类型:新型
国别省市:

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