【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造领域，尤其是涉及一种高精度滑台组件及光刻机工作台。
技术介绍
1、在目前的半导体设备中，有诸多需要调节的零部件，同时，零部件在调整好后要求具有静态稳定的性能，现有技术中，可以将需要调整的部件直接安装在滚珠丝杆直线模组的滑台上，通常滑台会采用刚性连接的固定方式，例如丝杆螺母刚性连接，滑台与直线电机驱动滚珠丝杆带动滑台在直线导轨的约束下进行直线运动。然而，由于滚珠丝杆与直线导轨两者存在平行度公差，直线导轨、滚珠丝杆、滑台三者就会产生与运动方向不平行的相互作用分力，影响滑台的静态稳定性能，同时，会加剧导轨和滚珠丝杆的机械磨损，影响设备使用寿命。
2、可见，现有技术存在滑台静态性能不佳且设备机械磨损严重的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种高精度滑台组件及光刻机工作台，解决了现有技术中存在的滑台静态性能不佳且设备机械磨损严重的问题。
2、本专利技术提供了一种高精度滑台组件，包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；滑台用于承载晶圆载台；基座设有直线导轨，滑台安装于直线导轨，滑台驱动部连接于滑台以驱动滑台沿直线导轨运动；
3、调节部的第一端连接于滑台驱动部，调节部的第二端转动连接于滑台的一端，调节部能够在滑台驱动部的驱动下绕滑台的一端朝靠近基座或者远离基座的方向转动。
4、本专利技术中，设置于滑台驱动部和滑台之间的调节部，能够在滑台被滑台驱动部驱动时，绕滑台一端转动，通过该转动将滑台驱动部因平行度公差（例如安装误
5、可选的，调节部绕滑台的一端转动的转动轴与滑台的运动方向垂直且位于同一平面。
6、可选的，滑台驱动部包括滚珠丝杆和丝杆螺母，调节部包括本体、转轴和轴承；本体的一端连接于丝杆螺母，轴承安装于滑台，本体远离丝杆螺母的一端的通过转轴转动连接于轴承。
7、本专利技术实施例的高精度滑台组件采用转轴和轴承的方式实现调节部的转动，具有结构简单，且成本低廉的优点。
8、可选的，滑台上设有第一安装孔和第二安装孔，第一安装孔和第二安装孔关于滚珠丝杆对称设置；转轴包括第一转轴和第二转轴，轴承包括第一轴承和第二轴承；第一轴承安装于第一安装孔，第二轴承安装于第二安装孔；第一转轴和第二转轴对称设于本体的两侧且分别安装于第一轴承和第二轴承。
9、本专利技术实施例的高精度滑台组件通过对称设置的第一转轴、第二转轴、第一轴承以及第二轴承，相较于单侧设置或者居中设置的方案，力的传递更加平衡，且能够一定程度避免安装位置不佳所造成的误差，能够进一步提高滑台的静态性能。
10、可选的，直线导轨包括平行设置的第一导轨和第二导轨，第一安装孔位于第一导轨和滚珠丝杆之间，第二安装孔位于第二导轨和滚珠丝杆之间。
11、本专利技术实施例的高精度滑台组件将第一安装孔和第二安装孔设于导轨和滚珠丝杆之间，或可理解为第一安装孔和第二安装孔位于两个导轨的内侧，能够使得整个滑台组件结构更加紧凑，避免调节部与其他设备产生干涉进而影响滑台的静态性能。
12、可选的，第一转轴和第二转轴均为塞打螺丝。
13、可选的，滑台的底部设有滑块，滑块安装于直线导轨且滑块的尺寸匹配于直线导轨，以使得滑台沿直线导轨运时，滑块贴合于直线导轨的侧壁。
14、本专利技术实施例通过尺寸匹配的直线导轨和滑块，能够使得滑台在沿直线导轨运动时与直线导轨的侧壁贴合，从而避免在运动过程中发生水平方向上的非直线偏移，进一步提高了滑台的静态稳定性。
15、可选的，调节部的本体朝向所述滑台驱动部的一侧设有安装槽，滑台驱动部的所述丝杆螺母安装于安装槽内。
16、本专利技术还提供了一种光刻机工作台，包括上述各实施例及可能的实施方式中所涉及的高精度滑台组件。
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1.一种高精度滑台组件，其特征在于，包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；所述滑台用于承载晶圆载台；所述基座设有直线导轨，所述滑台安装于所述直线导轨，所述滑台驱动部连接于所述滑台以驱动所述滑台沿所述直线导轨运动；
2.根据权利要求1所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述调节部绕所述滑台的一端转动的转动轴与所述滑台的运动方向垂直且位于同一平面。
3.根据权利要求2所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述滑台驱动部包括滚珠丝杆和丝杆螺母，所述调节部包括本体、转轴和轴承；
4.根据权利要求3所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述滑台上设有第一安装孔和第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔关于所述滚珠丝杆对称设置；所述转轴包括第一转轴和第二转轴，所述轴承包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承安装于所述第一安装孔，所述第二轴承安装于所述第二安装孔；所述第一转轴和所述第二转轴对称设于所述本体的两侧且分别安装于所述第一轴承和所述第二轴承。
5.根据权利要求4所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述直线导轨包括平行设置的第一导轨和第二导轨，所述第一安
6.根据权利要求4所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述第一转轴和所述第二转轴均为塞打螺丝。
7.根据权利要求1所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述滑台的底部设有滑块，所述滑块安装于所述直线导轨且所述滑块的尺寸匹配于所述直线导轨，以使得所述滑台沿所述直线导轨运时，所述滑块贴合于所述直线导轨的侧壁。
8.根据权利要求3所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述调节部的所述本体朝向所述滑台驱动部的一侧设有安装槽，所述滑台驱动部的所述丝杆螺母安装于所述安装槽内。
9.一种光刻机工作台，其特征在于，包括权利要求1~8任一项所述的高精度滑台组件。
...【技术特征摘要】
1.一种高精度滑台组件，其特征在于，包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；所述滑台用于承载晶圆载台；所述基座设有直线导轨，所述滑台安装于所述直线导轨，所述滑台驱动部连接于所述滑台以驱动所述滑台沿所述直线导轨运动；
2.根据权利要求1所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述调节部绕所述滑台的一端转动的转动轴与所述滑台的运动方向垂直且位于同一平面。
3.根据权利要求2所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述滑台驱动部包括滚珠丝杆和丝杆螺母，所述调节部包括本体、转轴和轴承；
4.根据权利要求3所述的高精度滑台组件，其特征在于，所述滑台上设有第一安装孔和第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔关于所述滚珠丝杆对称设置；所述转轴包括第一转轴和第二转轴，所述轴承包括第一轴承和第二轴承；所述第一轴承安装于所述第一安装孔，所述第二轴承安装于所述第二安装孔；所述第一转轴和所述第二转轴对称设于所述本体的两侧且分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：上海芯东来半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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