【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种片盒清洗机的插销检测装置及方法。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，盒清洗机是一种关键设备，用于清洁片盒，以确保半导体晶圆在加工过程中的洁净度和质量。现有的12寸片盒清洗机通常包括一个圆柱形笼状结构的定位架，该定位架上连接有多个用于装载片盒的装载架，每个装载架的右上方都设有一个插销，用于固定装载架与定位架，使其在片盒高速旋转甩干时能够安全平稳运行。
2、然而，现有的12寸片盒清洗机存在一个显著的技术缺陷：设备装载片盒时是人为操作，存在插销没有插到位的可能性，当插销位置没有到位时，设备在高速旋转过程中，离心力会使装载架与定位架脱离，并撞击清洗机内部，导致片盒和机台损坏，甚至引发安全事故，因操作的不确定性不仅影响了设备的稳定性和可靠性，还增加了维护成本和安全风险。
技术实现思路
1、本专利技术要解决上述现有技术存在的问题，提供一种用于对多个承载片盒的装载架上的插销是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测片盒清洗机的插销检测装置及方法。
2、本专利技术解决其技术问题采用的技术方案：这种片盒清洗机的插销检测装置，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：
3、安装在机台上的pnp型电容传感器，所述电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；
4、与电容传感器信号线连接的中间继电器，所
5、电路控制模块，用于控制机台的自检程序和正常工作流程，并与中间继电器连接，接收来自中间继电器的信号；
6、当所有插销位置正确，自检程序通过时，允许机台继续正常工作；当检测到任意一个所述插销位置不正确时，机台将报警并使得定位架停止旋转。
7、优选地，所述定位架转动设置于机台的中心位置，且定位架呈圆柱笼状结构，所述定位架上设置有连接件，所述装载架上设置有用于放置片盒的定位支架，且所述装载架上的所述插销和连接件可拆卸的连接。
8、优选地，所述插销的一端具有外螺纹，所述连接件上开设有连接孔，所述连接孔内设置有内螺纹，所述外螺纹与内螺纹相连，使得插销的一端从连接件中伸出；
9、定位架带动装载架在电容传感器下方旋转，当所有插销的一端均从对应的连接件中伸出时，电容传感器能够检测到这一状态，自检程序通过；当定位架旋转到预设位置，且对应处的插销的一端未从连接件中伸出时，机台将报警并使得定位架停止旋转。
10、优选地，所述插销的周向上设置有至少一对具有弹性的卡扣，所述连接件的上端设有环形卡槽，所述插销穿过连接件，使得缩紧于所述插销的周向上的所述卡扣自动弹出与环形卡槽活动卡接；
11、定位架带动装载架在电容传感器下方旋转，当所有卡扣与对应的环形卡槽卡接时，电容传感器能够检测到这一状态，自检程序通过；当定位架旋转到预设位置，任意一卡扣未与对应的环形卡槽卡接时，机台将报警并使得定位架停止旋转。
12、优选地，所述插销检测装置还包括视觉传感元件和状态指示灯，所述状态指示灯和视觉传感元件均与电路控制模块连接，所述视觉传感元件用于在电容传感器检测插销是否与定位架成功连接之后，进行再次检测，所述状态指示灯用于显示自检程序的状态。
13、本专利技术解决上述技术问题还提供一种片盒清洗机的插销检测方法，包括上述的所述片盒清洗机的插销检测装置，该检测方法还包括：
14、自检程序，用于在机台启动后，控制定位架带动装入其内的若干装载架缓慢旋转，使若干装载架上所述插销逐一经过电容传感器下方进行位置检测；
15、远程监控模块，与视觉传感元件连接通过网络实时监控自检过程，确保所有插销均正确连接，所述远程监控模块能够记录并回放自检过程，便于事后分析；
16、当所有插销位置正确时，自检程序通过，允许机台继续正常工作；当检测到任意一插销位置不正确，则机台将报警并停止运行菜单程序。
17、优选地，包括以下步骤：
18、s1: 将装载架上的插销固定在定位架上，并启动清洗机；
19、s2:机台启动自检程序，定位架带动装载架按预定程序同步缓慢旋转；若发现装载架上的插销未正确安装，导致装载架无法同步于定位架旋转，则返回s1，重新确认装载架安装情况并重新启动自检程序；
20、s3:每个装载架上的插销随定位架在机台内移动，逐一经过机台上固定安装的电容传感器下方，电容传感器检测插销是否完全插入到位；若定位架相对于机台旋转到预设位置，且根据定位架的旋转位置发现任意一个插销未从对应的连接件中伸出或若发现任意一插销插入连接件后卡扣未与环形卡槽卡接时，则自检程序不通过，并返回s1；
21、s4:若插销位置正确，电容传感器向中间继电器发送信号；若电容传感器未能发送信号或信号传输中断，则返回s3，检查电容传感器工作状态及信号线连接情况；
22、s5:中间继电器接收到信号后闭合，使得电路控制模块连通；若中间继电器未能响应电容传感器信号，则返回s4，检查继电器工作状态及电路连接情况；
23、s6:当所有插销位置正确时，自检程序通过；若发现有任意一插销未与对应的连接件连接时，则机台发出警报，并返回s1；
24、s7:在插销位置检测完成后，获取笼子锁紧装置信号，系统进一步检测装载架与定位架是否锁定到位；若是，则自检程序通过；若否，返回s1。
25、优选地，在自检程序通过前，还包括预备工序，所述预备工序包括：
26、获取笼子锁紧装置信号传输信息，如果笼子锁紧装置锁定到位，笼子锁紧装置检测电路向中间继电器发送信号；如果笼子锁紧装置未能锁定到位，检测电路未能发送信号或信号传输中断，则检查笼子锁紧装置检测电路的工作状态及信号线连接情况；
27、对笼子锁紧装置继电器响应检测，中间继电器接收到笼子锁紧装置检测电路的信号后闭合，使得电路控制模块进一步连通；若中间继电器未能响应笼子锁紧装置检测电路的信号，则检查继电器工作状态及电路连接情况。
28、优选地，该方法还包括：
29、存储器，用于保存计算机程序；
30、至少一个处理器，用于执行所述计算机程序，以实现如上述所述的插销检测方法；
31、所述方法还包括用于定时执行自检程序的定时器模块，确保设备定期进行自我检查以保证长期运行的稳定性。
32、优选地，方法还包括多级权限管理系统，使得不同级别的操作人员可以根据自己的权限访问相应的功能。
33、本专利技术有益的效果是：通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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1.一种片盒清洗机的插销检测装置，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述定位架转动设置于机台的中心位置，且定位架呈圆柱笼状结构，所述定位架上设置有连接件，所述装载架上设置有用于放置片盒的定位支架，且所述装载架上的所述插销和连接件可拆卸的连接。
3.根据权利要求2所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述插销的一端具有外螺纹，所述连接件上开设有连接孔，所述连接孔内设置有内螺纹，所述外螺纹与内螺纹相连，使得插销的一端从连接孔中伸出；
4.根据权利要求2所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述插销的周向上设置有至少一对具有弹性的卡扣，所述连接件的上端设有环形卡槽，所述插销穿过连接件，使得缩紧于所述插销的周向上的所述卡扣自动弹出与环形卡槽活动卡接；
5.根据权利要求1所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述插销检测装置还包括视觉传感元件和状态指示灯，所述状态指示灯和视觉传感元件均与
6.一种片盒清洗机的插销检测方法，包括权利要求1至5任意一项的所述片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，该检测方法还包括：
7.根据权利要求6所述的一种片盒清洗机的插销检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
8.根据权利要求7所述的一种片盒清洗机的插销检测方法，其特征在于，在自检程序通过前，还包括预备工序，所述预备工序包括：
9.根据权利要求7所述的一种片盒清洗机的插销检测方法，其特征在于，该方法还包括：
10.根据权利要求8所述的一种片盒清洗机的插销检测方法，其特征在于，所述方法还包括多级权限管理系统，使得不同级别的操作人员可以根据自己的权限访问相应的功能。
...【技术特征摘要】
1.一种片盒清洗机的插销检测装置，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述定位架转动设置于机台的中心位置，且定位架呈圆柱笼状结构，所述定位架上设置有连接件，所述装载架上设置有用于放置片盒的定位支架，且所述装载架上的所述插销和连接件可拆卸的连接。
3.根据权利要求2所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述插销的一端具有外螺纹，所述连接件上开设有连接孔，所述连接孔内设置有内螺纹，所述外螺纹与内螺纹相连，使得插销的一端从连接孔中伸出；
4.根据权利要求2所述的片盒清洗机的插销检测装置，其特征在于，所述插销的周向上设置有至少一对具有弹性的卡扣，所述连接件的上端设有环形卡槽，所述插销穿过连接件，使得缩紧于所述插销的周向上的所述卡扣自动弹出与环形卡槽活动卡接；
5.根据权利要求1所述的片...
【专利技术属性】
技术研发人员：田馥榕，肖尚青，张成满，何振南，朱潇，
申请(专利权)人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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