【技术实现步骤摘要】
本技术涉及切片机,尤其涉及一种切片机用冷却系统。
技术介绍
1、金刚线切片机是采用金刚线对硅及脆性材料晶棒进行切片加工,加工过程中,必须对加工部位进行冷却,即有一整套的冷却系统(也称供液系统)。这套系统由水箱、过滤装置、热交换装置、流量检测装置、浆管(水管)等主要部件组成。目前切片机的负载不断地增加,切下来的硅粉量也随之增多,硅粉最后会混合至冷却液内回流至水箱循环使用,因此,需要采用过滤装置对混合有硅粉的冷却液进行过滤。
2、目前的过滤装置是单个过滤桶,内装一个无纺布袋,因过滤精度要求高,而且加工下来的硅粉量大,无纺布袋的孔系极易被硅粉堵塞而过滤不畅,影响供液的流量。在实际加工中会因冷却液的流量不足,最终影响到切片的质量,降低硅片的合格率。一旦为了确保冷却液的正常使用,每切一刀都要换一只过滤袋,一年下来,使用成本增加。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、鉴于现有技术的上述缺点、不足,本技术提供一种切片机用冷却系统,其解决了过滤桶容易堵塞的技术问题。
3、(二)技术方案
4、为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案包括:
5、本技术实施例提供一种切片机用冷却系统,包括水箱、热交换器、切割室、第一过滤单元和第二过滤单元;水箱的出水口与第一过滤单元的进液口连通,第一过滤单元的出液口与热交换器的第一进水口连通,热交换器的第一出水口与第二过滤单元的进液口连通,第二过滤单元的出液口与切割室的进水口连通,切割室的出水口与水
6、优选地,还包括系统供水单元;系统供水单元与热交换器的第二进水口连通;热交换器的第二出水口与热网连通。
7、优选地,水箱与切割室之间设有回水槽;切割室的出水口与回水槽的进水口连通,回水槽的出水口与水箱的进水口连通。
8、优选地,水箱与第一过滤单元之间设有水泵。
9、优选地,第二过滤单元和切割室之间设有质量流量计。
10、优选地,反冲式过滤器包括罐体以及设置于罐体内的滤芯;滤芯与罐体同轴且间隔设置;罐体上开设有进液口、出液口、反冲水接口和排污接口;进液口位于罐体的侧壁,出液口和反冲水接口位于罐体的顶端,排污接口位于罐体的底端。
11、优选地,罐体上还设有压缩空气阀接口。
12、优选地,不锈钢钢丝缠绕形成滤芯;相邻两个钢丝之间的间隙用于过滤硅粉。
13、优选地,反冲式过滤器还包括压力传感器;压力传感器用于检测滤芯和罐体间液体的压力。
14、(三)有益效果
15、本技术的有益效果是:
16、本技术的切片机用冷却系统,由于包括第一过滤单元和第二过滤单元两个过滤单元,能够对带有硅粉的浆液进行粗过滤和精过滤,提高了过滤精度,同时由于过滤单元为反冲式过滤器,其能够将附着在滤芯外面的硅粉冲掉,从而保证了供液流量,也就保证了硅片的加工质量,且总体过滤精度高于无纺布袋过滤,滤芯使用时间长,不用刀刀更换,从而降低了机床的使用成本。
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1.一种切片机用冷却系统,其特征在于,包括水箱(1)、热交换器(2)、切割室(3)、第一过滤单元(4)和第二过滤单元(5);
2.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
3.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
4.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
5.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
6.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
7.如权利要求6所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
8.如权利要求7所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
9.如权利要求8所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
【技术特征摘要】
1.一种切片机用冷却系统,其特征在于,包括水箱(1)、热交换器(2)、切割室(3)、第一过滤单元(4)和第二过滤单元(5);
2.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
3.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
4.如权利要求1所述的切片机用冷却系统,其特征在于:
【专利技术属性】
技术研发人员:宋继清,蔡震,白雪情,侯贺,孙浩,刘洋,姜阳,
申请(专利权)人:大连连城数控机器股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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