弹性波装置制造方法及图纸

技术编号：43319529 阅读：0 留言：0更新日期：2024-11-15 20:20

弹性波装置具备：支承基板，在内部具有空洞部；压电体层，设置在支承基板上；功能电极，设置在压电体层上，该功能电极的至少一部分在沿着支承基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与空洞部重叠；以及至少1个构造体，设置在压电体层上，热线膨胀系数比压电体层小。构造体包含如下的区域，即，位于压电体层的设置有功能电极的区域以外的区域并且在沿着层叠方向观察的俯视下不与空洞部重叠的区域。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及具备压电层(压电体层)的弹性波装置。

技术介绍

1、例如，在专利文献1中公开了一种利用板波的弹性波装置。专利文献1记载的弹性波装置具备支承体、压电基板、以及idt电极。在支承体设置有空洞部。压电基板设置在支承体之上使得与空洞部重叠。idt电极设置在压电基板之上使得与空洞部重叠。在弹性波装置中，通过idt电极可激励板波。空洞部的端缘部不包含与由idt电极激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、近年来，在具有膜片部的弹性波装置中，要求一种能够容易地检测在膜片部产生的裂纹的弹性波装置。

3、本公开的目的在于，提供一种能够容易地检测在膜片部产生的裂纹的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本公开的一个方式的弹性波装置具备：

6、支承基板，在一个主面具有空洞部；

7、压电体层，设置在所述支承基板的一个主面上；

8、功能电极，设置在所述压电体层上，该功能电极的至少一部分在沿着所述支承基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述空洞部重叠；以及

9、至少1个构造体，设置在所述压电体层上，热线膨胀系数比所述压电体层小，

10、所述构造体包含如下的区域，即，位于所述压电体层的设置有所述功能电极的区域以外的区域

11、专利技术效果

12、根据本公开，能够提供一种能够容易地检测在膜片部产生的裂纹的弹性波装置。

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【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求2～5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求2～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求2～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求2～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1～14中任一项所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求1～15中任一项所述的弹性波装置，其中，

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】