一种三点式高精度炉体导向定位机构制造技术

本技术公开了一种三点式高精度炉体导向定位机构，包括炉体，炉体上方设置有炉盖，炉体圆周面上安装有三组侧装板，三组侧装板呈圆周阵列分布，每一个侧装板一侧均设置有定位柱，炉盖上设置有与定位柱上下对应的定位组件，定位组件包括定位板，定位板焊接在炉盖侧壁上，定位板上通过螺栓固定有导向块，导向块上设置有导向卡槽，定位柱下方设置有定位环，定位环焊接在炉体圆周面上，定位环上设置有三组槽口，三组槽口内通过阻尼转轴安装有卡合套件，通过卡合套件将炉盖以及炉体上下紧密贴合，其优点在于可以进行快速定位，无需反复调节位置，大大提高了内部的密封性，保证整体的结构稳定，提高作业安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶炉制造技术，更具体地说，特别涉及一种三点式高精度炉体导向定位机构。

技术介绍

1、目前，现有单晶炉采用在炉盖炉体圆周分别安装导柱,导套作为导向装置,在炉盖及炉体法兰上分别加工出内外径配合止口作为定位装置.因炉体直径较大,且导向装置与定位装置在导向过程中存在”过定位”,为了炉盖能够顺畅结合,定位止口的内外径向配合面须留有较大间隙(通常在1-2mm左右),故而定位精度差,重新开炉,合炉后单晶炉上下轴的同轴度发生变化.对后续拉晶工艺产生一定的影响.且因现有导向装置与定位装置在导向过程中的”过定位”,故而需要在装配过程中反复调整导向装置以保证能够顺畅结合。

2、现有的炉体和炉盖无法进行快速定位，需要反复调节位置，十分不便，同时定位后，炉盖和炉体存在缝隙，容易出现偏移，严重影响内部的密封性，不能完全合并安装，对于后续测试作业存在一定的安全隐患。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种三点式高精度炉体导向定位机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种三点式高精度炉体导向定位机构，包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉体圆周面上安装有三组侧装板，三组侧装板呈圆周阵列分布，每一个侧装板一侧均设置有定位柱，所述炉盖上设置有与定位柱上下对应的定位组件，

3、所述定位组件包括定位板，所述定位板焊接在炉盖侧壁上，所述定位板上通过螺栓固定有导向块，所述导向块上设置有导向卡槽，所述定位柱下方设置有定位环，所述定位环焊接在炉体圆周面上，所述定位环上设置有三组槽口，所述三组槽口内通过阻尼转轴安装有卡合套件，通过卡合套件将炉盖以及炉体上下紧密贴合。

4、作为本技术一种可选的方案，所述导向卡槽采用两段引导式导向，第一段采用u型开口设计，第二段在第一段的基础上采用v型斜口设计。

5、作为本技术一种可选的方案，所述导向块一侧设置有对称的止动螺栓，所述止动螺栓螺纹连接在导向块内，且压在定位板底部，所述止动螺栓上装配有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧位于定位板底部。

6、作为本技术一种可选的方案，所述定位柱一端设置有开口槽，所述开口槽内通过阻尼转轴连接有挡杆，通过挡杆对导向块进行限位。

7、作为本技术一种可选的方案，所述卡合套件包括卡扣板，所述卡扣板内设置有避让槽，所述卡扣板顶部设置有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有压紧螺栓，通过压紧螺栓将炉盖压紧在炉体顶部。

8、作为本技术一种可选的方案，所述炉盖底部设置有定位凸台，所述定位凸台采用环形设计，所述炉体顶部设置有与定位凸台配合的定位凹槽。

9、本技术提供了一种三点式高精度炉体导向定位机构，具备以下有益效果：

10、通过炉盖底部设置的定位凸台，可以快速定位在炉体的定位凹槽内，完成初步密封，根据导向块的导向卡槽快速卡合在炉体侧壁的定位柱上，旋转挡杆，将挡杆贴合导向块，避免抖动，导向卡槽采用两段引导式导向，第一段采用u型开口设计，第二段在第一段的基础上采用v型斜口设计，u型开口设计角度小,可进行精确定位,同时一定的角度可以保证在开炉或合炉过程中平稳顺畅，v型斜口设计角度大，允许较大误差范围内的引导，快速定位，通过翻转定位环上的卡扣板，调节压紧螺栓，将炉盖和炉体充分压紧，保证整体的结构稳定，提高作业安全性。

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【技术保护点】

1.一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：包括炉体(2)，所述炉体(2)上方设置有炉盖(1)，所述炉体(2)圆周面上安装有三组侧装板(5)，三组侧装板(5)呈圆周阵列分布，每一个侧装板(5)一侧均设置有定位柱(6)，所述炉盖(1)上设置有与定位柱(6)上下对应的定位组件，

2.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述导向卡槽(401)采用两段引导式导向，第一段采用U型开口设计，第二段在第一段的基础上采用V型斜口设计。

3.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述导向块(4)一侧设置有对称的止动螺栓(402)，所述止动螺栓(402)螺纹连接在导向块(4)内，且压在定位板(3)底部，所述止动螺栓(402)上装配有缓冲弹簧(403)，所述缓冲弹簧(403)位于定位板(3)底部。

4.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述定位柱(6)一端设置有开口槽，所述开口槽内通过阻尼转轴连接有挡杆(601)，通过挡杆(601)对导向块(4)进行限位。

5.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述卡合套件包括卡扣板(8)，所述卡扣板(8)内设置有避让槽，所述卡扣板(8)顶部设置有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有压紧螺栓(801)，通过压紧螺栓(801)将炉盖(1)压紧在炉体(2)顶部。

6.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述炉盖(1)底部设置有定位凸台(101)，所述定位凸台(101)采用环形设计，所述炉体(2)顶部设置有与定位凸台(101)配合的定位凹槽(201)。

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【技术特征摘要】

1.一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：包括炉体(2)，所述炉体(2)上方设置有炉盖(1)，所述炉体(2)圆周面上安装有三组侧装板(5)，三组侧装板(5)呈圆周阵列分布，每一个侧装板(5)一侧均设置有定位柱(6)，所述炉盖(1)上设置有与定位柱(6)上下对应的定位组件，

2.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述导向卡槽(401)采用两段引导式导向，第一段采用u型开口设计，第二段在第一段的基础上采用v型斜口设计。

3.根据权利要求1所述的一种三点式高精度炉体导向定位机构，其特征在于：所述导向块(4)一侧设置有对称的止动螺栓(402)，所述止动螺栓(402)螺纹连接在导向块(4)内，且压在定位板(3)底部，所述止动螺栓(402)上装配有缓冲弹簧(403)，所述缓冲弹簧(40...

【专利技术属性】
技术研发人员：向国平，
申请(专利权)人：无锡禹田真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：