【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动阻抗匹配器阻抗测试领域，具体而言，涉及一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法。
技术介绍
1、随着当前半导体技术的日益发展，自动阻抗匹配器在各种电子和通信系统中起着至关重要的作用，通过自动调谐确保阻抗匹配，可以实现最大化功率传输、最小化反射损耗以及提高信号质量和系统效率。这使得自动阻抗匹配器成为各类高性能电子设备和系统中不可或缺的组成部分。
2、以等离子清洗，等离子镀膜为例子，每个厂家生产的工艺，镀膜机或者清洗机真空腔体及负载的设计都存在很大的差异，导致负载阻抗差异很大，当负载阻抗不在自动阻抗匹配器的匹配范围内时，不仅无法对功率传输进行优化，反而可能会导致反射的激增。因此预先对负载阻抗和自动阻抗匹配器的匹配范围进行准确的测量是很有必要的。负载阻抗的测量往往比较容易，而自动阻抗匹配器由于需要对两个真空电容进行调谐，有无数种组合，而且位于射频源和负载之间，往往难以进行测量。
3、目前常用的方法是通过自动阻抗匹配器的结构模型使用专业的软件进行模拟、仿真，得到理想状况下的范围。
4、现有技术通过模型推导、阻抗分析或者仿真软件进行范围确定的方式受功率大小以及机箱腔体结构设计、机箱内部元器件等的影响，并且往往无法得到真空电容、电感等关键元件的实际和全面的参数，并且实际电路中会产生寄生电容和电感，导致仿真的结果与实际值发生偏差，同时当自动阻抗匹配器内部结构连接复杂的情况下，推理的方式复杂度呈现几何倍上升，不适用于结构较为复杂的自动阻抗匹配器的范围测量。
技术实现
1、有鉴于此，本专利技术提供一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，以解决上述问题。
2、为解决以上技术问题，本专利技术提供了一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，包括：
3、将自动阻抗匹配器反接，使其输入端与负载连接，输出端与阻抗检测仪连接；在阻抗检测仪的一侧连接外部射频信号源，作为测试信号输入端；
4、分别检测当前自动阻抗匹配器第一真空电容与第二真空电容的值，并获得当前自动阻抗匹配器的阻抗值；
5、锁定第一真空电容与第二真空电容的值，改变匹配的连接方向，检测自动阻抗匹配器输出端的负载阻抗；
6、改变任一真空电容的值，对其边界值区间内的值进行扫描，获得自动阻抗匹配器的匹配范围图。
7、作为一种可选方式，在进行检测之前，将任意真空电容的最大值归一化到1。
8、作为一种可选方式，改变匹配的连接方向，检测自动阻抗匹配器输出端的负载阻抗，包括：
9、当自动阻抗匹配器反接时，在自动阻抗匹配器的输入端接入负载，同时在自动阻抗匹配器的负载端测定反向阻抗；反向阻抗zl=r+xj；
10、在保持自动阻抗匹配器电容位置不变的情况下，将自动阻抗匹配器调整为正接，判断自动阻抗匹配器和输入端信号源组成的整体阻抗值是否与上述测定的反向阻抗相等；
11、若相等，在其负载端连接阻抗为zx=r-xj的负载，使阻抗zx与zl形成共轭匹配；其中，zl、zx为阻抗，r为电阻，x为电抗，j为虚数单位。
12、作为一种可选方式，改变任一真空电容的值，对其边界值区间内的值进行扫描，获得自动阻抗匹配器的匹配范围图，包括：
13、保持第一真空电阻的电容0，逐渐调节第二真空电阻的电容，扫描获得第一负载值边界；
14、保持第二真空电阻的电容为1，逐渐调节第一真空电阻的电容，扫描获得第二负载值边界；
15、保持第一真空电阻的电容为1，逐渐调节第二真空电阻的电容，扫描获得第三负载值边界；
16、保持第二真空电阻的电容为0，逐渐调节第一真空电阻的电容，扫描获得第四负载值边界；
17、将扫描得到的第一、第二、第三与第四边界绘制形成封闭图形，并映射到史密斯匹配范围图上，判断封闭图形内的点是否都落在史密斯匹配范围图的匹配范围内。
18、本专利技术的有益效果为：
19、本专利技术所采用的方法可以适用于不同功率不同频率，以及不同结构设计的自动阻抗匹配器的范围测量，对实际自动阻抗匹配器进行测量，无需关注自动阻抗匹配器的内部结构，更加接近实际使用场景，测量过程更加高效，测量结果更加准确。
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1.一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，在进行检测之前，将任意所述真空电容的最大值归一化到1。
3.根据权利要求1所述的一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，所述改变匹配的连接方向，检测所述自动阻抗匹配器输出端的负载阻抗，包括：
4.根据权利要求3所述的一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，改变任一所述真空电容的值，对其边界值区间内的值进行扫描，获得自动阻抗匹配器的匹配范围图，包括：
【技术特征摘要】
1.一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测试方法，其特征在于，在进行检测之前，将任意所述真空电容的最大值归一化到1。
3.根据权利要求1所述的一种射频自动阻抗匹配器匹配范围测...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹志辉，李俊，
申请(专利权)人：成都德芯数字科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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