【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及立式热场炉领域，尤其涉及一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉。
技术介绍
1、pecvd工艺的目的是在硅片表面形成固态薄膜。其工艺原理是通过将产品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用立式热场炉内部的加热体来将产品升温至预定温度，然后通入适量反应气体，气体经过一些列化学变化和等离子反应，在产品表面成型固态薄膜，而在高温条件下，利用物质从高浓度向低浓度运动的特性，将原子以一定可控性参入半导体中。产品到达预定温度后类磷、硼等元素在产品表面进行扩散处理，而现有的pe工艺多基于立式热场炉（pecvd反应炉）进行操作，其中，在立式热场炉使用的过程中，会因为电热丝长时间处于加热状态，而又因为电热丝自身的物理性能会导致电热丝在长时间加热完成后，导致部分电热丝出现变形或下榻的现象，进而影响到整个立式热场炉的加热效率。
技术实现思路
1、为了克服现有立式热场炉在长时间使用后，会因为电热丝自身的物理性能而导致电热丝在长时间加热后产生电热丝变形或下榻现象，进而影响到整个立式热场炉加热效率的问题。
2、本专利技术的技术方案为：一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，包括有遮罩组件；所述遮罩组件的外侧安装有调节组件；所述遮罩组件包括有遮罩环；所述遮罩环的内侧设置有多组定位条；每组所述定位条设置有两个；相邻两组所述定位条之间设置有多个限位条；所述限位条与遮罩环通过螺栓连接；所述遮罩环的内侧设置有电热粗丝；所述电热粗丝的上端安装有连接片；所述连接片的上端安装有连接链条；所述连接链条的内侧啮合的固
3、作为优选，所述电热粗丝的下端固接有固定片；所述固定片与遮罩环通过手工电弧焊焊接；所述遮罩环的外侧安装有多个固定滑架；所述固定滑架上开设有两个定位滑槽；所述定位滑槽与调节环设置为滑动连接；所述液压推杆的下端安装有推杆底板。
4、作为优选，所述遮罩组件的上端安装有提升组件；所述提升组件包括有密封盖板；所述密封盖板与遮罩环通过螺栓连接；所述密封盖板的上端安装有安装环；所述安装环的上端安装有连接柱；所述连接柱的上端安装有连接臂；所述连接臂的上下端均安装有一个加强板。
5、作为优选，所述提升组件的后端安装有支架组件；所述支架组件包括有丝杆滑块；所述丝杆滑块与连接臂通过螺栓连接；所述丝杆滑块的内侧间隙配合有提升丝杆；所述提升丝杆的外侧设置有连接背板。
6、作为优选，所述连接背板的上端安装有丝杆电机；所述丝杆电机与提升丝杆通过联轴器设置为转动连接；所述连接背板上固接有多个安装片；所述安装片的下端安装有固定底板；所述固定底板的上端安装有惰性气体罐；所述惰性气体罐上安装有送气管；所述送气管上设置有电控阀。
7、作为优选，所述支架组件的上端安装有底座组件；所述底座组件包括有固定底座；所述固定底座与固定底板通过螺栓连接；所述固定底座的外侧设置有定位架；所述固定底座的上端安装有进气座；所述进气座与送气管设置为固接；所述进气座的上端安装有多个波纹气管；所述进气座的内侧设置有伺服电机。
8、作为优选，所述伺服电机的上端通过联轴器转动连接有转动丝杆；所述定位架的内侧滑动连接有连接条；所述连接条上固接有定位滑架；所述波纹气管的上端安装有连接气箱；所述连接气箱上转动连接有贴靠环；所述贴靠环的上端安装有多个固定气管；所述固定气管上安装有送气头。
9、作为优选，所述底座组件的上端设置有转盘组件；所述转盘组件包括有啮合套环；所述啮合套环与定位滑架通过螺栓连接；所述啮合套环与转动丝杆设置为间隙配合；所述啮合套环的外侧固接有固定托架；所述固定托架的上端安装有转动底架；所述转动底架的上端设置有多个连接滚珠；所述连接滚珠的上端设置有固定环板；所述固定环板与转动底架设置为转动连接；所述固定环板的内侧固接有多个啮合齿；所述固定托架的内侧安装有步进电机；所述步进电机的上端通过转轴转动连接有啮合轮。
10、作为优选，所述转盘组件的外侧安装有多个置物组件；所述置物组件包括有夹环板；所述夹环板与固定环板通过螺栓连接；所述夹环板上安装有两个定位杆；所述定位杆的外侧设置有复位弹簧；所述复位弹簧上固接有复位板；所述复位板上安装有动挡板；所述动挡板的下端设置有置物板。
11、作为优选，所述置物板与夹环板设置为一体；所述置物板上安装有阴极板；所述阴极板的前后端均设置有一个夹持槽；所述夹持槽的内侧设置有夹持片；所述置物板的一侧安装有定挡板；所述复位板的一侧设置有托管板；所述托管板与固定气管通过螺栓连接。
12、本专利技术的有益效果：
13、1、通过设置特殊的拉丝结构与粗丝来对电热丝的形态进行改变，以使得电热丝在长时间使用后可以对电热丝的形态进行变换，从而使得电热丝在重力的作用下出现下榻或变形的现象，以解决现有立式热场炉在长时间使用后，会因为电热丝自身的物理性能而导致电热丝在长时间加热后产生电热丝变形或下榻现象，进而影响到整个立式热场炉加热效率的问题；
14、2、伴随着装置的使用，电热粗丝会因为高温与重力导致本身出现变形或下榻现象，通过液压推杆收缩来驱动连杆板，以使得安装在连杆板上的调节环可以带动多个组合片进行下移，并通过组合片带动连接链条拨动固定链轮进行转动，以通过固定链轮来带动位于遮罩环内侧的固定链轮可以进行上移，并通过固定链轮来带动连接片上移，同时粗丝的设置也可以在一定程度上代替细丝来提高电热丝的物理性能，从而使得位于连接片下端的电热粗丝可以产生形变，以防止电热粗丝因为变形或下榻而影响到整个立式热场炉的工作效率；
15、3、通过伺服电机驱动转动丝杆进行转动，以使得与其啮合的啮合套环可以在定位架与连接条的作用下，以在竖直方向上进行移动，并通过步进电机驱动啮合轮进行转动，以通过转动的啮合轮来使得固定环板可以在啮合齿与多个连接滚珠的作用下进行转动，并使得固定环板可以带动多个置物组件进行转动，以使得放置在置物组件上的硅片可以呈回转上下浮动式在立式热场炉的内部进行移动，从而使得硅片可以被充分加热，进而可以大幅度的提高整个立式热场炉的使用便利性；
16、4、通过开启惰性气体罐上的电控阀来使得惰性气体可以进入送气管的内部，并通过送气管来将惰性气体通过多个波纹气管送入连接气箱的内部，并通过连接气箱上转动连接的贴靠环与固定气管来将惰性气体通过送气头吹在放置在阴极板上的硅片上，通过利用物质从高浓度向低浓度运动的特性，将惰性气体中的原子以一定可控性参入硅片中，从而可以在一定程度上提高整个粗丝立式热场炉的使用舒适性。
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1.一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，包括有遮罩组件（3）；其特征在于：所述遮罩组件（3）的外侧安装有调节组件（4）；所述遮罩组件（3）包括有遮罩环（301）；所述遮罩环（301）的内侧设置有多组定位条（302）；每组所述定位条（302）设置有两个；相邻两组所述定位条（302）之间设置有多个限位条（303）；所述限位条（303）与遮罩环（301）通过螺栓连接；所述遮罩环（301）的内侧设置有电热粗丝（307）；所述电热粗丝（307）的上端安装有连接片（306）；所述连接片（306）的上端安装有连接链条（305）；所述连接链条（305）的内侧啮合的固定链轮（304）；所述固定链轮（304）与遮罩环（301）通过转轴设置为转动连接；所述调节组件（4）包括有组合片（401）；所述连接链条（305）与组合片（401）通过螺栓连接；所述组合片（401）的下端安装有调节环（402）；所述调节环（402）上安装有调节套（403）；所述调节套（403）上安装有连杆板（406）；所述连杆板（406）的下端安装有液压推杆（407）。
2.根据权利要求1所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式
3.根据权利要求1所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述遮罩组件（3）的上端安装有提升组件（2）；所述提升组件（2）包括有密封盖板（205）；所述密封盖板（205）与遮罩环（301）通过螺栓连接；所述密封盖板（205）的上端安装有安装环（204）；所述安装环（204）的上端安装有连接柱（203）；所述连接柱（203）的上端安装有连接臂（201）；所述连接臂（201）的上下端均安装有一个加强板（202）。
4.根据权利要求3所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述提升组件（2）的后端安装有支架组件（1）；所述支架组件（1）包括有丝杆滑块（105）；所述丝杆滑块（105）与连接臂（201）通过螺栓连接；所述丝杆滑块（105）的内侧间隙配合有提升丝杆（103）；所述提升丝杆（103）的外侧设置有连接背板（102）。
5.根据权利要求4所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述连接背板（102）的上端安装有丝杆电机（104）；所述丝杆电机（104）与提升丝杆（103）通过联轴器设置为转动连接；所述连接背板（102）上固接有多个安装片（106）；所述安装片（106）的下端安装有固定底板（101）；所述固定底板（101）的上端安装有惰性气体罐（107）；所述惰性气体罐（107）上安装有送气管（108）；所述送气管（108）上设置有电控阀。
6.根据权利要求5所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述支架组件（1）的上端安装有底座组件（5）；所述底座组件（5）包括有固定底座（502）；所述固定底座（502）与固定底板（101）通过螺栓连接；所述固定底座（502）的外侧设置有定位架（501）；所述固定底座（502）的上端安装有进气座（503）；所述进气座（503）与送气管（108）设置为固接；所述进气座（503）的上端安装有多个波纹气管（504）；所述进气座（503）的内侧设置有伺服电机（505）。
7.根据权利要求6所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述伺服电机（505）的上端通过联轴器转动连接有转动丝杆（506）；所述定位架（501）的内侧滑动连接有连接条（508）；所述连接条（508）上固接有定位滑架（507）；所述波纹气管（504）的上端安装有连接气箱（509）；所述连接气箱（509）上转动连接有贴靠环（510）；所述贴靠环（510）的上端安装有多个固定气管（511）；所述固定气管（511）上安装有送气头（512）。
8.根据权利要求7所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述底座组件（5）的上端设置有转盘组件（6）；所述转盘组件（6）包括有啮合套环（601）；所述啮合套环（601）与定位滑架（507）通过螺栓连接；所述啮合套环（601）与转动丝杆（506）设置为间隙配合；所述啮合套环（601）的外侧固接有固定托架（602）；所述固定托架（602）的上端安装有转动底架（603）；所述转动底架（603）的上端设置有多个连接滚珠（604）...
【技术特征摘要】
1.一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，包括有遮罩组件（3）；其特征在于：所述遮罩组件（3）的外侧安装有调节组件（4）；所述遮罩组件（3）包括有遮罩环（301）；所述遮罩环（301）的内侧设置有多组定位条（302）；每组所述定位条（302）设置有两个；相邻两组所述定位条（302）之间设置有多个限位条（303）；所述限位条（303）与遮罩环（301）通过螺栓连接；所述遮罩环（301）的内侧设置有电热粗丝（307）；所述电热粗丝（307）的上端安装有连接片（306）；所述连接片（306）的上端安装有连接链条（305）；所述连接链条（305）的内侧啮合的固定链轮（304）；所述固定链轮（304）与遮罩环（301）通过转轴设置为转动连接；所述调节组件（4）包括有组合片（401）；所述连接链条（305）与组合片（401）通过螺栓连接；所述组合片（401）的下端安装有调节环（402）；所述调节环（402）上安装有调节套（403）；所述调节套（403）上安装有连杆板（406）；所述连杆板（406）的下端安装有液压推杆（407）。
2.根据权利要求1所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述电热粗丝（307）的下端固接有固定片（308）；所述固定片（308）与遮罩环（301）通过手工电弧焊焊接；所述遮罩环（301）的外侧安装有多个固定滑架（404）；所述固定滑架（404）上开设有两个定位滑槽（405）；所述定位滑槽（405）与调节环（402）设置为滑动连接；所述液压推杆（407）的下端安装有推杆底板（408）。
3.根据权利要求1所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述遮罩组件（3）的上端安装有提升组件（2）；所述提升组件（2）包括有密封盖板（205）；所述密封盖板（205）与遮罩环（301）通过螺栓连接；所述密封盖板（205）的上端安装有安装环（204）；所述安装环（204）的上端安装有连接柱（203）；所述连接柱（203）的上端安装有连接臂（201）；所述连接臂（201）的上下端均安装有一个加强板（202）。
4.根据权利要求3所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述提升组件（2）的后端安装有支架组件（1）；所述支架组件（1）包括有丝杆滑块（105）；所述丝杆滑块（105）与连接臂（201）通过螺栓连接；所述丝杆滑块（105）的内侧间隙配合有提升丝杆（103）；所述提升丝杆（103）的外侧设置有连接背板（102）。
5.根据权利要求4所述的一种可防电热丝变形的粗丝立式热场炉，其特征在于：所述连接背板（102）的上端安装有丝杆电机（104）；所述丝杆电机（104）与提升丝杆（103）通过联轴器设置为转动连接；所述连接背板（102）上固接有多个安装片（106）；所述安装片（106）的下端安装有固定底板（101）；所述固定底板（101）的上端安装有惰性气体罐（107）；所述惰性气体罐（107）上安装有送气管（108）；所述送气管（108）上设置有电控阀。
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹伟，贾宝群，
申请(专利权)人：信阳中毅智能装备有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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