【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及阀门，尤其涉及一种阀门互锁装置及阀门控制方法。
技术介绍
1、为保证机台在工艺过程中的安全性，避免腔体污染或安全事故发生，提升机台可靠性，实现隔膜阀与隔膜阀的远距离有效互锁，保证互锁可靠尤为必要。随着工艺需求的增加和镀膜技术的发展，在工艺过程中要求阀门频繁切换，既要保证阀门快速响应，同时要求安全可靠。现有技术中采用增加常开小气动阀机械互锁的方式实现隔膜阀与隔膜阀的阀门互锁，但对于远距离及跨箱体的工况下，隔膜阀与隔膜阀的互锁会造成响应速度延时、无法实现快速互锁及阀门的频繁切换，因此如何确保阀门的快速互锁及频繁切换是一个亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供了一种阀门互锁装置及阀门控制方法，能够确保阀门的快速互锁及频繁切换。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种阀门互锁装置，所述阀门互锁装置包括：第一阀门组件，其包括第一气动阀及第一气控阀，所述第一气动阀及所述第一气控阀均用于与第一隔膜阀连接；第二阀门组件，其包括第二气动阀及第二气控阀，所述第二气动阀及所述第二气控阀均用于与第二隔膜阀连接；其中，所述第一气动阀与所述第二气控阀连接，所述第一气控阀与所述第二气动阀连接，实现所述第一隔膜阀和所述第二隔膜阀的阀门互锁。
3、进一步地，所述第一阀门组件中设有第一进气子支路，所述第一进气子支路的一端与所述第一气控阀连接，另一端与所述第一阀门组件中的第一进气支路连接。
4、进一步地，所述第一阀门组件还包括第一电磁阀，所述第
5、进一步地，所述第一进气支路与所述阀门互锁装置中的进气主路连接。
6、进一步地，所述第二阀门组件中设有第三进气子支路，所述第三进气子支路的一端与所述第二气控阀连接，另一端与所述第二阀门组件中的第二进气支路连接。
7、进一步地，所述第二阀门组件还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀的一端与所述第二气动阀连接，另一端与所述第二阀门组件中第四进气子支路的一端连接，所述第四进气子支路的另一端与所述第二进气支路连接。
8、进一步地，所述第二进气支路与所述阀门互锁装置中的进气主路连接。
9、进一步地，所述第一气动阀和所述第二气动阀为常开气动阀，所述第一气控阀和所述第二气控阀为常闭气控阀。
10、第二方面，本专利技术实施例还提供了一种阀门控制方法，应用于上述第一方面所述的阀门互锁装置中的第一电磁阀和/或第二电磁阀，包括：若接收到预设占空比的方波信号，则根据所述方波信号调节线圈电流；根据调节后的所述线圈电流控制所述第一电磁阀和/或所述第二电磁阀的开启与关闭。
11、进一步地，若所述方波信号为第一预设占空比的所述方波信号，则当所述线圈电流达到开启触发电流时，控制所述第一电磁阀和/或所述第二电磁阀开启；若所述方波信号为第二预设占空比的所述方波信号，则当所述线圈电流达到维持电流时，维持所述第一电磁阀和/或所述第二电磁阀开启；若所述方波信号为第三预设占空比的所述方波信号，则当所述线圈电流达到关闭触发电流时，控制所述第一电磁阀和/或所述第二电磁阀关闭。
12、本专利技术实施例提供了一种阀门互锁装置及阀门控制方法。其中，所述阀门互锁装置包括：第一阀门组件，其包括第一气动阀及第一气控阀，所述第一气动阀及所述第一气控阀均用于与第一隔膜阀连接；第二阀门组件，其包括第二气动阀及第二气控阀，所述第二气动阀及所述第二气控阀均用于与第二隔膜阀连接；其中，所述第一气动阀与所述第二气控阀连接，所述第一气控阀与所述第二气动阀连接，实现所述第一隔膜阀和所述第二隔膜阀的阀门互锁。本专利技术实施例通过第一气动阀、第二气动阀、第一气控阀以及第二气控阀实现第一隔膜阀和第二隔膜阀的阀门互锁，相比现有技术中的只通过气动阀对第一隔膜阀和第二隔膜阀进行机械互锁的阀门互锁方式，确保了阀门的快速互锁及频繁切换。
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1.一种阀门互锁装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一阀门组件中设有第一进气子支路，所述第一进气子支路的一端与所述第一气控阀连接，另一端与所述第一阀门组件中的第一进气支路连接。
3.根据权利要求2所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一阀门组件还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀的一端与所述第一气动阀连接，另一端与所述第一阀门组件中第二进气子支路的一端连接，所述第二进气子支路的另一端与所述第一进气支路连接。
4.根据权利要求3所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一进气支路与所述阀门互锁装置中的进气主路连接。
5.根据权利要求1所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第二阀门组件中设有第三进气子支路，所述第三进气子支路的一端与所述第二气控阀连接，另一端与所述第二阀门组件中的第二进气支路连接。
6.根据权利要求5所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第二阀门组件还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀的一端与所述第二气动阀连接，另一端与所述第二阀门组件中第四进气子支路的一端连接，所述第四进气子支
7.根据权利要求6所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第二进气支路与所述阀门互锁装置中的进气主路连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一气动阀和所述第二气动阀为常开气动阀，所述第一气控阀和所述第二气控阀为常闭气控阀。
9.一种阀门控制方法，应用于权利要求1-8任一项所述的阀门互锁装置中的第一电磁阀和/或第二电磁阀，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的阀门控制方法，其特征在于，所述根据调节后的所述线圈电流控制所述第一电磁阀和/或所述第二电磁阀的开启与关闭，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种阀门互锁装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一阀门组件中设有第一进气子支路，所述第一进气子支路的一端与所述第一气控阀连接，另一端与所述第一阀门组件中的第一进气支路连接。
3.根据权利要求2所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一阀门组件还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀的一端与所述第一气动阀连接，另一端与所述第一阀门组件中第二进气子支路的一端连接，所述第二进气子支路的另一端与所述第一进气支路连接。
4.根据权利要求3所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第一进气支路与所述阀门互锁装置中的进气主路连接。
5.根据权利要求1所述的阀门互锁装置，其特征在于，所述第二阀门组件中设有第三进气子支路，所述第三进气子支路的一端与所述第二气控阀连接，另一端与所述第二阀门组件中的第二进气支路连接。
...【专利技术属性】
技术研发人员：武越，鞠子辰，章志敏，冯鹏，张有为，刘启超，兰舰，刘鑫锐，
申请(专利权)人：拓荆创益沈阳半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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