【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片检测领域，尤其是一种芯片检测装置。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，芯片的质量检测至关重要。随着集成电路技术的迅猛发展，芯片的复杂度和集成度不断提高，对芯片检测的精度和效率提出了更高的要求。传统的芯片检测装置通常依赖于人工操作，存在检测速度慢、准确度低以及人工成本高等问题，难以满足现代化大规模生产的需求。
2、目前市场上普遍采用的芯片检测方法主要包括光学检测、电参数测试以及功能测试等。然而，这些方法在应用过程中存在以下不足：
3、1.光学检测：光学检测方法主要通过显微镜或光学扫描设备来检查芯片表面缺陷。这种方法虽然能够发现表面微小缺陷，但对于内部结构的检测能力有限。此外，光学检测设备价格昂贵，维护成本高，操作复杂，限制了其广泛应用。
4、2.电参数测试：电参数测试通过测量芯片的电性能指标来判断其质量。这种方法可以有效地检测出芯片的电气缺陷，但需要与被测芯片进行物理接触，容易引入接触不良等问题，影响检测精度。同时，对于多引脚芯片，测试过程繁琐，效率较低。
5、因此，亟需一种新的芯片检测装置来验证芯片功能的完整性。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术中所存在的问题，提出了本专利技术。
2、因此，本专利技术所要解决的技术问题是现有的检测技术较为繁琐且通过人工操作存在检测速度慢、准确度低的问题。
3、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种芯片检测装置，包括，
4、基座，包括
5、定位单元，包括定位盘、定位管，所述定位盘与外部气源连通的气孔并通过锁定电机转动安装在所述安装部上，所述定位管固定安装在所述定位盘上并与所述定位盘内部连通，晶圆通过所述定位管吸附安装在所述定位盘上；
6、检测单元，包括移动模组、探针和光学显微镜，所述探针和光学显微镜集成安装在所述移动模组上，用于对晶圆上的芯片进行电性和功能测试；
7、传动单元，包括立轴以及同轴设置在所述立轴上的第一齿轮和第二齿轮，所述定位盘外缘面具有与所述第一齿轮啮合连接的齿槽，所述移动模组驱动端安装有能与所述第二齿轮啮合连接的第三齿轮。
8、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述探针包括检测体和套壳，所述检测体通过弹性件滑动安装在所述套壳内。
9、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述移动模组包括支撑板、导向杆、螺纹杆以及移动座，所述导向杆的两端与所述支撑板固定，所述支撑板安装在所述基板上，所述螺纹杆位于所述导向杆的下方并与所述支撑板转动连接，所述移动座共同安装在所述导向杆和所述螺纹杆上；
10、其中，所述第三齿轮固定安装在所述螺纹杆上。
11、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述移动座包括座体，所述座体上滑动安装有滑动框，所述探针和光学显微镜安装在所述滑动框上，所述座体上固定安装有驱动件，驱动件的输出端与所述滑动框固定连接。
12、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述定位盘表面具有定位销，所述定位销沿所述定位盘圆周方向等距分布。
13、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述定位管包括管体、活塞、空心柱和吸盘，所述活塞密封连接在所述管体内并具有贯通孔，所述空心柱滑动安装在所述管体中且位于所述管体外的一端与所述吸盘固定，所述空心柱的另一端与所述活塞固定。
14、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述空心柱上活动安装有弹性件，所述弹性件的两端分别与所述活塞和所述管体内顶壁固定。
15、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述定位盘内设置有水道，所述水道具有进水口和出水口，所述进水口和所述出水口均用于与水源连接。
16、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：所述滑动框上还固定安装有数字红外温度传感器、透镜和激光系统，所述透镜位于所述数字红外温度传感器的下方，所述激光系统的延伸方向与所述数字红外温度传感器的感应方向相互垂直。
17、作为本专利技术芯片检测装置的一种优选方案，其中：一侧所述支撑板上固定安装有清洁单元，所述清洁单元包括清洁盒、支撑套和清洁棉，所述清洁盒表面具有开口，内部填充有清洁液，所述清洁棉套设在所述支撑套上并转动安装在所述清洁盒的开口内，所述支撑套具有延伸轴，所述清洁盒内壁具有可容纳所述延伸轴的凹槽，所述延伸轴与所述凹槽内壁之间设置有棘轮机构，用于控制所述清洁棉的单向旋转。
18、本专利技术的有益效果：晶圆通过定位管吸附在定位盘上，保持检测时的稳定性，在检测初始阶段，定位盘通过锁定电机实现旋转，并使移动模组带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，位于晶圆最外圈上的一个单元点上，一个单元点包含一个芯片，光学显微镜可以放大观察晶圆表面，检测芯片表面的物理缺陷，同时在探针进行电性测试之前，光学显微镜可以帮助精确对准探针的位置，确保探针正确接触到目标测试点，随着定位盘的旋转，探针和光学显微镜对晶圆最外圈的单元点全部都检测完毕，回到初始点，局部性的齿槽又一次带动啮合第一齿轮旋转，导致移动模组再一次带动探针和光学显微镜移动一个距离单元，对晶圆上的第二圈芯片进行测试，如此往复，直至对晶圆表面上的芯片全部检测完毕，通过这种自动化测试，显著缩短每个晶圆的测试周期。相比人工操作，减少了人工干预的需求，并且可以连续无间断地工作，从而提高整体产能，降低操作过程中可能出现的错误和疏漏，并通过光学检测与电气检测相配合的方式，提高了测试过程的可靠性和稳定性。
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1.一种芯片检测装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的芯片检测装置，其特征在于：所述探针(302)包括检测体(302a)和套壳(302b)，所述检测体(302a)通过弹性件滑动安装在所述套壳(302b)内。
3.根据权利要求2所述的芯片检测装置，其特征在于：所述移动模组(301)包括支撑板(301a)、导向杆(301b)、螺纹杆(301c)以及移动座(301d)，所述导向杆(301b)的两端与所述支撑板(301a)固定，所述支撑板(301a)安装在所述基板(101)上，所述螺纹杆(301c)位于所述导向杆(301b)的下方并与所述支撑板(301a)转动连接，所述移动座(301d)共同安装在所述导向杆(301b)和所述螺纹杆(301c)上；
4.根据权利要求3所述的芯片检测装置，其特征在于：所述移动座(301d)包括座体(301d-1)，所述座体(301d-1)上滑动安装有滑动框(301d-2)，所述探针(302)和光学显微镜(303)安装在所述滑动框(301d-2)上，所述座体(301d-1)上固定安装有驱动件，驱动件的输出端与所述
5.根据权利要求4所述的芯片检测装置，其特征在于：所述定位盘(201)表面具有定位销(201c)，所述定位销(201c)沿所述定位盘(201)圆周方向等距分布。
6.根据权利要求5所述的芯片检测装置，其特征在于：所述定位管(202)包括管体(202a)、活塞(202b)、空心柱(202c)和吸盘(202d)，所述活塞(202b)密封连接在所述管体(202a)内并具有贯通孔(202b-1)，所述空心柱(202c)滑动安装在所述管体(202a)中且位于所述管体(202a)外的一端与所述吸盘(202d)固定，所述空心柱(202c)的另一端与所述活塞(202b)固定。
7.根据权利要求6所述的芯片检测装置，其特征在于：所述空心柱(202c)上活动安装有弹性件，所述弹性件的两端分别与所述活塞(202b)和所述管体(202a)内顶壁固定。
8.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于：所述定位盘(201)内设置有水道(201d)，所述水道(201d)具有进水口(201d-1)和出水口(201d-2)，所述进水口(201d-1)和所述出水口(201d-2)均用于与水源连接。
9.根据权利要求8所述的芯片检测装置，其特征在于：所述滑动框(301d-2)上还固定安装有数字红外温度传感器(304)、透镜(305)和激光系统(306)，所述透镜(305)位于所述数字红外温度传感器(304)的下方，所述激光系统(306)的延伸方向与所述数字红外温度传感器(304)的感应方向相互垂直。
10.根据权利要求1-9任一项所述的芯片检测装置，其特征在于：一侧所述支撑板(301a)上固定安装有清洁单元(500)，所述清洁单元(500)包括清洁盒(501)、支撑套(502)和清洁棉(503)，所述清洁盒(501)表面具有开口，内部填充有清洁液，所述清洁棉(503)套设在所述支撑套(502)上并转动安装在所述清洁盒(501)的开口内，所述支撑套(502)具有延伸轴(502a)，所述清洁盒(501)内壁具有可容纳所述延伸轴(502a)的凹槽(501a)，所述延伸轴(502a)与所述凹槽(501a)内壁之间设置有棘轮机构(504)，用于控制所述清洁棉(503)的单向旋转。
...【技术特征摘要】
1.一种芯片检测装置，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的芯片检测装置，其特征在于：所述探针(302)包括检测体(302a)和套壳(302b)，所述检测体(302a)通过弹性件滑动安装在所述套壳(302b)内。
3.根据权利要求2所述的芯片检测装置，其特征在于：所述移动模组(301)包括支撑板(301a)、导向杆(301b)、螺纹杆(301c)以及移动座(301d)，所述导向杆(301b)的两端与所述支撑板(301a)固定，所述支撑板(301a)安装在所述基板(101)上，所述螺纹杆(301c)位于所述导向杆(301b)的下方并与所述支撑板(301a)转动连接，所述移动座(301d)共同安装在所述导向杆(301b)和所述螺纹杆(301c)上；
4.根据权利要求3所述的芯片检测装置，其特征在于：所述移动座(301d)包括座体(301d-1)，所述座体(301d-1)上滑动安装有滑动框(301d-2)，所述探针(302)和光学显微镜(303)安装在所述滑动框(301d-2)上，所述座体(301d-1)上固定安装有驱动件，驱动件的输出端与所述滑动框(301d-2)固定连接。
5.根据权利要求4所述的芯片检测装置，其特征在于：所述定位盘(201)表面具有定位销(201c)，所述定位销(201c)沿所述定位盘(201)圆周方向等距分布。
6.根据权利要求5所述的芯片检测装置，其特征在于：所述定位管(202)包括管体(202a)、活塞(202b)、空心柱(202c)和吸盘(202d)，所述活塞(202b)密封连接在所述管体(202a)内并具有贯通孔(202b-1)，所述空心柱(202c)滑动安装在所述管体...
【专利技术属性】
技术研发人员：张育嘉，
申请(专利权)人：苏州鑫达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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