System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种多级多模态融合的OLED缺陷检测装置制造方法及图纸_技高网
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一种多级多模态融合的OLED缺陷检测装置制造方法及图纸

技术编号:43303195 阅读:8 留言:0更新日期:2024-11-12 16:18
本发明专利技术公开了一种多级多模态融合的OLED缺陷检测装置,针对传统的基于图像的检测方案精度受限的问题,创新性地在OLED图像采集阶段引入偏振和多光谱信息,增强缺陷特征,进而提升系统对于细微缺陷的检测能力,针对OLED屏体缺陷种类丰富,形态复杂多变,单一装置无法完全检出的问题,从缺陷的成因和材料特性出发,采用了双点位检测系统对不同种类的缺陷进行分阶段检测。利用偏振信息对待测物表面的粗糙度和形貌特征较为敏感的特性,使用基于偏振融合的检测点位一检测裂纹、划痕、异物和破片缺陷;利用气泡和脏污对光谱特性敏感的特点,使用基于多光谱融合的装置二检测OLED屏体上的气泡和脏污缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工件制造加工领域,具体地说,是一种多级多模态融合的oled缺陷检测装置。


技术介绍

1、oled柔性屏的缺陷检测是其制造过程中至关重要的环节,对成品质量和制造过程分析具有重要意义。传统的目视检测方案人力成本高、效率低且易受主观因素影响。当下广泛应用的自动光学检测技术(automatic optic inspection,aoi)多采用基于强度图像的机器视觉方案,这些检测方案大多存在以下问题:

2、1.镜面反射对测量结果带来干扰:由于oled屏体表面光滑,为镜面反射物体,垂直拍摄的高分辨率图像中常常存在相机倒影,进而对检测结果带来较大干扰,若调整相机角度倾斜拍摄通常会牺牲一定的全视场分辨率,使测量精度偏低。

3、2.检测精度受限:由于oled的材料特性,细微的缺陷都可能导致屏幕以较快的速度氧化损毁,而普通工业相机采集到的强度图像中的细微缺陷往往对比度较低,难以分辨,无法满足实际工业检测的需求。

4、3.检出种类不全:于oled屏体的缺陷种类丰富,形态与特性复杂多变,单一检测装置往往无法将所有种类的缺陷检出。


技术实现思路

1、本专利技术针对现有技术的不足之处做出改进,对oled屏体的六类缺陷:裂纹、划痕、异物、破片、气泡和脏污,设计了一种基于偏振和多光谱的多级多模态融合装置。

2、针对传统的基于图像的检测方案精度受限的问题,创新性地在oled图像采集阶段引入偏振和多光谱信息,增强缺陷特征,进而提升系统对于细微缺陷的检测能力

3、针对oled屏体缺陷种类丰富,形态复杂多变,单一装置无法完全检出的问题,从缺陷的成因和材料特性出发,采用了双点位检测系统对不同种类的缺陷进行分阶段检测。利用偏振信息对待测物表面的粗糙度和形貌特征较为敏感的特性,使用基于偏振融合的检测点位一检测裂纹、划痕、异物和破片缺陷;利用气泡和脏污对光谱特性敏感的特点,使用基于多光谱融合的装置二检测oled屏体上的气泡和脏污缺陷。

4、本专利技术是通过以下技术方案来实现的:

5、本专利技术公开了一种多级多模态融合的oled缺陷检测装置,装置包括:

6、样品传输控制装置:包括传送带,用于自动上料、放置并传输oled样品;

7、双点位图像采集装置:偏振相机和多光谱相机,分别用于基于偏振融合和多光谱融合的检测;

8、照明装置:同轴光源和多光谱光源,同轴光源用于发射同轴光至oled样品上且产生反射光至偏振相机的视场范围;多光谱光源用于发射多光谱环形光至oled样品上且且产生反射光至多光谱相机的视场范围;

9、光源控制器:用于控制同轴光源和多光谱光源的开关和亮度,以及控制多光谱光源发射的多光谱环形光发射频率与多光谱相机采集频率一致;

10、工控机:用于同步控制图像采集装置的采集速度,分别生成偏振融合图像和多光谱融合图像,执行缺陷检测算法,并将两阶段检测结果进行后融合,以判定样品是否合格;

11、偏振膜:贴附于同轴光源发光面,用于获取偏振光;

12、光源控制器、传送带、偏振相机和多光谱相机均与工控机相连,同轴光源和多光谱光源均与光源控制器相连,偏振相机、同轴光源和偏振膜构成oled样品经过的检测第一点位,多光谱光源、多光谱相机构成oled样品经过的检测第二点位。

13、作为进一步地改进,本专利技术所述的检测装置还包括样品台,所属的样品台置于传送带上,用于放置待检测的oled样品。

14、作为进一步地改进,本专利技术所述的传送带用于稳定地输送样品通过两个检测点位;同轴光源用于提供均匀照明;多光谱环光用于提供宽范围光谱的照明。

15、作为进一步地改进,本专利技术所述的检测点位一用于检测oled屏体表面的裂纹、划痕、异物和破片缺陷;检测点位用于检测oled的屏体上的气泡和脏污等缺陷。

16、作为进一步地改进,本专利技术所述的同轴光源的发光面积大于等于样品尺寸的1.5倍,确保同轴光源发出的光线能够均匀的照射在样品表面。

17、作为进一步地改进,本专利技术所述的两个检测点位还包括固定装置,用于将两点位中的相机和光源固定在主体装置上,其中固定装置与点位一中的偏振相机和同轴光源相连,固定装置与点位二中的多光谱相机和多光谱环光相连,确保检测过程中各点位的稳定性和精度。

18、本专利技术的有益效果如下:

19、1.垂直大视场下高质量图像的获取:本专利技术通过使用大尺寸同轴光源,有效去除了采集到图像中相机倒影的干扰,解决了通常倾斜拍摄去反光策略中测量精度降低的问题,实现了垂直大视场下高质量图像的获取;

20、2.高质量偏振图像的获取:本专利技术通过在同轴光源上加装线偏振膜,解决了在偏振度较低的常规光源采集场景下,获取到偏振度和偏振觉图像中存在较多噪声的问题,实现了高质量偏振图像的获取;

21、3.提高了对细微缺陷的检测能力:本专利技术通过设计点位一段偏振融合装置,在图像中引入了偏振模态信息;通过设计点位二段多光谱融合装置,在图像中引入了光谱信息,两种模态信息的引入使得采集到图像中细微缺陷的特征得到增强,从而提升了细微缺陷的检出率;

22、4.实现高效、全面、可靠的oled缺陷检测:本装置采用多级多模态融合装置,将检测过程分为基于偏振融合装置的一阶段检测和基于多光谱融合装置的的二阶段检测,并使用工控机对两阶段检测结果进行后融合,对oled屏体的缺陷进行更为全面、准确的评估。这种多级检测结果融合的方法,有效提升了缺陷检测系统的召回率,降低了误检率,提供了更高效、全面、可靠的oled屏体缺陷检测技术方案。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多级多模态融合的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述的检测装置还包括样品台,所述的样品台置于传送带上,用于放置待检测的OLED样品。

3.根据权利要求1或2所述的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述的传送带用于稳定地输送样品通过两个检测点位;所述的同轴光源用于提供均匀照明;所述的多光谱环光(7)用于提供宽范围光谱的照明。

4.根据权利要求3所述的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述检测点位一用于检测OLED屏体表面的裂纹、划痕、异物和破片缺陷;所述的检测点位用于检测OLED的屏体上的气泡和脏污等缺陷。

5.根据权利要求1或2或4所述的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述的同轴光源的发光面积大于等于样品尺寸的1.5倍,确保同轴光源发出的光线能够均匀的照射在样品表面。

6.根据权利要求5所述的OLED缺陷检测装置,其特征在于,所述的两个检测点位还包括固定装置(11)和(12),用于将两点位中的相机和光源固定在主体装置上,其中固定装置(11)与点位一中的偏振相机(1)和同轴光源(2)相连,固定装置(12)与点位二中的多光谱相机(8)和多光谱环光(7)相连,确保检测过程中各点位的稳定性和精度。

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【技术特征摘要】

1.一种多级多模态融合的oled缺陷检测装置,其特征在于,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的oled缺陷检测装置,其特征在于,所述的检测装置还包括样品台,所述的样品台置于传送带上,用于放置待检测的oled样品。

3.根据权利要求1或2所述的oled缺陷检测装置,其特征在于,所述的传送带用于稳定地输送样品通过两个检测点位;所述的同轴光源用于提供均匀照明;所述的多光谱环光(7)用于提供宽范围光谱的照明。

4.根据权利要求3所述的oled缺陷检测装置,其特征在于,所述检测点位一用于检测oled屏体表面的裂纹、划痕、异物和破片缺陷;所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:林斌郭睿妮
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:

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