一种转移硅片的工装设备制造技术

本技术公开了一种转移硅片的工装设备，涉及硅片技术领域，该转移硅片的工装设备，包括底座，所述底座的上表面纵向中间位置上开设有T形滑槽，T形滑槽的内部滑动安装有T形滑块，T形滑块的顶端固定安装有转向电机，转向电机的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移，T形滑槽的内部设置有驱动装置，该装置用于驱动T形滑块在T形滑槽的内部移动，通过在支撑板的两侧设置扩展套，可根据硅片的实际大小，调节扩展套在支撑板上的位置，进而增加设备的多功能性，使其能够适应不同尺寸的硅片转移需求，且通过在扩展套的内部左右两端设置弧形限位板，进而防止扩展套脱离支撑板的前后两端，提高装置的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片，特别涉及一种转移硅片的工装设备。

技术介绍

1、在半导体产业高速发展的今天，无论是材料还是芯片研发，均需要用到硅片，在实际生产过程中，经常会面临需要将硅片从一个硅片盒转移到另一个硅片盒以进行试验产品归类或分批检测，或者需要将硅片盒的硅片取出以观察检查硅片表面。

2、目前已公开专利：cn202011526943.x公开了一种硅片转移装置，包括底座；设置于底座上、用于放置硅片盒的支架；活动设置于底座上的支撑板，支撑板可相对底座向支架的方向移动或向远离支架的方向移动；支撑于支撑板上、并可相对支撑板升降的支撑主轴；以及与支撑主轴形成转动连接的多层硅片载台，多层硅片载台沿支撑主轴的轴向彼此间隔设置并可分别绕支撑主轴转动。本专利技术提供的硅片转移装置可以实现硅片盒内的硅片批量转移，方便将硅片盒内的硅片批量转移到另外的硅片盒或将硅片盒内的硅片批量转移出来进行硅片的表面观察检查，无需人工手动逐一将硅片盒内的硅片取出，方便用户使用，且结构简单轻巧，便于携带使用，生产成本低。

3、但是该方案在使用的过程中还会出现以下问题：其载盘为固定大小，而现有的硅片尺寸类型多样，导致其不能根据硅片的实际大小进行调整，若载盘的尺寸大于硅片尺寸则不能使用，若载盘尺寸远小于硅片尺寸，则会造成转移过程中不稳定，因此实用性较低。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种转移硅片的工装设备，能够解决其载盘为固定大小，而现有的硅片尺寸类型多样，导致其不能根据硅片的实际大小进行调整，若载盘的尺寸大于硅片尺寸则不能使用，若载盘尺寸远小于硅片尺寸，则会造成转移过程中不稳定，实用性较低的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种转移硅片的工装设备，包括底座，所述底座的上表面纵向中间位置上开设有t形滑槽，t形滑槽的内部滑动安装有t形滑块，t形滑块的顶端固定安装有转向电机，转向电机的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移；

5、其中，t形滑槽的内部设置有驱动装置，该装置用于驱动t形滑块在t形滑槽的内部移动。

6、优选的，所述转移装置包括移动板，移动板固定安装在转向电机的输出轴上，移动板的右表面纵向中间位置上开设有矩形滑槽，矩形滑槽的内部底端固定安装有第一电机，第一电机的输出轴上固定安装有第一螺纹杆，第一螺纹杆远离第一电机的一端转动安装在矩形滑槽的内部顶端。

7、优选的，所述矩形滑槽的内部对应第一螺纹杆的外表面均匀滑动安装有若干个滑动板，且若干个滑动板均与第一螺纹杆的外表面啮合连接，所述滑动板的右端固定安装有支撑板。

8、优选的，所述支撑板的前后两侧均套接滑动安装有扩展套，所述扩展套的内部左右两侧均固定安装有弧形限位板.

9、优选的，所述扩展套的上表面均匀固定安装有橡胶条。

10、优选的，所述驱动装置包括第二电机，第二电机固定安装在t形滑槽的内部左端，第二电机的输出轴上固定安装有第二螺纹杆，第二螺纹杆远离第二电机的一端转动安装在t形滑槽的内部右端，且第二螺纹杆的外表面与t形滑块啮合连接。

11、(三)有益效果

12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

13、(1)、该转移硅片的工装设备，通过在支撑板的两侧设置扩展套，可根据硅片的实际大小，调节扩展套在支撑板上的位置，进而增加设备的多功能性，使其能够适应不同尺寸的硅片转移需求，提高装置的实用性。

14、(2)、该转移硅片的工装设备，通过在扩展套的内部左右两端设置弧形限位板，进而使得扩展套在支撑板的外侧移动时具有移动的阻力，进而防止扩展套脱离支撑板的前后两端，提高装置的稳定性。

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【技术保护点】

1.一种转移硅片的工装设备，包括底座(1)，底座(1)的上表面纵向中间位置上开设有T形滑槽(2)，T形滑槽(2)的内部滑动安装有T形滑块(3)，其特征在于：所述T形滑块(3)的顶端固定安装有转向电机(4)，转向电机(4)的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移；

2.根据权利要求1所述的一种转移硅片的工装设备，其特征在于：所述扩展套(11)的上表面均匀固定安装有橡胶条(13)。

3.根据权利要求2所述的一种转移硅片的工装设备，其特征在于：所述驱动装置包括第二电机(14)，第二电机(14)固定安装在T形滑槽(2)的内部左端，第二电机(14)的输出轴上固定安装有第二螺纹杆(15)，第二螺纹杆(15)远离第二电机(14)的一端转动安装在T形滑槽(2)的内部右端，且第二螺纹杆(15)的外表面与T形滑块(3)啮合连接。

【技术特征摘要】

1.一种转移硅片的工装设备，包括底座(1)，底座(1)的上表面纵向中间位置上开设有t形滑槽(2)，t形滑槽(2)的内部滑动安装有t形滑块(3)，其特征在于：所述t形滑块(3)的顶端固定安装有转向电机(4)，转向电机(4)的输出轴上设置有转移装置，该装置用于对硅片进行批量转移；

2.根据权利要求1所述的一种转移硅片的工装设备，其特征在于：所述扩展套(11)的上表面均...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴根华，
申请(专利权)人：上海镭能电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：