【技术实现步骤摘要】
本申请涉及扫描显微领域，具体涉及一种扫描电子显微成像系统及显微测量方法。
技术介绍
1、扫描电子显微镜是一种电子扫描成像设备，包括镜筒、样品舱、探测系统、成像系统、样品台以及运动平台，其中探测系统、样品台、运动平台均设置于样品舱内，样品台用于放置样品，运动平台用于控制样品台进行运动，镜筒用于形成高能电子束发射至样品，探测系统用于收集反射和/或透射的电子，成像系统则基于探测系统的探测信息形成图像。使用扫描电子显微镜进行样品扫描时，为了电子束能够无阻碍地到达样品，在扫描过程中，需要对镜筒和样品舱进行抽真空处理，而样品舱内的设备数量较多，导致样品舱占用的空间较大，抽真空的等待时间长，导致测量效率低。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是现有技术中扫描电子显微镜的抽真空等待时间长，测量效率低的问题。
2、为了解决上述技术问题，本申请实施例中提供一种扫描电子显微成像系统，包括：
3、样品台，用于放置样品；
4、真空舱，具有沿其轴线方向相对的装配端和密封端，所述真空舱的内部形成有贯通所述装配端和所述密封端布置的容纳腔；
5、镜筒，用于加速电子并射出电子束至所述样品；所述镜筒设置于所述装配端，并与所述容纳腔密封连通；
6、运动平台，用于承载并驱使所述样品台抵接于所述密封端，以使所述样品台封闭所述容纳腔，从而将所述容纳腔围成容纳所述样品的样品腔。
7、一种实施例中，所述样品台包括沿所述轴线方向相对设置的承载部和连接部，
8、一种实施例中，所述承载部具有样品槽，所述样品槽的开口朝向所述密封端设置；所述样品槽的容置空间与所述容纳腔共同组成所述样品腔。
9、一种实施例中，所述样品槽具有用于放置所述样品的承载面，所述承载面为垂直于所述轴线方向的平面或具有预设夹角的斜面。
10、一种实施例中，所述样品台还包括弹性密封件，所述弹性密封件环绕于所述样品槽，设置于所述样品台靠近所述密封端的端面。
11、一种实施例中，所述弹性密封件包括o型密封圈、u型密封圈、x型密封圈、y型密封圈和yx型密封圈中的至少一种。
12、一种实施例中，所述真空舱还具有贯通所述真空舱内外设置的连接通道，所述连接通道一端连接至所述容纳腔，另一端用于与柔性真空管密封连接，所述柔性真空管用于对所述样品腔抽真空。
13、一种实施例中，所述连接通道还用于供探头插设于其内，所述探头具有相对设置的固定部与探测部，所述探测部位于所述容纳腔内，所述固定部通过柔性密封管与所述连接通道另一端密封连接。
14、一种实施例中还提供一种显微测量方法，应用于上述的扫描电子显微成像系统中；包括：
15、将所述样品台置于所述运动平台；
16、将所述样品置于所述样品台；
17、控制所述运动平台，使所述样品台靠近所述真空舱移动，至所述样品台与所述真空舱的密封端抵接；
18、对所述样品腔抽真空；
19、通过所述镜筒，对所述样品进行检测。
20、一种实施例中，在所述对所述容纳腔抽真空之后，还包括：
21、控制所述运动平台解除与所述样品台之间的连接。
22、一种实施例中，在所述对所述样品腔抽真空之后，还包括：
23、控制所述运动平台，使所述样品台相对于所述真空舱垂直于所述轴线方向移动，移动过程中保持所述样品台与所述真空舱的抵接。
24、根据本申请实施例的扫描电子显微成像系统及显微测量方法，由于真空舱与样品台之间直接密封连接，将样品台、运动平台设置于所需抽真空的样品腔之外，从而减少了所需布设于样品腔内的设备数量，缩减了容纳腔所需的空间，从而缩短了抽真空的等待时间，提升了测量效率。
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1.一种扫描电子显微成像系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台包括沿所述轴线方向相对设置的承载部和连接部，所述承载部用于放置所述样品，所述连接部用于与所述运动平台可脱离的连接。
3.如权利要求2所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述承载部具有样品槽，所述样品槽的开口朝向所述密封端设置；所述样品槽的容置空间与所述容纳腔共同组成所述样品腔。
4.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品槽具有用于放置所述样品的承载面，所述承载面为垂直于所述轴线方向的平面或具有预设夹角的斜面。
5.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台还包括弹性密封件，所述弹性密封件环绕于所述样品槽，设置于所述样品台靠近所述密封端的端面。
6.如权利要求5所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述弹性密封件包括O型密封圈、U型密封圈、X型密封圈、Y型密封圈和YX型密封圈中的至少一种。
7.如权利要求1-6任一项所述的扫描电子显微成像系统，其特征
8.如权利要求7所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述连接通道还用于供探头插设于其内，所述探头具有相对设置的固定部与探测部，所述探测部位于所述容纳腔内，所述固定部通过柔性密封管与所述连接通道另一端密封连接。
9.一种显微测量方法，应用于如权利要求1-8任一项所述的扫描电子显微成像系统中；其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的显微测量方法，其特征在于，在所述对所述容纳腔抽真空之后，还包括：
11.如权利要求9所述的显微测量方法，其特征在于，在所述对所述样品腔抽真空之后，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微成像系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台包括沿所述轴线方向相对设置的承载部和连接部，所述承载部用于放置所述样品，所述连接部用于与所述运动平台可脱离的连接。
3.如权利要求2所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述承载部具有样品槽，所述样品槽的开口朝向所述密封端设置；所述样品槽的容置空间与所述容纳腔共同组成所述样品腔。
4.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品槽具有用于放置所述样品的承载面，所述承载面为垂直于所述轴线方向的平面或具有预设夹角的斜面。
5.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台还包括弹性密封件，所述弹性密封件环绕于所述样品槽，设置于所述样品台靠近所述密封端的端面。
6.如权利要求5所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述弹性密封件包括o...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱春涛，邹功文，郭积健，张和君，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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