System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种多室连续光学镀膜机制造技术_技高网

一种多室连续光学镀膜机制造技术

技术编号:43281506 阅读:2 留言:0更新日期:2024-11-12 16:05
本发明专利技术公开了一种多室连续光学镀膜机,属于光学镀膜技术领域,解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作,同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定,从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题,包括:镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件、光学镀膜组件,镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗,外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔;本发明专利技术实施例中,设置有基材承托机构,基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件,联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动,实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业,保证了镀膜的厚度和均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学镀膜,具体涉及一种多室连续光学镀膜机


技术介绍

1、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层金属薄膜的工艺过程,在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求,而光学镀膜机是一种用于信息科学与系统科学、物理学领域的工艺试验仪器,主要用于实现多层光学薄膜的精确制备。光学镀膜机在现代科技发展中扮演着重要角色。它不仅在光学元件的制造过程中提供关键支持,还在各种高科技领域如激光技术、光通信和空间技术中发挥着不可替代的作用。

2、中国专利cn117802472a公开了一种光学镀膜加工用的工装夹具,包括夹板、电机和正反丝杆,所述电机的一侧固定安装有正反丝杆,所述正反丝杆的外壁设置有动力机构,所述正反丝杆的一侧设置有抬升机构,所述正反丝杆的两侧转动在夹板内,所述夹板的一端开设有槽,但是现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作,同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定,从而使得薄膜的厚度和均匀性无法保证,针对上述问题,我们提出了一种多室连续光学镀膜机。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于针对现有技术的不足之处,提供一种多室连续光学镀膜机,解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作,同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定,从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题。

2、现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作,同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定,从而使得薄膜的厚度和均匀性无法保证。针对上述问题,我们提出了多室连续光学镀膜机,简而言之,所述多室连续光学镀膜机包括镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件以及光学镀膜组件,镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗,所述外壳体固定安装在镀膜机座上,外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔,而基材承托机构包括角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部。在工作时,将待镀膜的基材放置在基材限位部上,然后开启所述连续送料组件,连续送料组件启动将基材限位部、基材承托盘以及基材送入光学镀膜腔内,然后开启所述角度调节电机以及光学镀膜组件,角度调节电机启动能够带动基材承托盘转动,同时基材承托盘转动能够带动联动调节部运动,使得联动调节部带动光学镀膜组件同步运动,实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业。本专利技术实施例中,设置有基材承托机构,基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件,基材限位部的设置实现了对不同规格基材的夹持固定,同时夹持范围灵活可调,保证了基材镀膜的顺利进行,而联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动,使得联动调节部带动光学镀膜组件同步运动,实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业,保证了镀膜的厚度和均匀性。

3、本专利技术是这样实现的,一种多室连续光学镀膜机,所述多室连续光学镀膜机包括:

4、镀膜机体,所述镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗,所述外壳体固定安装在镀膜机座上,外壳体的侧壁安装有观察窗,外壳体的一侧设置有进料口,外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔;

5、基材承托机构,所述基材承托机构用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材;

6、连续送料组件,所述连续送料组件设置在所述外壳体内,且连续送料组件贯穿所述基材净化腔以及光学镀膜腔,并与所述基材承托机构连接;

7、光学镀膜组件,所述光学镀膜组件设置在所述光学镀膜腔内,光学镀膜组件用于对基材进行光学镀膜;

8、其中,所述基材承托机构包括:

9、角度调节电机,所述角度调节电机与连续送料组件连接;

10、与角度调节电机固定连接的基材承托盘;

11、基材限位部,所述基材限位部设置在所述基材承托盘内,且基材限位部用于对基材进行限位锁定;

12、联动调节部,所述联动调节部设置在所述光学镀膜腔内,且联动调节部分别与基材承托盘以及光学镀膜组件连接,联动调节部用于调节所述光学镀膜组件的镀膜位置。

13、优选地,所述连续送料组件包括:

14、送料电机,所述送料电机固定安装在所述镀膜基座上;

15、与送料电机输出端固定连接的送料螺杆,所述送料螺杆远离所述送料电机的一端延伸至基材净化腔以及光学镀膜腔内,并与外壳体的侧壁转动连接;

16、滑动送料座,所述滑动送料座螺纹套设在所述送料螺杆的外壁,且滑动送料座与角度调节电机固定连接;

17、至少一组送料导向槽,所述送料导向槽开设在所述外壳体的底部,且送料导向槽与滑动送料座之间滑动连接。

18、优选地,所述镀膜机体还包括:

19、原料储存罐,所述原料储存罐固定安装在所述外壳体的上表面,原料储存罐用于向光学镀膜组件供应镀膜材料;

20、镀膜控制器,所述镀膜控制器可拆卸安装在所述外壳体的上表面,且镀膜控制器分别与所述送料电机以及角度调节电机电性连接。

21、优选地,所述基材限位部包括:

22、限位电机,所述限位电机固定安装在所述基材承托盘内;

23、与限位电机输出端固定连接的限位齿盘,所述限位齿盘转动设置在所述基材承托盘内;

24、至少一组第一齿轮,所述第一齿轮转动安装在基材承托盘上,第一齿轮与限位齿盘之间啮合传动。

25、优选地,所述基材限位部还包括:

26、限位螺杆,所述限位螺杆与第一齿轮的一端固定连接;

27、螺纹套设在所述限位螺杆外壁上的承托螺纹座,所述承托螺纹座的底部设置有承托定位座,承托定位座固定安装在基材承托盘上,承托定位座与承托螺纹座之间滑动连接;

28、基材限位板,所述基材限位板可拆卸安装在所述承托螺纹座上,基材限位板用于夹持锁定不同规格的基材。

29、优选地,所述联动调节部包括:

30、联动齿圈,所述联动齿圈固定套设在所述基材承托盘的外壁;

31、第二齿轮,所述第二齿轮设置在联动齿圈的一侧,且第二齿轮与所述联动齿圈之间啮合传动;

32、齿轮连杆,所述齿轮连杆固定安装在所述第二齿轮的上表面,且齿轮连杆与外壳体的侧壁转动连接。

33、优选地,所述联动调节部还包括:

34、第三齿轮,所述第三齿轮与齿轮连杆的端部固定连接;

35、联动齿座,所述联动齿座套设在所述第三齿轮的外部,且联动齿座与所述第三齿轮之间啮合传动,联动齿座与光学镀膜组件可拆卸连接;

36、齿座导向板,所述齿座导向板固定安装在所述外壳体的侧壁上,齿座导向板与联动齿座滑动连接。

37、优选地,所述光学镀膜组件包括:

38、镀膜送料管,所述镀膜送料管设置在所述光学镀膜腔内,镀膜送料管的一端与原料储存罐连通;

39、蒸镀成膜座,所述蒸镀成膜座与镀膜送料管连通,且蒸镀成膜座用于将镀膜材料加热到蒸发温度,且蒸镀成膜座内置加热电阻丝、电子枪蒸发器本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多室连续光学镀膜机,所述多室连续光学镀膜机包括:

2.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述连续送料组件(4)包括:

3.如权利要求2所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述镀膜机体(1)还包括:

4.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)包括:

5.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)还包括:

6.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述联动调节部(34)包括:

7.如权利要求6所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述联动调节部(34)还包括:

8.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述光学镀膜组件(2)包括:

9.如权利要求6-8任一所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:还包括:

10.如权利要求9所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述吹扫联动部(53)包括:

【技术特征摘要】

1.一种多室连续光学镀膜机,所述多室连续光学镀膜机包括:

2.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述连续送料组件(4)包括:

3.如权利要求2所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述镀膜机体(1)还包括:

4.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)包括:

5.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机,其特征在于:所述基材限位部(33)还包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:王琦王征
申请(专利权)人:南京耶拿光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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