【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种鼓泡器。
技术介绍
1、碳化硅外延设备常用的液态源物质，包括三氯氢硅(trichlorosilane，tcs)，其以液态形式存储、运输、补充添加，在外延工艺过程中需要以气态形式参与到工艺反应过程。因此，基于外延工艺的需要，需要以一种合适的设备将tcs等安全可靠的从液态转换为气态，目前常用的设备是鼓泡器，通过其将精确计量的工艺气体或者惰性气体作为载气通入液态源内，以带出含有液态源蒸汽的气泡，然后输送至工艺机台中所需位置。
2、目前使用的鼓泡器结构存在以下几个缺陷：1)鼓泡器的水浴温度和鼓泡器内的实际温度之间具有一定差异，不能精准反馈鼓泡器内的温度；2)鼓泡器内的热交换不充分，造成生长过程中鼓泡器内的蒸汽浓度发生变化；3)鼓泡器填充量的控制采用单一的方式控制，在过度填充时不易发现，存在安全隐患。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是提供一种鼓泡器，能够使鼓泡器的热交换面积增加，提高鼓泡器的热交换效率，保持鼓泡器内的蒸汽浓度稳定。
2、为了解决上述问题，本技术提供了一种鼓泡器，所述鼓泡器包括：桶体；反应腔室，形成于所述桶体的内部，所述反应腔室的腔壁与所述桶体的内壁之间存在间隙以形成冷却水通道；进水管路，连接至所述桶体的所述冷却水通道，所述进水管路与所述桶体连接的位置靠近所述桶体的底部，所述进水管路用于向所述冷却水通道通入冷却水；出水管路，连接至所述桶体的所述冷却水通道，所述出水管路与所述桶体连接的位置靠近所述桶体的顶部
3、在一些实施例中，所述进水管路和所述出水管路设置于所述桶体的同一侧。
4、在一些实施例中，所述反应腔室的腔壁与所述桶体的内壁之间的间隙的宽度为1～4厘米。
5、在一些实施例中，还包括内置冷却水管路，所述内置冷却水管路设置于所述反应腔室的内部并与所述冷却水通道连通。
6、在一些实施例中，还包括：第一管路，所述第一管路通过第一阀门从所述反应腔室的顶部通入所述反应腔室，所述第一管路用于在所述第一阀门打开时向所述反应腔室内部通入液态源物质；第二管路，所述第二管路通过第二阀门从所述反应腔室的顶部通入所述反应腔室并延伸至所述反应腔室的底部，所述第二管路用于在所述第二阀门打开时向所述反应腔室内部的所述液态源物质内通入作为载气的气体，以形成含有液态源蒸汽的气泡；所述第三管路通过第三阀门从所述反应腔室的顶部通入所述反应腔室，所述第三管路用于在所述第三阀门打开时将所述反应腔室内部的所述含有液态源蒸汽的气泡输出；所述第二管路上还设置有调压阀，所述调压阀用于调节所述第二管路通入气体的压力。
7、在一些实施例中，还包括第四管路，所述第四管路通过第四阀门连接在所述第一管路与所述第二管路之间；排空管路，所述排空管路通过排空阀门连接至所述反应腔室的底部；关闭所述第一阀门，打开所述第四阀门以及所述排空阀门，所述气体能够从所述第一管路通入所述反应腔室内部，通过所述排空管路能够将所述反应腔室内部的所述液态源物质排空。
8、在一些实施例中，还包括温度传感器，所述温度传感器设置于所述反应腔室的内部，用于测量所述反应腔室内的温度。
9、在一些实施例中，所述温度传感器内部设置有多个测温点，多个所述测温点沿所述桶体的轴向分布。
10、在一些实施例中，还包括液位传感器，所述液位传感器设置于所述反应腔室的内部，所述液位传感器一端靠近所述反应腔室的底部，另一端靠近所述反应腔室的顶部，用于测量所述反应腔室内的液位。
11、在一些实施例中，还包括电子秤，所述桶体设置在所述电子秤的表面，所述电子秤用于测量所述桶体的重量变化。
12、以上技术方案，一方面设置所述反应腔室的侧壁与所述桶体的侧壁之间存在间隙以形成所述冷却水通道，使所述反应腔室与所述桶体之间形成双层结构；另一方面将所述进水管路设置在靠近所述桶体底部的位置以及所述出水管路设置在靠近所述桶体顶部的位置，从而形成冷却水循环上升的结构。鼓泡器内部的双层结构和冷却水循环上升的结构可以增加鼓泡器的热交换面积，提高鼓泡器的热交换效率，保持鼓泡器内的蒸汽浓度稳定。
13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
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1.一种鼓泡器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，所述进水管路和所述出水管路设置于所述桶体的同一侧。
3.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，所述反应腔室的腔壁与所述桶体的内壁之间的间隙的宽度为1～4厘米。
4.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括内置冷却水管路，所述内置冷却水管路设置于所述反应腔室的内部并与所述冷却水通道连通。
5.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的鼓泡器，其特征在于，还包括第四管路，所述第四管路通过第四阀门连接在所述第一管路与所述第二管路之间；
7.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括温度传感器，所述温度传感器设置于所述反应腔室的内部，用于测量所述反应腔室内的温度。
8.根据权利要求7所述的鼓泡器，其特征在于，所述温度传感器内部设置有多个测温点，多个所述测温点沿所述桶体的轴向分布。
9.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括液位传感器，所述液位传感器设置于所述反应腔
10.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括电子秤，所述桶体设置在所述电子秤的表面，所述电子秤用于测量所述桶体的重量变化。
...【技术特征摘要】
1.一种鼓泡器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，所述进水管路和所述出水管路设置于所述桶体的同一侧。
3.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，所述反应腔室的腔壁与所述桶体的内壁之间的间隙的宽度为1～4厘米。
4.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括内置冷却水管路，所述内置冷却水管路设置于所述反应腔室的内部并与所述冷却水通道连通。
5.根据权利要求1所述的鼓泡器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的鼓泡器，其特征在于，还包括第四管路，所述第四管路通过第四阀门连接在所述第一管路与所述第二管路之间；
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴庆东，薛会海，黄俊，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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