【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体领域，具体而言涉及一种管路接头组件和半导体晶圆的湿法刻蚀设备。
技术介绍
1、湿法刻蚀是半导体工艺
的一种常用刻蚀方法，其利用化学溶液作为蚀刻液体，有选择性地把没有被掩膜掩蔽的一部分薄膜层去除，从而在薄膜上得到和掩膜上一致的图形。湿法刻蚀设备是用于执行湿法刻蚀的设备，其利用管路输送蚀刻液，各条管路通过管路接头进行连接。
2、然而，管路中的蚀刻液流动时会产生震动，长时间的震动会导致管路接头处发生松动，导致漏液发生，严重影响设备效率，甚至发生严重的工伤事故。此外，如果管路接有泵的情况下，泵启动时以及工作时会产生震动，该震动也会使管路发生震动，从而导致管路接头处发生松动。
3、因此，需要一种新型的管路接头组件和半导体晶圆的湿法刻蚀设备，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本申请的
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
2、针对目前存在的问题，本申请的一方面提供一种管路接头组件，所述管路接头组件包括管路接头和闩锁，所述管路接头包括第一管路接头和第二管路接头，所述闩锁在所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时锁定所述第一管路接头与所述第二管路接头。
3、在本申请的一个实施例中，所述闩锁包括设置在所述第一管路接头上的闩锁本体和设置在所述第
4、在本申请的一个实施例中，所述闩锁本体为杆状，其一端设置在所述第一管路接头的外表面上，另一端沿所述第一管路接头的轴向伸出所述外表面，其中所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端设有卡合部。
5、在本申请的一个实施例中，所述凹槽底部设有齿状分布的卡槽，当所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时，所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端容纳在所述凹槽内并且所述卡合部卡合在所述卡槽内。
6、在本申请的一个实施例中，所述第一管路接头的外表面上设置有凹槽，所述闩锁本体容纳在所述第一管路接头的所述凹槽内。
7、在本申请的一个实施例中，所述闩锁本体的设置在所述第一管路接头的外表面上的一端设有固定部，所述固定部贴合在所述第一管路接头的端面上。
8、在本申请的一个实施例中，所述第一管路接头为母接头，所述第二管路接头为公接头。
9、在本申请的一个实施例中，所述第一管路接头为公接头，所述第二管路接头为母接头。
10、在本申请的一个实施例中，所述闩锁的数量为多个，多个所述闩锁沿所述管路接头的外周面间隔分布。
11、本申请的另一方面提供一种半导体晶圆的湿法刻蚀设备，所述湿法刻蚀设备包括用于输送蚀刻液的管路和如上所述的管路接头组件。
12、根据本申请的管路接头组件和半导体晶圆的湿法刻蚀设备，当第一管路接头与第二管路接头接合在一起时，闩锁将第一管路接头与第二管路接头锁定在一起，能够有效防止因管中的液体震动以及泵导致的震动引起的接头处松动的问题。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种管路接头组件，其特征在于，所述管路接头组件包括管路接头和闩锁，所述管路接头包括第一管路接头和第二管路接头，所述闩锁在所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时锁定所述第一管路接头与所述第二管路接头。
2.根据权利要求1所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁包括设置在所述第一管路接头上的闩锁本体和设置在所述第二管路接头上的凹槽，当所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时，所述闩锁本体与所述凹槽相配合以锁定所述第一管路接头与所述第二管路接头。
3.根据权利要求2所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁本体为杆状，其一端设置在所述第一管路接头的外表面上，另一端沿所述第一管路接头的轴向伸出所述外表面，其中所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端设有卡合部。
4.根据权利要求3所述的管路接头组件，其特征在于，所述凹槽底部设有齿状分布的卡槽，当所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时，所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端容纳在所述凹槽内并且所述卡合部卡合在所述卡槽内。
5.根据权利要求2所述的管路接头组件，其特征在
6.根据权利要求2所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁本体的设置在所述第一管路接头的外表面上的一端设有固定部，所述固定部贴合在所述第一管路接头的端面上。
7.根据权利要求1-6之一所述的管路接头组件，其特征在于，所述第一管路接头为母接头，所述第二管路接头为公接头。
8.根据权利要求1-6之一所述的管路接头组件，其特征在于，所述第一管路接头为公接头，所述第二管路接头为母接头。
9.根据权利要求1-6之一所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁的数量为多个，多个所述闩锁沿所述管路接头的外周面间隔分布。
10.一种半导体晶圆的湿法刻蚀设备，其特征在于，所述湿法刻蚀设备包括用于输送蚀刻液的管路和权利要求1-9之一所述的管路接头组件。
...【技术特征摘要】
1.一种管路接头组件，其特征在于，所述管路接头组件包括管路接头和闩锁，所述管路接头包括第一管路接头和第二管路接头，所述闩锁在所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时锁定所述第一管路接头与所述第二管路接头。
2.根据权利要求1所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁包括设置在所述第一管路接头上的闩锁本体和设置在所述第二管路接头上的凹槽，当所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时，所述闩锁本体与所述凹槽相配合以锁定所述第一管路接头与所述第二管路接头。
3.根据权利要求2所述的管路接头组件，其特征在于，所述闩锁本体为杆状，其一端设置在所述第一管路接头的外表面上，另一端沿所述第一管路接头的轴向伸出所述外表面，其中所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端设有卡合部。
4.根据权利要求3所述的管路接头组件，其特征在于，所述凹槽底部设有齿状分布的卡槽，当所述第一管路接头与所述第二管路接头接合在一起时，所述闩锁本体的伸出所述第一管路接头的一端容纳在...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾保荣，阚保国，陈伏宏，姚俊龙，蔡嘉辉，钱东，蔡浪洪，王皓，
申请(专利权)人：荣芯半导体淮安有限公司，
类型：新型
国别省市：
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