【技术实现步骤摘要】
本技术涉及漏点检测，具体提供一种真空设备的漏点检测装置和漏点检测系统。
技术介绍
1、真空设备的漏点检测是判断其真空腔室是否漏气的重要手段。目前常用的检测方法是“喷吹法”。“喷吹法”是将待测件连接在检漏仪的检漏口，并使用真空装置如真空泵对其进行抽真空，使其达到所需的真空等级；然后用喷枪向可疑的漏孔区域喷吹氦气，当有漏孔存在时，氦气就会通过漏孔进入质谱管而被检测到，从而实现漏孔的定位。
2、由于氦气密度低于空气且流动性强，这就对喷枪的喷气方式和喷气量要求较高。一些相关技术中，喷枪的喷气方式对操作者要求较高，且喷气量难以得到精准有效的控制，使得其喷气效果较差。这不仅容易造成大量氦气的浪费，还易使氦气误入其他区域而导致漏点的误判。
3、相应地，本领域需要一种新的真空设备的漏点检测装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有的真空设备的漏点检测装置的喷气效果较差的问题。
2、本技术的第一方面提供一种真空设备的漏点检测装置，包括：
3、第一管体，其具有进气端和排气端；
4、开关组件，其连通设置于所述第一管体上，所述开关组件用于控制所述第一管体内通道的通断；
5、第一调节阀，其一端与所述第一管体的进气端连通，所述第一调节阀的另一端用于连接外部气源，以使气体能够经所述第一调节阀进入所述第一管体。
6、可选地，还包括：
7、第二调节阀，其连通设置于所述第一管体上，且位
8、可选地，所述第二调节阀上设置有压力显示器。
9、可选地，还包括：
10、伸缩管，其连通设置于所述第一调节阀和所述第二调节阀之间。
11、可选地，还包括：
12、第二管体，其连通设置于所述第一管体的排气端，所述第二管体可伸缩地连接于所述第一管体。
13、可选地，所述第一管体的端部设置有连接组件，所述第二管体通过所述连接组件与所述第一管体相连，所述连接组件能够夹紧或松开所述第一管体，从而控制所述第一管体相对所述第二管体移动以实现伸缩。
14、可选地，所述连接组件包括：
15、第一连接件，所述第一连接件的第一端与所述第一管体相连，所述第一连接件的第二端沿周向开设有多个切槽，以将所述第一连接件的第二端分隔为多个相互独立的瓣片；
16、第二连接件，其与所述第一连接件的第二端螺纹连接，所述第二管体依次穿过所述第二连接件和所述第一连接件，所述第二连接件朝向靠近所述第一连接件的方向旋动时，多个所述瓣片向内侧靠拢从而夹紧所述第一管体，所述第二连接件朝向背离所述第一连接件的方向旋动时，多个所述瓣片向外侧张开从而松开所述第一管体。
17、可选地，所述第一连接件与所述第二连接件之间还设置有密封圈。
18、可选地，所述第二管体设置有弯曲部。
19、可选地，所述第二管体远离所述第一管体的端部设置有保护套。
20、可选地，所述开关组件包括：
21、主体部，其内部具有中间腔室以及分别位于所述中间腔室两侧的进气通道和排气通道，所述进气通道和所述排气通道均与所述中间腔室连通；
22、活塞，其滑动设置于所述中间腔室内；
23、杆体，其与所述活塞相连，所述杆体的一端位于所述中间腔室内，另一端伸出所述主体部；
24、弹性件，其位于所述中间腔室内，所述弹性件的一端与所述中间腔室的内壁抵接，另一端与所述活塞抵接，所述弹性件处于自然状态时，所述活塞封闭所述排气通道，按压所述杆体控制所述活塞移动时，所述进气通道通过所述中间腔室与所述排气通道连通。
25、可选地，所述开关组件还包括：
26、把手，其铰接于所述主体部上，所述把手与所述杆体抵接，转动所述把手以控制所述杆体移动。
27、本技术的第二方面提供一种真空设备的漏点检测系统，包括气体检测装置以及如第一方面中任一项所述的真空设备的漏点检测装置；
28、其中，所述气体检测装置用于与所述真空设备连通，以检测所述真空设备内是否有所述外部气源提供的气体。
29、本技术上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种有益效果：
30、本技术的技术方案中，真空设备的漏点检测装置包括第一管体，第一管体的进气端通过第一调节阀与外部气源连通，第一管体的排气端用于向真空设备的疑似漏气部位喷设气体。进一步地，第一管体还连通设置有开关组件，开关组件用于控制第一管体内通道的通断，以使操作人员可以根据需要打开或关闭通道以对疑似漏气部位进行不同方式的喷气操作。
31、由此可以看出，本实施例中的真空设备的漏点检测装置通过第一调节阀和开关组件的组合，不仅能够较为精准地控制气体流量，减少因多余气体的蔓延造成误判漏气点的情况，提高漏点检测的准确率，而且还使得操作更加方便快捷，从而可以提高装置使用的灵活性和操作人员的工作效率。
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1.一种真空设备的漏点检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第二调节阀上设置有压力显示器。
4.根据权利要求2所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第一管体的端部设置有连接组件，所述第二管体通过所述连接组件与所述第一管体相连，所述连接组件能够夹紧或松开所述第一管体，从而控制所述第一管体相对所述第二管体移动以实现伸缩。
7.根据权利要求6所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述连接组件包括：
8.根据权利要求7所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第一连接件与所述第二连接件之间还设置有密封圈。
9.根据权利要求5所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第二管体设置有弯曲部；和/或，所述第二管体远离所
10.根据权利要求1至9中任一项所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述开关组件包括：
11.根据权利要求10所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述开关组件还包括：
12.一种真空设备的漏点检测系统，其特征在于，包括气体检测装置以及权利要求1-11中任一项所述的真空设备的漏点检测装置；
...【技术特征摘要】
1.一种真空设备的漏点检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第二调节阀上设置有压力显示器。
4.根据权利要求2所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的真空设备的漏点检测装置，其特征在于，所述第一管体的端部设置有连接组件，所述第二管体通过所述连接组件与所述第一管体相连，所述连接组件能够夹紧或松开所述第一管体，从而控制所述第一管体相对所述第二管体移动以实现伸缩。
7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张健，刘志强，喻阳，侯浩，王雪超，兰晓东，霍达，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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