【技术实现步骤摘要】
本技术是涉及一种基础座，具体是涉及一种用于安装高精密光刻机的基础座，属于精密仪器基础座。
技术介绍
1、随着科技的飞速发展，几乎所有的高科技产品如手机、电脑、平板等都离不开芯片的支持，而在生产芯片的过程中，光刻机扮演着举足轻重的角色。光刻机的高分辨率、高精度和高速度是保证芯片制造质量和效率的关键因素。
2、随着芯片制造工艺的不断进步，对光刻机的要求也越来越高、越来越精密。能否实现光刻机精密定位对光刻机的工作精度具有重要影响。激光定位是目前精密仪器的常用定位手段，主要是利用激光跟踪仪实现精密定位。光刻机的基础座作为光刻机的安装支撑和防微振平台，对光刻机的工作精度具有很大影响。因此，为了确保高精密光刻机的工作精度，有必要开发出一种用于安装高精密光刻机的基础座。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的上述问题和需求，本技术的目的是提供一种用于安装高精密光刻机的基础座。
2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种用于安装高精密光刻机的基础座，包括主机台基础座和附属机台基础座，所述主机台基础座包括主机台基础座本体，在主机台基础座本体顶面的前左、前右、后左、后右部位分别嵌设有一个x向激光定位配件，在x向激光定位配件的内侧右侧分别嵌设有一个y向激光定位配件，在位于前左、后左部位的x向激光定位配件的外侧右侧分别嵌设有一个光栅尺定位配件，所述x向激光定位配件上均设有沿x向延伸且左端大右端小的x向定位槽，所述y向激光定位配件上均设有沿y向延伸且前后两端小中
4、一种实施方案，所述x向激光定位配件包括x向定位板，在x向定位板的上表面开设有左端大右端小的x向定位槽，在x向定位板的下表面对应x向定位槽的位置开设有与x向定位槽相通的x向u型槽，在x向u型槽的底部设有x向u型台阶。
5、一种实施方案，所述y向激光定位配件包括y向定位板，在y向定位板的上表面开设有前后两端小中间大的y向定位槽，在y向定位板的下表面对应y向定位槽的位置开设有与y向定位槽相通的y向条型槽，在y向条型槽的底部前后两端分别对称设有y向u型台阶。
6、一种实施方案，在主机台基础座本体顶面还嵌设有第一承重防微震配件、第二承重防微震配件、第三承重防微震配件、第四承重防微震配件、第五承重防微震配件、第六承重防微震配件、第七承重防微震配件、第八承重防微震配件和第九承重防微震配件；所述的第一承重防微震配件位于前左部位的x向激光定位配件与y向激光定位配件之间；所述的第二承重防微震配件位于前右部位的x向激光定位配件与y向激光定位配件之间；所述的第三承重防微震配件位于后左部位的x向激光定位配件与y向激光定位配件之间；所述的第四承重防微震配件位于后右部位的x向激光定位配件与y向激光定位配件之间；所述的第五承重防微震配件位于前左部位的y向激光定位配件的内侧；所述的第六承重防微震配件位于后左部位的y向激光定位配件的内侧；所述的第七承重防微震配件位于前左部位的y向激光定位配件和光栅尺定位配件的右侧；所述的第八承重防微震配件位于主机台基础座本体顶面的中部；所述的第九承重防微震配件位于第八承重防微震配件的右前侧。
7、一种优选方案，所述的第一承重防微震配件、第二承重防微震配件、第三承重防微震配件、第四承重防微震配件、第五承重防微震配件、第六承重防微震配件、第七承重防微震配件、第八承重防微震配件和第九承重防微震配件均为矩形不锈钢配件。
8、一种实施方案，所述的主机台基础座本体包括混凝土钢构框架和设于混凝土钢构框架内部的钢筋网，所述混凝土钢构框架包括顶板和多个竖向设置的支撑柱，多个支撑柱并列、间隔设置于顶板的底部，所述钢筋网包括水平钢筋网和数量与支撑柱数量相一致的竖向钢筋网，所述水平钢筋网水平设于顶板的下方，所述竖向钢筋网竖向设置于对应支撑柱内，且竖向钢筋网的顶部与水平钢筋网的底部焊接固定。
9、一种优选方案，在主机台基础座本体顶面所嵌设的定位配件和承重防微震配件的底部均通过竖向连接钢筋焊接固定在水平钢筋网的顶部。
10、一种优选方案，在主机台基础座本体的底部间隔嵌设有多根由开口向下的u型钢构成的横向加强梁，所述横向加强梁与支撑柱的底部纵横交叉连接。
11、一种优选方案，两相邻支撑柱之间为梯形空腔。
12、一种实施方案，所述主机台基础座本体的顶面涂布有防静电涂层。
13、一种实施方案，所述附属机台基础座包括钢构框体和固设在钢构框体顶部的面板及固设在钢构框体底部的若干支撑腿，在所述面板上开设有多个活动板和若干线束穿孔。
14、相较于现有技术，本技术的有益技术效果在于：
15、本技术提供的基础座，通过在主机台基础座本体的顶面嵌设x向激光定位配件、y向激光定位配件、光栅尺定位配件，不仅可满足高精密光刻机的精密安装定位要求，而且结构简单、相对轻质、制作和使用方便，对保证高精密光刻机的高精度工作具有重要价值。
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1.一种用于安装高精密光刻机的基础座，包括主机台基础座和附属机台基础座，所述主机台基础座包括主机台基础座本体，其特征在于：在主机台基础座本体顶面的前左、前右、后左、后右部位分别嵌设有一个X向激光定位配件，在X向激光定位配件的内侧右侧分别嵌设有一个Y向激光定位配件，在位于前左、后左部位的X向激光定位配件的外侧右侧分别嵌设有一个光栅尺定位配件，所述X向激光定位配件上均设有沿X向延伸且左端大右端小的X向定位槽，所述Y向激光定位配件上均设有沿Y向延伸且前后两端小中间大的Y向定位槽。
2.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述X向激光定位配件包括X向定位板，在X向定位板的上表面开设有左端大右端小的X向定位槽，在X向定位板的下表面对应X向定位槽的位置开设有与X向定位槽相通的X向U型槽，在X向U型槽的底部设有X向U型台阶。
3.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述Y向激光定位配件包括Y向定位板，在Y向定位板的上表面开设有前后两端小中间大的Y向定位槽，在Y向定位板的下表面对应Y向定位槽的位置开设有与Y向定位槽相通的
4.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：在主机台基础座本体顶面还嵌设有第一承重防微震配件、第二承重防微震配件、第三承重防微震配件、第四承重防微震配件、第五承重防微震配件、第六承重防微震配件、第七承重防微震配件、第八承重防微震配件和第九承重防微震配件；所述的第一承重防微震配件位于前左部位的X向激光定位配件与Y向激光定位配件之间；所述的第二承重防微震配件位于前右部位的X向激光定位配件与Y向激光定位配件之间；所述的第三承重防微震配件位于后左部位的X向激光定位配件与Y向激光定位配件之间；所述的第四承重防微震配件位于后右部位的X向激光定位配件与Y向激光定位配件之间；所述的第五承重防微震配件位于前左部位的Y向激光定位配件的内侧；所述的第六承重防微震配件位于后左部位的Y向激光定位配件的内侧；所述的第七承重防微震配件位于前左部位的Y向激光定位配件和光栅尺定位配件的右侧；所述的第八承重防微震配件位于主机台基础座本体顶面的中部；所述的第九承重防微震配件位于第八承重防微震配件的右前侧。
5.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述的主机台基础座本体包括混凝土钢构框架和设于混凝土钢构框架内部的钢筋网，所述混凝土钢构框架包括顶板和多个竖向设置的支撑柱，多个支撑柱并列、间隔设置于顶板的底部，所述钢筋网包括水平钢筋网和数量与支撑柱数量相一致的竖向钢筋网，所述水平钢筋网水平设于顶板的下方，所述竖向钢筋网竖向设置于对应支撑柱内，且竖向钢筋网的顶部与水平钢筋网的底部焊接固定。
6.根据权利要求5所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：在主机台基础座本体的底部间隔嵌设有多根由开口向下的U型钢构成的横向加强梁，所述横向加强梁与支撑柱的底部纵横交叉连接。
7.根据权利要求5所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：两相邻支撑柱之间为梯形空腔。
8.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述附属机台基础座包括钢构框体和固设在钢构框体顶部的面板及固设在钢构框体底部的若干支撑腿，在所述面板上开设有多个活动板和若干线束穿孔。
...【技术特征摘要】
1.一种用于安装高精密光刻机的基础座，包括主机台基础座和附属机台基础座，所述主机台基础座包括主机台基础座本体，其特征在于：在主机台基础座本体顶面的前左、前右、后左、后右部位分别嵌设有一个x向激光定位配件，在x向激光定位配件的内侧右侧分别嵌设有一个y向激光定位配件，在位于前左、后左部位的x向激光定位配件的外侧右侧分别嵌设有一个光栅尺定位配件，所述x向激光定位配件上均设有沿x向延伸且左端大右端小的x向定位槽，所述y向激光定位配件上均设有沿y向延伸且前后两端小中间大的y向定位槽。
2.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述x向激光定位配件包括x向定位板，在x向定位板的上表面开设有左端大右端小的x向定位槽，在x向定位板的下表面对应x向定位槽的位置开设有与x向定位槽相通的x向u型槽，在x向u型槽的底部设有x向u型台阶。
3.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：所述y向激光定位配件包括y向定位板，在y向定位板的上表面开设有前后两端小中间大的y向定位槽，在y向定位板的下表面对应y向定位槽的位置开设有与y向定位槽相通的y向条型槽，在y向条型槽的底部前后两端分别对称设有y向u型台阶。
4.根据权利要求1所述的用于安装高精密光刻机的基础座，其特征在于：在主机台基础座本体顶面还嵌设有第一承重防微震配件、第二承重防微震配件、第三承重防微震配件、第四承重防微震配件、第五承重防微震配件、第六承重防微震配件、第七承重防微震配件、第八承重防微震配件和第九承重防微震配件；所述的第一承重防微震配件位于前左部位的x向激光定位配件与y向激光定位配件之间；所述的第二承重防微震配件位于前右...
【专利技术属性】
技术研发人员：何成伟，
申请(专利权)人：协伟集成电路设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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