【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种检查装置和检查方法。
技术介绍
1、在检查包括多个图像传感器的基板时，从由多个led形成的发光部对基板照射检查用的光，来判断图像传感器的各像素有无缺陷。此外，近年来，基于提高信噪比、削减耗电等理由，正在开发在用于放置基板的载台侧设置发光部的检查装置。例如，日本专利文献1公开了一种包括光照射机构(照射装置)的检查装置，该光照射机构(照射装置)从载台侧向包括多个图像传感器的基板照射检查用的光。
2、专利文献1：日本特开2019-106491号公报
技术实现思路
1、<本专利技术要解决的问题>
2、本专利技术提供一种在基板的检查中能够抑制照射装置的功率损失并且大范围且高精度地调整光量的技术。
3、<用于解决问题的方式>
4、根据本专利技术的一个方式，提供一种检查装置，其对基板进行检查，包括：载台，其用于放置所述基板；照射装置，其设置于所述载台，对放置在该载台上的所述基板照射检查光；以及测试器，其对受到所述检查光照射的所述基板进行检查，其中，所述照射装置具备：发光部，其由多个led连接而成；固定电源部，其输出要供给到所述发光部的电力；以及恒流部，其设置在所述发光部与所述固定电源部之间，根据从所述固定电源部被输入的电压对电流量进行调整并供给到所述发光部，所述固定电源部具有利用谐振现象进行开关的多个开关电源，所述恒流部中，并联连接着第一恒流源和第二恒流源，所述第一恒流源被输入多个所述开关电源的电力，并按照
5、<专利技术的效果>
6、根据一个方式，在基板的检查中，能够抑制照射装置的电力损失，并且能够大范围且高精度地调整光量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种检查装置，其对基板进行检查，包括：
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
5.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，
7.根据权利要求6所述的检查装置，其中，
8.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
9.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
10.一种检查方法，其由对基板进行检查的检查装置执行，包括下述工序：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种检查装置，其对基板进行检查，包括：
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
5.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：河西繁，高濑文哉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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