【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用于被检体的检查的探针、探针保持装置以及探针的制造方法。
技术介绍
1、被检体的检查使用悬臂构造的探针。悬臂构造的探针具有臂部，该臂部将自由端与固定端连结，与被检体接触的顶端部连接于该自由端，利用该固定端固定探针。例如，探针以将固定端连接于探针基板的状态使用于检查。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2007－303834号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、一边识别探针的顶端部的位置，一边将探针安装于探针基板。因此，即使探针的臂部发生应变，在安装于探针基板时也不能检测出探针的应变。若探针以发生了应变的状态安装于探针基板，则在被检体的检查中不能使探针的顶端部准确地与被检体的电极焊盘的中心接触。若探针的顶端部自电极焊盘的中心偏置地与被检体接触，则探针与被检体的接触强度下降、或者探针与被检体的电极焊盘之间的电阻增大。其结果，会产生检查的精度下降等问题。
3、本专利技术的目的在于，提供具有悬臂构造且能够检测出探针的应变的探针、探针保持装置以及探针的制造方法。
4、用于解决问题的方案
5、本专利技术的一技术方案的探针的主旨在于，具备顶端部、臂部、支承部以及引导部。顶端部具有与被检体接触的接触部。臂部是具有将自由端与固定端连结的连接臂的悬臂构造，自由端与顶端部连接。支承部与固定端连接。引导部与臂部的朝向从接触部观察时被检体所处的顶端方向的设置区域连接，并比设
6、专利技术的效果
7、根据本专利技术，能够提供具有悬臂构造且能够检测出探针的应变的探针、探针保持装置以及探针的制造方法。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种探针，其使用于被检体的检查，其中，
2.根据权利要求1所述的探针，其中，
3.根据权利要求1所述的探针，其中，
4.根据权利要求1所述的探针，其中，
5.根据权利要求1所述的探针，其中，
6.一种探针保持装置，其保持权利要求1～5中任一项所述的探针，其中，
7.一种探针的制造方法，其为权利要求1～5中任一项所述的探针的制造方法，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种探针，其使用于被检体的检查，其中，
2.根据权利要求1所述的探针，其中，
3.根据权利要求1所述的探针，其中，
4.根据权利要求1所述的探针，其中，
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：岸康贵，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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