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【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关一种半导体测试设备,尤指一种用于半导体装置电性测试的植针设备。
技术介绍
1、半导体的电性测试常将例如半导体封装件或芯片的待测物置入具有多个探针(probe)的测试座(socket),于各探针与待测物的电性连接垫或锡球接触后,使测试信号经各探针传送至待测物,以达到测试的目的。
2、为提升测试作业速度,半导体业界遂开发植针设备,用以将多个探针植入测试座。然而,在植针过程中,容易发生卡针与植针偏移问题,而无法将全部探针有效植入测试座内,后续反而需要花费更多人力及时间进行异常排除,而严重拖慢测试作业进度。
3、因此,如何克服上述现有技术的问题,实已成目前亟欲解决的课题。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的种种缺失,本专利技术提供一种植针设备,包括:底座;测试座,设于该底座上并具有多个定位孔;吹嘴机构,用以提供多个探针至该多个定位孔;以及震动装置,设于该底座上。
2、前述的植针设备中,该测试座具有相对的第一表面与第二表面,并以该第二表面固定于该底座上。
3、前述的植针设备中,该吹嘴机构通过吹气抛针方式提供多个探针至该测试座的多个定位孔。
4、前述的植针设备中,还包含有一用于控制该震动装置作动的震动控制器。
5、前述的植针设备中,该震动控制器与该震动装置相互整合或彼此独立设置。
6、前述的植针设备中,该震动控制器供使用者根据用以植入该测试座的探针的针长或针径而设定多种控制模式。
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8、前述的植针设备中,该震动控制器根据该针长选择不同振幅,以控制该震动装置进行震动。
9、前述的植针设备中,该震动控制器根据该针径选择不同频率,以控制该震动装置进行震动。
10、前述的植针设备中,该震动控制器根据该针径选择不同震动速度,以控制该震动装置进行震动。
11、因此,本专利技术所揭示的植针设备,主要在与测试座连接的底座上设置震动装置(及震动控制器),以通过震动而令探针有效定位于测试座的定位孔中,避免人工植针品质异常以及卡针或植针偏移等异常问题,达到制造自动化目的。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种植针设备,包括:
2.如权利要求1所述的植针设备,其中,该测试座具有相对的第一表面与第二表面,并以该第二表面固定于该底座上。
3.如权利要求1所述的植针设备,其中,该吹嘴机构通过吹气抛针方式提供该多个探针至该测试座的多个定位孔。
4.如权利要求1所述的植针设备,其中,该植针设备还包括一用于控制该震动装置作动的震动控制器。
5.如权利要求4所述的植针设备,其中,该震动控制器与该震动装置相互整合或彼此独立设置。
6.如权利要求4所述的植针设备,其中,该震动控制器供使用者根据用以植入该测试座的该多个探针的针长或针径而设定多种控制模式。
7.如权利要求6所述的植针设备,其中,该震动控制器根据该针长选择不同电压,以控制该震动装置进行震动。
8.如权利要求6所述的植针设备,其中,该震动控制器根据该针长选择不同振幅,以控制该震动装置进行震动。
9.如权利要求6所述的植针设备,其中,该震动控制器根据该针径选择不同频率,以控制该震动装置进行震动。
10.如权利要求6所述的植针设备,其
...【技术特征摘要】
1.一种植针设备,包括:
2.如权利要求1所述的植针设备,其中,该测试座具有相对的第一表面与第二表面,并以该第二表面固定于该底座上。
3.如权利要求1所述的植针设备,其中,该吹嘴机构通过吹气抛针方式提供该多个探针至该测试座的多个定位孔。
4.如权利要求1所述的植针设备,其中,该植针设备还包括一用于控制该震动装置作动的震动控制器。
5.如权利要求4所述的植针设备,其中,该震动控制器与该震动装置相互整合或彼此独立设置。
6.如权利要求4所述的植针设备,其中,该震动控制器供...
【专利技术属性】
技术研发人员:张秉霖,方君维,谢君佑,陈以仁,叶鸿洁,
申请(专利权)人:矽品精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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