【技术实现步骤摘要】
本揭示是关于一种冷却技术，并进一步关于一种残余物处理技术。
技术介绍
1、归因于制造要求，应当移除每个制造流程中的半导体的残余物。然而，没有足够的移除半导体残余物的方式。由此，充分且精确地移除半导体残余物成为半导体
中的关键问题。
技术实现思路
1、本揭露提供一种冷却系统，包含一清洁装置及一浓度量测装置。清洁装置包含一贮槽、一管道及至少一个空气阀门。贮槽用以容纳处于一第一温度的一第一液体。管道耦接到该贮槽，其中该第一液体在该管道及该贮槽内部循环流动。至少一个空气阀门接到该管道，其中该清洁装置用于将该至少一空气阀门的空气递送到该冷却器。浓度量测装置包含一导管、一冷却器、一浓度计以及一风扇。导管耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体。冷却器完全覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体至一第二温度。浓度计用以量测由该冷却器冷却至该第二温度的该第一液体的一浓度。风扇设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置。该导管更用以在将该第一液体冷却到该第二温度之后，将该第一液体递送到该浓度计，以及该至少一个空气阀门将该空气递送到该冷却器以冷却该第一液体。
2、本揭露亦提供一种冷却方法，包含：经由一导管从一贮槽导出处于一第一温度的一第一液体；通过完全覆盖该导管的一冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到一第二温度；在将该第一液体冷却到该第二温度之后，将该第一液体递送到耦接该冷却器的一浓度计；通过该浓度计量测处于该第二温度的该第一液体的一浓度，该第一液体是由该导管递送；根据该第一液体
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1.一种冷却系统，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，其中该至少一空气阀门用于控制该第一液体在该管道中的一流动路径，并且该清洁装置将用于控制该至少一空气阀门的该空气递送到该冷却器，以冷却由该导管递送的该第一液体。
3.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，其中该冷却器包含围绕该导管设置的一螺旋软管，该螺旋软管用以递送该空气，该空气用于控制该至少一空气阀门，以冷却由该导管递送的该第一液体。
4.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，其中该冷却器包含：
5.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，其中该冷却器包含：
6.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：
7.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，该浓度量测装置进一步包含：
8.一种冷却方法，其特征在于，包含：
9.根据权利要求8所述的冷却方法，其特征在于，通过完全覆盖该导管的该冷却器，将由该导管递送的该第一液体冷却到该第二温度包含：
10.根据权利要
...【技术特征摘要】
1.一种冷却系统，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，其中该至少一空气阀门用于控制该第一液体在该管道中的一流动路径，并且该清洁装置将用于控制该至少一空气阀门的该空气递送到该冷却器，以冷却由该导管递送的该第一液体。
3.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，其中该冷却器包含围绕该导管设置的一螺旋软管，该螺旋软管用以递送该空气，该空气用于控制该至少一空气阀门，以冷却由该导管递送的该第一液体。
4.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，其中该冷却器包含：
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：萧加荣，黄韦翔，彭圣有，彭垂亚，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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