镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:43236102 阅读:14 留言:0更新日期:2024-11-05 17:22
本申请涉及镀膜装置领域,尤其是涉及一种镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备。镀膜治具使用次数检测装置包括基板;基板靠近镀膜治具设置,基板的一侧板面为观测面,观测面与镀膜治具对应的AR膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;观测面设置有高折射率打底层,且高折射率打底层的折射率大于2.0。本申请提供的镀膜治具使用次数检测装置,减薄了在基板上形成的AR膜的膜层厚度以降低AR膜的增透作用;同时,基板上设置的高折射率打底层起到增强反射率的作用;两者一起增加了基板上AR膜的反射率,使得看到的薄膜颜色更深,因而使得不同次镀膜后的基板上颜色差异相比镀膜治具上产品的颜色差异明显,易于区别膜层的堆叠层数。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及镀膜装置领域,尤其是涉及一种镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备


技术介绍

1、目前,在视窗防护产品的增透膜镀膜工艺中,要求使用多次的、承载被镀膜产品的治具进行保养、更换,以避免治具表面沉积的膜层太厚引起膜层脱落而污染产品。而实际生产中治具的使用次数难以判别和监控。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备,可指导操作者判断、监控镀膜治具的使用次数,避免镀膜治具上膜层材料沉积过多而脱落引起的产品不良。

2、本申请提供了一种镀膜治具使用次数检测装置,包括基板;所述基板靠近镀膜治具设置,所述基板的一侧板面为观测面,所述观测面与镀膜治具对应的ar膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;所述观测面设置有高折射率打底层,且所述高折射率打底层的折射率大于2.0。

3、在上述技术方案中,进一步地,所述ar膜的膜厚在200nm至700nm之间;

4、所述ar膜的膜系结构为nhl,h代表高折射率材料,l代表低折射率材料,n代表重复次数;h的折射率在1.8至2.5之间,l的折射率在1.38至1.8之间。

5、在上述技术方案中,进一步地,所述预设夹角在12°至40°之间。

6、在上述技术方案中,进一步地,所述高折射率打底层为sih、si3n4、sion、sialon、sialn、zro2、tio2、ta2o5和nb2o5中的一种。

7、在上述技术方案中,进一步地,所述高折射率打底层的厚度为20nm~200nm。

8、在上述技术方案中,进一步地,所述基板的另一侧为底面,所述底面设置有打底显色层。

9、在上述技术方案中,进一步地,所述打底显色层为深色油墨层。

10、在上述技术方案中,进一步地,还包括直角楔形块,所述基板贴设在所述楔形块的斜面上,所述直角楔形块的一直角面与所述镀膜治具的侧壁贴合。

11、在上述技术方案中,进一步地,还包括支撑板,所述基板贴设在支撑板上;所述支撑板的一端为铰接端。

12、本申请还提供了一种镀膜设备,包括上述方案所述的镀膜治具使用次数检测装置。

13、与现有技术相比,本申请的有益效果为:

14、本申请提供的镀膜治具检测装置,与镀膜治具一起安装在镀膜设备中,当ar膜膜层材料沉积到安装在镀膜治具上的产品时,本检测装置的基板通过倾斜设置,减薄了在基板上形成的ar膜的膜层厚度,降低了ar膜的增透作用;同时,基板上设置的高折射率打底层起到增强反射率的作用;两者一起增加了基板上膜层的反射率,使得看到的薄膜颜色更深,因而使得不同次镀膜后的基板上颜色差异明显,从而可根据基板上的颜色判断、监控镀膜治具的使用次数,避免镀膜治具上膜层材料沉积过多脱落引起的产品不良。

15、本申请还提供了镀膜设备,包括上述方案所述的镀膜治具使用次数检测装置。基于上述分析可知,镀膜设备同样具有上述有益效果,在此不再赘述。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,包括基板;所述基板靠近镀膜治具设置,所述基板的一侧板面为观测面,所述观测面与镀膜治具对应的AR膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;所述观测面设置有高折射率打底层,且所述高折射率打底层的折射率大于2.0。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述AR膜的膜厚在200nm至700nm之间;

3.根据权利要求2所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述预设夹角在12°至40°之间。

4.根据权利要求3所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述高折射率打底层为SiH、Si3N4、SiON、SiAlON、SiAlN、ZrO2、TiO2、Ta2O5和Nb2O5中的一种。

5.根据权利要求1所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述高折射率打底层的厚度为20nm~200nm。

6.根据权利要求1所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述基板的另一侧为底面,所述底面设置有打底显色层。

7.根据权利要求6所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述打底显色层为深色油墨层。

8.根据权利要求1至7任一项所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,还包括直角楔形块,所述基板贴设在所述楔形块的斜面上,所述直角楔形块的一直角面与所述镀膜治具的侧壁贴合。

9.根据权利要求1至7任一项所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,还包括支撑板,所述基板贴设在支撑板上;所述支撑板的一端为铰接端。

10.一种镀膜设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的镀膜治具使用次数检测装置。

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【技术特征摘要】

1.一种镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,包括基板;所述基板靠近镀膜治具设置,所述基板的一侧板面为观测面,所述观测面与镀膜治具对应的ar膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;所述观测面设置有高折射率打底层,且所述高折射率打底层的折射率大于2.0。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述ar膜的膜厚在200nm至700nm之间;

3.根据权利要求2所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述预设夹角在12°至40°之间。

4.根据权利要求3所述的镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,所述高折射率打底层为sih、si3n4、sion、sialon、sialn、zro2、tio2、ta2o5和nb2o5中的一种。

5.根据权利要求1所述的镀膜治具使用次数检测装...

【专利技术属性】
技术研发人员:何博杨鹏石玉佳谢国民
申请(专利权)人:蓝思科技长沙有限公司
类型:新型
国别省市:

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