【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种阀门，尤其涉及一种低粒子真空蝶阀。
技术介绍
1、真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件，广泛运用于各行各业。
2、薄膜镀层、质谱分析与气体分析等领域对真空阀有“仅能产生少量气体颗粒物”（低粒子）的要求，以及耐粉尘等工艺污染物（可靠性），同时也要求具有类似于闸阀的机械锁定功能（安全性）。
3、传统的气动蝶阀根据结构特点可分为同心蝶阀、单偏心蝶阀、双偏心蝶阀以及三偏心蝶阀。以运用最广的双偏心以及三偏心蝶阀为例，它们具有以下结构特点：
4、①产品由气动执行器、阀杆、阀体、阀芯组成，阀杆轴心既偏离阀芯中心，也偏离阀体中心。阀杆与阀体有轴承连接，保证阀杆的转动自由度。
5、②开、关阀过程，由气动执行器带动与阀杆固定连接的圆盘式阀芯往复回转90°左右实现开启、关闭阀门。
6、传统蝶阀的结构特点导致它无法满足以上工况的要求：
7、①低粒子：阀杆与阀体有轴承连接，运动时会发生金属-金属摩擦，产生金属粒子；
8、②可靠性：阀杆与阀体的轴承连接在多粉尘、多工艺颗粒物的环境可能发生卡死；
9、③安全性：传统的气动蝶阀并无机械锁定功能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种低粒子真空蝶阀，以实现开、关阀过程中，阀芯、连接杆均不会与阀体发生“金属-金属”接触。
2、本专利技术是采用以下技术方案实现的：一种低粒子真空蝶阀，包括
3、进一步的，所述气缸组件还包括活塞，所述活塞轴套固定在活塞内，所述活塞与缸筒内壁滑动配合，所述活塞与缸筒上设置有限位槽与限位块，使活塞只能相对缸筒在缸筒轴线方向移动。
4、进一步的，所述连接杆与转动销轴连接的一端还设置有滑动块，所述滑动块上设置有水平长孔，所述转动销轴穿过水平长孔与连接杆连接，所述滑动块设置在活塞轴套内，并与活塞轴套滑动配合。
5、进一步的，所述活塞轴套上设的滑动轨道共有两个，分别为正面轨道和背面轨道。
6、进一步的，所述转动销轴在正面轨道上方一段沿正面轨道逆时针行走，所述转动销轴在背面轨道沿背面轨道顺时针行走，使转动销轴在水平方向移动。
7、进一步的，所述转动销轴在正面轨道与背面轨道下方一段均沿轨道顺时针行走，使转动销轴绕活塞轴套的轴线转动。
8、进一步的，所述活塞轴套上设置的滑动轨道，其起止点均设置有一段与活塞轴套轴线平行的路径。
9、进一步的，所述转动销轴两端分别设置有滚轮，所述滚轮嵌入活塞轴套上设置的滑动轨道中。
10、进一步的，所述连接杆在关阀时与活塞轴套的轴线呈夹角设置，夹角取0°-1.5°。
11、本专利技术所述的一种低粒子真空蝶阀，其有益效果包括：
12、低粒子、可靠性：开、关阀过程中，阀芯、连接杆均不会与阀体发生“金属-金属”接触，与阀体发生接触的零件只有密封圈、支撑环，支撑环为耐磨材料（如ptfe或pom），可显著减少粒子的生成。同时，由于阀体内并无铰接等活动连接，避免了机构卡死，保证了在多粉尘等恶劣环境下运行的可靠性。
13、安全性：阀门开、关到位时，滚轮分别在轨迹的底部和顶部，活塞轴套零件的轨迹在底部和顶部均有小段与y轴平行的直线，当滚轮处于此位置时，阀芯承受的力传递到活塞轴套的轨迹是垂直于轨迹的正压力（在摩擦角范围以内），从而达到自锁效果。
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1.一种低粒子真空蝶阀，包括气缸组件（1）、阀芯组件（2）以及阀体，其特征在于，所述气缸组件（1）与阀芯组件（2）通过连接杆（1-7）相连，所述阀芯组件（2）位于阀体内，所述气缸组件（1）位于阀体外，所述气缸组件（1）包括缸筒（1-1）、活塞轴套（1-4）和摆动块（1-8），所述摆动块（1-8）设置在缸筒（1-1）并与缸筒（1-1）旋转连接，所述连接杆（1-7）与摆动块（1-8）销轴连接，所述连接杆（1-7）一端通过转动销轴（1-6）与活塞轴套（1-4）连接，另一端与阀芯组件（2）连接，所述活塞轴套（1-4）位于缸筒（1-1）内，所述活塞轴套（1-4）上设置有滑动轨道，所述转动销轴（1-6）嵌入活塞轴套（1-4）上的滑动轨道中，气缸推动活塞轴套（1-4）在缸筒（1-1）内运动时，所述转动销轴（1-6）沿滑动轨道限定的运动轨迹运动，所述滑动轨道分为两段，其中上方一段滑动轨道驱动连接杆（1-7）绕与摆动块（1-8）的连接点旋转，下方一段驱动连接杆（1-7）绕活塞轴套（1-4）的轴线旋转。
2.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述气缸组件（1）还包括活塞
3.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述连接杆（1-7）与转动销轴（1-6）连接的一端还设置有滑动块，所述滑动块上设置有水平长孔，所述转动销轴（1-6）穿过水平长孔与连接杆（1-7）连接，所述滑动块设置在活塞轴套（1-4）内，并与活塞轴套（1-4）滑动配合。
4.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述活塞轴套（1-4）上设的滑动轨道共有两个，分别为正面轨道（1-4-1）和背面轨道（1-4-2）。
5.根据权利要求4所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述转动销轴（1-6）在正面轨道（1-4-1）上方一段沿正面轨道（1-4-1）逆时针行走，所述转动销轴（1-6）在背面轨道（1-4-2）沿背面轨道（1-4-2）顺时针行走，使转动销轴（1-6）在水平方向移动。
6.根据权利要求4所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述转动销轴（1-6）在正面轨道（1-4-1）与背面轨道（1-4-2）下方一段均沿轨道顺时针行走，使转动销轴（1-6）绕活塞轴套（1-4）的轴线转动。
7.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述活塞轴套（1-4）上设置的滑动轨道，其起止点均设置有一段与活塞轴套（1-4）轴线平行的路径。
8.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述转动销轴（1-6）两端分别设置有滚轮（1-5），所述滚轮（1-5）嵌入活塞轴套（1-4）上设置的滑动轨道中。
9.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述连接杆（1-7）在关阀时与活塞轴套（1-4）的轴线呈夹角设置，夹角取0°-1.5°。
...【技术特征摘要】
1.一种低粒子真空蝶阀，包括气缸组件（1）、阀芯组件（2）以及阀体，其特征在于，所述气缸组件（1）与阀芯组件（2）通过连接杆（1-7）相连，所述阀芯组件（2）位于阀体内，所述气缸组件（1）位于阀体外，所述气缸组件（1）包括缸筒（1-1）、活塞轴套（1-4）和摆动块（1-8），所述摆动块（1-8）设置在缸筒（1-1）并与缸筒（1-1）旋转连接，所述连接杆（1-7）与摆动块（1-8）销轴连接，所述连接杆（1-7）一端通过转动销轴（1-6）与活塞轴套（1-4）连接，另一端与阀芯组件（2）连接，所述活塞轴套（1-4）位于缸筒（1-1）内，所述活塞轴套（1-4）上设置有滑动轨道，所述转动销轴（1-6）嵌入活塞轴套（1-4）上的滑动轨道中，气缸推动活塞轴套（1-4）在缸筒（1-1）内运动时，所述转动销轴（1-6）沿滑动轨道限定的运动轨迹运动，所述滑动轨道分为两段，其中上方一段滑动轨道驱动连接杆（1-7）绕与摆动块（1-8）的连接点旋转，下方一段驱动连接杆（1-7）绕活塞轴套（1-4）的轴线旋转。
2.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述气缸组件（1）还包括活塞（1-3），所述活塞轴套（1-4）固定在活塞（1-3）内，所述活塞（1-3）与缸筒（1-1）内壁滑动配合，所述活塞（1-3）与缸筒（1-1）上设置有限位槽与限位块，使活塞（1-3）只能相对缸筒（1-1）在缸筒（1-1）轴线方向移动。
3.根据权利要求1所述的一种低粒子真空蝶阀，其特征在于，所述连接杆（1-7）与转动销轴（1-6）连接的一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭宇潇，魏琼林，冉从军，钟绍鹏，王建国，
申请(专利权)人：成都中科唯实仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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