【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及离子注入机，具体涉及一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置。
技术介绍
1、在离子注入机中，通常需要使用高压电源实现对离子注入过程的调节和控制，但由于高压电源产生后，由于电气间隙不足或环境改变时，可能产生高压放电情况，因此离子注入机需要考验高压电源放电情况下的稳定性，避免发生异常。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种结构简单、操作简便的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提出的技术方案为：
3、一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，包括间隙放电组件、间隙控制驱动机构、放电控制器和待测高压电源；所述间隙放电组件包括高压电位引出电极和地电位引出电极，所述高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间平行布置，所述高压电位引出电极与待测高压电源相连；所述放电控制器与所述间隙控制驱动机构相连，用于控制所述间隙控制驱动机构来调整高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间的放电间隙距离；所述放电控制器与待测高压电源相连，用于控制所述待测高压电源输出目标电压并检测高压电源的状态信息。
4、作为上述技术方案的进一步改进：
5、还包括上位机，所述上位机与所述放电控制器相连。
6、所述上位机配置有hmi监控屏。
7、所述上位机配置有网口或rs232/rs485通讯接口。
8、所述间隙控制驱动机构为直线步
9、所述直线步进电机与所述高压电位引出电极或所述地电位引出电极之间设有绝缘连接块。
10、所述绝缘连接块为高压放电棒。
11、所述高压电位引出电极和所述地电位引出电极均为高压放电棒。
12、所述放电控制器包括cpu，对外设置有通讯端口、电机驱动接口、模拟输入输出接口或数字输入输出接口中的一种或多种。
13、所述通讯端口为rs232/rs485通讯端口。
14、与现有技术相比，本专利技术的优点在于：
15、本专利技术的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，通过调节高压电位引出电极与地电位引出电极之间的间隙距离，同时配合高压电源的电压调节功能，实现高压放电次数可控、放电电压可控，从而实现对高压电源的放电实验和检测；上述整体结构简单且操作简便。
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1.一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，包括间隙放电组件(1)、间隙控制驱动机构(2)、放电控制器(3)和待测高压电源(5)；所述间隙放电组件(1)包括高压电位引出电极(101)和地电位引出电极(102)，所述高压电位引出电极(101)与所述地电位引出电极(102)之间平行布置，所述高压电位引出电极(101)与待测高压电源(5)相连；所述放电控制器(3)与所述间隙控制驱动机构(2)相连，用于控制所述间隙控制驱动机构(2)来调整高压电位引出电极(101)与所述地电位引出电极(102)之间的放电间隙距离；所述放电控制器(3)与待测高压电源(5)相连，用于控制所述待测高压电源(5)输出目标电压并检测高压电源(5)的状态信息。
2.根据权利要求1所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，还包括上位机(4)，所述上位机(4)与所述放电控制器(3)相连。
3.根据权利要求2所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述上位机(4)配置有HMI监控屏。
4.根据权利要求2所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述间隙控制驱动机构(2)为直线步进电机，与所述高压电位引出电极(101)或所述地电位引出电极(102)相连。
6.根据权利要求5所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述直线步进电机与所述高压电位引出电极(101)或所述地电位引出电极(102)之间设有绝缘连接块(103)。
7.根据权利要求6所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述绝缘连接块(103)为高压放电棒。
8.根据权利要求1-4中任意一项所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述高压电位引出电极(101)和所述地电位引出电极(102)均为高压放电棒。
9.根据权利要求1-4中任意一项所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述放电控制器(3)包括CPU，对外设置有通讯端口、电机驱动接口、模拟输入输出接口或数字输入输出接口中的一种或多种。
10.根据权利要求9所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述通讯端口为RS232/RS485通讯端口。
...【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，包括间隙放电组件(1)、间隙控制驱动机构(2)、放电控制器(3)和待测高压电源(5)；所述间隙放电组件(1)包括高压电位引出电极(101)和地电位引出电极(102)，所述高压电位引出电极(101)与所述地电位引出电极(102)之间平行布置，所述高压电位引出电极(101)与待测高压电源(5)相连；所述放电控制器(3)与所述间隙控制驱动机构(2)相连，用于控制所述间隙控制驱动机构(2)来调整高压电位引出电极(101)与所述地电位引出电极(102)之间的放电间隙距离；所述放电控制器(3)与待测高压电源(5)相连，用于控制所述待测高压电源(5)输出目标电压并检测高压电源(5)的状态信息。
2.根据权利要求1所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，还包括上位机(4)，所述上位机(4)与所述放电控制器(3)相连。
3.根据权利要求2所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述上位机(4)配置有hmi监控屏。
4.根据权利要求2所述的离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，其特征在于，所述上位机(4)配置有网口或rs232/rs485通讯接口。...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹进峰，陈辉，林萍，李进，程全森，李晓其，高国珺，于兆昕，
申请(专利权)人：北京烁科中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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