【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电镜扫描，尤其涉及一种钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装。
技术介绍
1、钨灯丝扫描电镜是一种通过电子束成像技术来观察样品表面形貌成分、颗粒尺寸及微观结构的分析仪器。在材料分析领域，钨灯丝扫描电镜常用于材料的金相分析、缺陷分析及观测断裂面的微观结构形貌；在纳米材料领域常用于观察纳米颗粒的尺寸和形貌特征；在生物领域也可以用于观测微生物及细胞的微观组织。钨灯丝扫描电镜的主要原理是通过由电子枪发射的电子束扫描样品表面，通过控制电压控制电子束的强度和位置，当电子束照射到样品表面时，会产生二次电子，这些二次电子会溅射并被收集到探测器中，从而转化为电信号，电信号经过处理后被转化为图像，从而达到可视化的目的。
2、其中电子束的发射部分是钨灯丝扫描电镜的核心部分，而钨灯丝的安装与更换更是影响扫描电镜观测效果的重要因素。目前灯丝熔断更换时，主要以肉眼进行观察，看灯丝是否在灯座的中心，如果不在，必须反复调整至中心。肉眼观测有时不能完全达到准确的效果，而安装灯丝的好坏直接影响灯丝的寿命及观测分析效果，费时费力且难以操作。现有的钨灯丝安装工装无法将钨灯丝的中心与灯座的中心进行精确对中。
3、现有的安装工装包括多个安装台，每一个安装台均有对应的抵进杆及安装螺丝，组合件较多，公差配合不好，灯丝极容易偏移甚至碰坏，中轴线难以保证每次一致。另外，现有的安装工装需要调整的地方较多，对组合时的要求比较高，灯丝穿过扁孔，如果操作不当就会损坏灯丝，总之，现有的安装工装的结构复杂，更换钨灯丝时的操作复杂，存在损坏灯丝的风险。
<...【技术保护点】
1.一种钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，由下至上依次包括同轴设置的底座组件、安装组件和限位组件；
2.根据权利要求1所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述底座组件包括底座板；
3.根据权利要求2所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述底座组件还包括圆台底座；所述圆台底座设于所述底座板上方；
4.根据权利要求3所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述中心套底部嵌于所述中心套定位孔内，所述中心套底面与所述底座定位台顶面接触。
5.根据权利要求4所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述外壳设于所述圆台底座顶面上；
6.根据权利要求5所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述外壳上设有一对关于中心对称的第一角度线，所述中心套上设有一对关于中心对称的第二角度线；
7.根据权利要求1所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述灯脚定位芯上设有灯丝柱插孔；
8.根据权利要求1所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安
9.根据权利要求1所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述外壳上设有多个开口朝上的凹槽。
10.一种钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装方法，其特征在于，采用权利要求1至9任一项所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装；所述安装方法包括将利用所述灯丝快速安装工装安装好的钨灯丝安装到钨灯丝扫描电镜上，且保证钨灯丝露出灯罩1mm。
...【技术特征摘要】
1.一种钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，由下至上依次包括同轴设置的底座组件、安装组件和限位组件；
2.根据权利要求1所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述底座组件包括底座板；
3.根据权利要求2所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述底座组件还包括圆台底座；所述圆台底座设于所述底座板上方；
4.根据权利要求3所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述中心套底部嵌于所述中心套定位孔内，所述中心套底面与所述底座定位台顶面接触。
5.根据权利要求4所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述外壳设于所述圆台底座顶面上；
6.根据权利要求5所述的钨灯丝扫描电镜的灯丝快速安装工装，其特征在于，所述外壳上设有一对关于...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘喜山，单彦荣，李柏泓，赵文侠，
申请(专利权)人：中国航发北京航空材料研究院，
类型：发明
国别省市：
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