【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及取样设备，更具体地说，它涉及一种取样瓶自动进样设备。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，制造半导体晶圆需要进行切割、磨削、抛光、清洗等工艺，其中晶圆表面金属含量时表征晶圆是否合格的重要数据。
2、现有技术中对晶圆表面金属含量进行检测时，通常采用vpd(气相分解)和icp-ms(电感耦合等离子体质谱仪)两种设备进行，但是一般情况下icp-ms和vpd设备是绑定的，含金属离子的溶液从vpd直接进入icp-ms进行检测，这种绑定导致icp-ms分析设备利用效率低下。若需要对另外的溶液进行检测，便需要将溶液进行人工打包密封，在将其运输到icp-ms内进行检测，现有技术中人工打包的效率低下，且其打包过程中会受到外界环境影响，对检测结果造成影响。
3、因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种取样瓶自动进样设备。
2、本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种取样瓶自动进样设备，包括工作台，所述工作台的表面转动连接有用于放置样品瓶的样品旋转平台，还包括用于驱动其转动的驱动件，所述工作台的一侧设置有用于进样的自动进样组件，所述工作台上还设置有用于对自动进样组件进行清洗的清洗组件。
3、通过采用上述技术方案，当vpd设备对晶圆取样完成后，将液体样品通入到自动进样组件内，并将取样瓶放置于样品旋转平台上，通过自动进样组件将液体样品注入到样品瓶中，从而完
4、本专利技术进一步设置为：所述样品瓶上有瓶盖。
5、本专利技术进一步设置为：所述自动进样组件包括竖直设置于工作台内的滑台气缸，所述滑台气缸的滑台上固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有竖直设置并伸出工作台的连接杆，所述连接杆的顶端固定连接有水平设置的旋转摆臂，所述旋转摆臂的端部设置有竖直向下的样品出样管。
6、本专利技术进一步设置为：所述旋转摆臂的端部设置有竖直向下的真空吸附管，所述连接杆内设置有抽气管，所述旋转摆臂内部开设有连通于抽气管与真空吸附管的通槽，所述真空吸附管的底端连接有吸附管。
7、本专利技术进一步设置为：所述样品旋转平台包括呈圆形的底板与顶板，所述底板与顶板之间留有空间并通过螺栓固定连接，所述顶板表面开设有若干用于放置样品瓶的放置槽。
8、本专利技术进一步设置为：所述工作台表面位于底板的下方设置有收集板，所述收集板表面沿其周侧设置有挡水沿。
9、本专利技术进一步设置为：所述收集板的表面还设置有保护罩，所述保护罩位于样品出样管与真空吸附管的运动路径上开设有活动槽。
10、本专利技术进一步设置为：所述清洗组件包括设置于工作台一侧的diw水洗循环模块与酸洗模块，所述diw水洗循环模块与酸洗模块均位于样品出样管的运动路径上。
11、本专利技术进一步设置为：所述diw水洗循环模块包括顶部开口设置的水洗箱，所述水洗箱的底部连接有进液管与出液管，所述进液管与出液管上均设置有电磁阀。
12、本专利技术进一步设置为：所述水洗箱内还设置有液位传感器。
13、本专利技术具有以下有益效果：当vpd设备对晶圆取样完成后，将液体样品通入到自动进样组件内，并将取样瓶放置于样品旋转平台上，通过自动进样组件将液体样品注入到样品瓶中，从而完成自动取样工作，降低人工取样成本，装载瓶帽，降低污染风险。并将离线样品送入至icp-ms(电感耦合等离子体质谱仪)内进行检测，从而有效提升icp-ms检测范围与利用效率。在取样工作完成后，可通过清洗组件对取样组件进行清洗，以保证其清洁度，提升其使用寿命。
14、附图说明
15、图1为本实施例的立体结构示意图；
16、图2为本实施例的内部结构示意图；
17、图3为本实施例自动进样组件的部分结构示意图；
18、图4为本实施例样品旋转平台的结构示意图。
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1.一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的表面转动连接有用于放置样品瓶的样品旋转平台(2)，还包括用于驱动其转动的驱动件，所述工作台(1)的一侧设置有用于进样的自动进样组件，所述工作台(1)上还设置有用于对自动进样组件进行清洗的清洗组件。
2.根据权利要求1所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述自动进样组件包括竖直设置于工作台(1)内的滑台气缸(3)，所述滑台气缸(3)的滑台上固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出轴固定连接有竖直设置并伸出工作台(1)的连接杆(5)，所述连接杆(5)的顶端固定连接有水平设置的旋转摆臂(6)，所述旋转摆臂(6)的端部设置有竖直向下的样品出样管(7)。
3.根据权利要求2所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述旋转摆臂(6)的端部设置有竖直向下的真空吸附管(9)，所述连接杆(5)内设置有抽气管(10)，所述旋转摆臂(6)内部开设有连通于抽气管(10)与真空吸附管(9)的通槽，所述真空吸附管(9)的底端连接有吸附管。
4.根据权利要求1所述的一种取样瓶自动进样设备，
5.根据权利要求4所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述工作台(1)表面位于底板(12)的下方设置有收集板(16)，所述收集板(16)表面沿其周侧设置有挡水沿(17)。
6.根据权利要求5所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述收集板(16)的表面还设置有保护罩(18)，所述保护罩(18)位于样品出样管(7)与真空吸附管(9)的运动路径上开设有活动槽(19)。
7.根据权利要求3所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述清洗组件包括设置于工作台(1)一侧的DIW水洗循环模块与酸洗模块，所述DIW水洗循环模块与酸洗模块均位于样品出样管(7)的运动路径上。
8.根据权利要求7所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述DIW水洗循环模块包括顶部开口设置的水洗箱(20)，所述水洗箱(20)的底部连接有进液管(21)与出液管(22)，所述进液管(21)与出液管(22)上均设置有电磁阀(23)。
9.根据权利要求8所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述水洗箱(20)内还设置有液位传感器(24)。
...【技术特征摘要】
1.一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的表面转动连接有用于放置样品瓶的样品旋转平台(2)，还包括用于驱动其转动的驱动件，所述工作台(1)的一侧设置有用于进样的自动进样组件，所述工作台(1)上还设置有用于对自动进样组件进行清洗的清洗组件。
2.根据权利要求1所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述自动进样组件包括竖直设置于工作台(1)内的滑台气缸(3)，所述滑台气缸(3)的滑台上固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出轴固定连接有竖直设置并伸出工作台(1)的连接杆(5)，所述连接杆(5)的顶端固定连接有水平设置的旋转摆臂(6)，所述旋转摆臂(6)的端部设置有竖直向下的样品出样管(7)。
3.根据权利要求2所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述旋转摆臂(6)的端部设置有竖直向下的真空吸附管(9)，所述连接杆(5)内设置有抽气管(10)，所述旋转摆臂(6)内部开设有连通于抽气管(10)与真空吸附管(9)的通槽，所述真空吸附管(9)的底端连接有吸附管。
4.根据权利要求1所述的一种取样瓶自动进样设备，其特征在于：所述样品旋转平台(2)包括呈圆形的底板(12)与顶板(13)，所述底板(12)与顶板(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆城燕，鉏晨涛，朱琪，
申请(专利权)人：浙江埃纳检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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