【技术实现步骤摘要】
本技术涉及锗单晶片加工,具体为一种多规格锗单晶柱掏棒机。
技术介绍
1、锗单晶是不含大角晶界或孪晶的锗晶体,呈金刚石型晶体结构,是重要的半导体材料,而锗单晶一般需要加工成片状结构使用,在锗单晶片的加工过程中需要将锗单晶柱通过掏棒机制成整体直径均匀的柱体,再经过切割、铣磨、抛光等精密加工过程制成锗单晶片,但是现在用于锗单晶片加工的掏棒机在使用中仍存在一些缺陷,在加工时不能方便的对锗单晶柱进行定位,导致加工过程中锗单晶柱的稳定性不足,容易出现破损、崩边等问题,严重影响成品合格率。
2、现在提出一种新型的多规格锗单晶柱掏棒机来解决上述的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种多规格锗单晶柱掏棒机,以解决上述
技术介绍
中提出无法方便对锗单晶柱定位的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多规格锗单晶柱掏棒机,包括安装箱,所述安装箱的顶端固定连接有支撑架,所述支撑架的顶端固定连接有活动箱,所述支撑架一端的底部固定连接有阻水罩,所述阻水罩与安装箱固定连接,所述安装箱的顶端固定连接有金属网板;
3、所述安装箱内部的顶端活动连接有双向丝杆,所述安装箱一侧的顶端固定连接有第二伺服电机,所述第二伺服电机的输出端贯穿安装箱的一侧与双向丝杆固定连接,所述双向丝杆外部的两侧分别活动连接有一组螺纹套筒,所述螺纹套筒的顶端固定连接有连接板,所述金属网板顶端的两侧分别固定连接有一组活动槽,所述连接板贯穿活动槽固定连接有定位夹板,所述定位夹板的内部固定连接
4、优选的,所述连接板与活动槽滑动连接,所述双向丝杆外部的两组螺纹套筒呈对称排布。
5、优选的,所述活动箱的内部活动连接有螺纹杆,所述活动箱的一侧固定连接有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端贯穿活动箱的一侧与螺纹杆固定连接,所述螺纹杆的外部活动连接有螺纹套板,所述螺纹套板的一端固定连接有升降槽,所述升降槽的内部活动连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有空心切割轴,所述升降槽内部的两侧固定连接有限位板,所述限位板与驱动电机活动连接,所述升降槽的顶端固定连接有液压缸。
6、优选的,所述升降槽与活动箱活动连接,所述液压缸的输出端贯穿升降槽的顶端并延伸至升降槽的内部与驱动电机固定连接。
7、优选的,所述安装箱的一端固定连接有固定板,所述固定板的顶端固定连接有水泵,所述水泵的输入端固定连接有抽水管,所述水泵的输出端固定连接有三通管,所述三通管贯穿支撑架的一端固定连接有喷水口。
8、优选的,所述抽水管贯穿安装箱一端的底部与安装箱的内部相连通,所述三通管一端固定连接的两组喷水口呈对称排布。
9、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该多规格锗单晶柱掏棒机不仅实现了可以方便对锗单晶柱定位,实现了可以调节切割位置,而且实现了可以在切割时快速的冷却物料;
10、(1)通过设置有定位夹板、第二伺服电机、双向丝杆、螺纹套筒、活动槽、连接板和防滑垫,在进行加工之前,将锗单晶柱放置在金属网板的顶端,之后启动第二伺服电机带动双向丝杆转动,双向丝杆转动的同时带动两侧的螺纹套筒向中间运动,螺纹套筒再通过连接板带动定位夹板运动,两组定位夹板向中间运动对锗单晶柱定位,定位夹板内部的防滑垫可以有效提高定位后的稳定性,实现了可以方便对锗单晶柱定位,以提高加工时的稳定性;
11、(2)通过设置有活动箱、驱动电机、升降槽、液压缸、限位板、螺纹杆、第一伺服电机、空心切割轴和螺纹套板,在进行加工时,先启动第一伺服电机带动螺纹杆旋转,螺纹杆再通过螺纹套板带动升降槽移动,升降槽再调节空心切割轴的位置,将空心切割轴移动至加工位置后,启动驱动电机带动空心切割轴旋转,之后启动液压缸推动空心切割轴下降,从而通过空心切割轴对底端的锗单晶柱进行切割,实现了可以根据加工需求对空心切割轴的位置进行调节;
12、(3)通过设置有喷水口、抽水管、金属网板、固定板、水泵和三通管,在进行切割的同时启动水泵通过抽水管将安装箱内部的冷却水导出,再将冷却水通过三通管导出,最后通过喷水口喷出对安装箱顶端的锗单晶柱进行冷却,并且冷却水落下后会通过金属网板返回安装箱的内部,从而实现循环使用冷却水,实现了可以在切割时对锗单晶柱的切割处进行冷却。
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1.一种多规格锗单晶柱掏棒机,包括安装箱(1),其特征在于:所述安装箱(1)的顶端固定连接有支撑架(3),所述支撑架(3)的顶端固定连接有活动箱(4),所述支撑架(3)一端的底部固定连接有阻水罩(2),所述阻水罩(2)与安装箱(1)固定连接,所述安装箱(1)的顶端固定连接有金属网板(21);
2.根据权利要求1所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述连接板(18)与活动槽(17)滑动连接,所述双向丝杆(15)外部的两组螺纹套筒(16)呈对称排布。
3.根据权利要求1所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述活动箱(4)的内部活动连接有螺纹杆(9),所述活动箱(4)的一侧固定连接有第一伺服电机(10),所述第一伺服电机(10)的输出端贯穿活动箱(4)的一侧与螺纹杆(9)固定连接,所述螺纹杆(9)的外部活动连接有螺纹套板(22),所述螺纹套板(22)的一端固定连接有升降槽(6),所述升降槽(6)的内部活动连接有驱动电机(5),所述驱动电机(5)的输出端固定连接有空心切割轴(12),所述升降槽(6)内部的两侧固定连接有限位板(8),所述限位板(8)
4.根据权利要求3所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述升降槽(6)与活动箱(4)活动连接,所述液压缸(7)的输出端贯穿升降槽(6)的顶端并延伸至升降槽(6)的内部与驱动电机(5)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述安装箱(1)的一端固定连接有固定板(23),所述固定板(23)的顶端固定连接有水泵(24),所述水泵(24)的输入端固定连接有抽水管(19),所述水泵(24)的输出端固定连接有三通管(25),所述三通管(25)贯穿支撑架(3)的一端固定连接有喷水口(11)。
6.根据权利要求5所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述抽水管(19)贯穿安装箱(1)一端的底部与安装箱(1)的内部相连通,所述三通管(25)一端固定连接的两组喷水口(11)呈对称排布。
...【技术特征摘要】
1.一种多规格锗单晶柱掏棒机,包括安装箱(1),其特征在于:所述安装箱(1)的顶端固定连接有支撑架(3),所述支撑架(3)的顶端固定连接有活动箱(4),所述支撑架(3)一端的底部固定连接有阻水罩(2),所述阻水罩(2)与安装箱(1)固定连接,所述安装箱(1)的顶端固定连接有金属网板(21);
2.根据权利要求1所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述连接板(18)与活动槽(17)滑动连接,所述双向丝杆(15)外部的两组螺纹套筒(16)呈对称排布。
3.根据权利要求1所述的一种多规格锗单晶柱掏棒机,其特征在于:所述活动箱(4)的内部活动连接有螺纹杆(9),所述活动箱(4)的一侧固定连接有第一伺服电机(10),所述第一伺服电机(10)的输出端贯穿活动箱(4)的一侧与螺纹杆(9)固定连接,所述螺纹杆(9)的外部活动连接有螺纹套板(22),所述螺纹套板(22)的一端固定连接有升降槽(6),所述升降槽(6)的内部活动连接有驱动电机(5),所述驱动电机(5)的输出端固定连接有空心切...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜炜,伏彪,岳喜龙,袁承乾,张磊,沈思雨,刘欣,许志鹏,李栋,王亲猛,
申请(专利权)人:江苏宁达环保股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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