【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于石英管，尤其涉及一种石英扩散管及其制造方法。
技术介绍
1、石英扩散管是一种用于气体扩散、混合和输送的装置，通常用于实验室、工业生产和科学研究等领域，它利用石英管作为扩散管道，通过控制温度和气体流动来实现气体分离、纯化或混合，如申请号为cn201520166418.x的专利所公开的一种新型扩散石英管，为“u”形管，包括对称的上管路、下管路，以及位于上管路和下管路中间的进气口；所述上管路和下管路各包括一段弯弧管及一段直管，在每段直管上开设若干扩散孔，向置于上管路、下管路之间的硅片扩散pocl气体，进行均匀渗透；在下管路靠近其直管与弯弧管过渡位置处开设有出气管；
2、这种现有的石英扩散管无法有效控制喷口的流量大小，无法满足使用者的不同需求，同时现有的石英扩散管在制造过程中，管壁厚度均匀性较差，并且容易在扩管过程中出现损坏和瑕疵，降低了石英扩散管的成品质量，由此有必要做出改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种石英扩散管及其制造方法，以满足使用者的不同需求并提高石英扩散管的成品质量。
2、有鉴于此，本专利技术提供一种石英扩散管，包括：
3、石英管体，所述石英管体中设置有混合腔；
4、还包括：
5、扩散腔，所述扩散腔设置在石英管体的出口侧，所述扩散腔与混合腔连通；
6、流量控制阀，所述流量控制阀设置在石英管体中用于控制流体流量；
7、连接部，所述连接部设置在
8、其中，所述扩散腔呈锥状，所述流量控制阀设置在混合腔与扩散腔之间。
9、在本技术方案中，通过流量控制阀的安装，能够有效控制石英管体扩散腔和石英管体出口的流量打下，满足使用者的不同需求，提高了石英扩散管的实用性，同时通过连接部的设置能够进一步方便石英管体的安装，提高了工作效率和石英扩散管的适应性。
10、在上述技术方案中，进一步的还公开了一种石英扩散管的制造方法，包括以下步骤：
11、s1石英砂填充，将石英砂原料填充至模具中；
12、s2均布，将模具安装在离心装置上，利用离心力将石英砂均布在模具中保证石英砂熔化后管体能够有效成型；
13、s3石英砂熔制，启动热源将模具中的石英砂原料熔制，石英砂原料熔化后在模具中形成管体；
14、s4扩管，将成型的管体移动至扩管装置，启动扩管装置对管体的直径进行扩张，最终得到石英管体。
15、在本技术方案中，石英管体的成型效果好，并且成型后的石英管体壁厚均匀，有效提高了石英扩散管的成品质量。
16、在上述技术方案中，进一步的，所述扩管装置还包括：
17、主机体，所述主机体的前侧设置有活动箱盖，所述主机体内设置有扩管腔；
18、升降底座，所述升降底座设置在扩管腔的底部；
19、承载台，所述承载台设置在升降底座的顶部，所述承载台的上表面设置有压力传感器，所述承载台上设置有若干沿承载台周向均匀间隔分布的活动支撑杆；
20、扩管块，所述扩管块设置在承载台的上方，所述扩管块的底部与活动支撑杆的顶端连接，所述扩管块呈圆台状；
21、加热部，所述加热部包括设置在扩管块顶部的第一加热部和设置在扩管块外侧的第二加热部；
22、挡板，所述挡板设置在扩管块的上方，所述挡板的上表面设置有若干驱动轮；
23、隔热罩，所述隔热罩设置在扩管块的外侧；
24、其中，所述隔热罩可将加热部、挡板和扩管块笼罩，所述挡板通过连接杆与隔热罩的顶部连接，所述第二加热部与隔热罩的内壁连接。
25、在上述技术方案中，进一步的，所述扩管装置还包括：
26、导流风罩，所述导流风罩具有四个，四个导流风罩分别设置在扩管腔的顶部和底部的左右两侧，所述导料风罩中设置有导流风机；
27、排热口，所述排热口设置在扩管腔顶部右侧的导流风罩上；
28、余热回收部，所述余热回收部设置在主机体的一侧；
29、若干散热口，若干散热口设置在隔热罩侧壁的顶部并沿隔热罩周向均匀间隔分布；
30、其中，四个导流风罩能够在扩管腔内形成顺时针流动的气流，所述余热回收部通过排热管与排热口连通。
31、在上述技术方案中，进一步的，所述余热回收部还包括：
32、热交换塔，所述热交换塔的顶部设置有出气口和排水口，所述热交换塔的底部与排热管连通；
33、介质存储箱，所述介质存储箱上设置有出水口和进水口，所述介质存储箱的顶部设置有介质添加口、泄压阀和蒸汽排放阀，所述介质存储箱的前侧设置有热水排放阀；
34、其中，所述介质存储箱的进水口通过连接水管与热交换塔的排水口连接。
35、在上述技术方案中，进一步的，所述热交换塔还包括：
36、外换热盘管，所述外换热盘管设置在热交换塔的底部，所述外换热盘管的进口与介质存储箱的出水口连通；
37、内换热盘管，所述内换热盘管设置在热交换塔的底部并位于外换热盘管的内侧，所述内换热盘管的进口与外换热盘管的出口连通；
38、分隔筒，所述分隔筒设置在热交换塔中并位于外换热盘管与内换热盘管之间；
39、第一换热盘，所述第一换热盘设置在热交换塔的顶部，所述第一换热盘中设置有第一换热腔，
40、第二换热盘，所述第二换热盘设置在第一换热盘的上方，所述第二换热盘中设置有第二换热腔；
41、其中，所述第一换热盘和第二换热盘上均设置有若干气流管，所述气流管在竖直方向上穿过第一换热盘和第二换热盘，所述第一换热腔与内换热盘管的出口连通，所述第二换热腔与排水口连通。
42、在上述技术方案中，进一步的，还包括：
43、导热支撑杆，所述导热支撑杆设置在内换热盘管上，所述导热支撑杆具有若干根，所述导热支撑杆的一端与分隔筒内壁连接。
44、在上述技术方案中，进一步的，所述排热管还包括：
45、保温外壳，所述保温外壳由两个半壳组成，所述保温外壳套设置在排热管的外侧；
46、其中，两个半壳通过外固定套组合为保温外壳。
47、在上述技术方案中，进一步的，所述半壳还包括：
48、若干保温层，所述保温层为保温棉层，若干保温层在轴向和周向上彼此错开；
49、其中，若干保温层彼此之间通过耐高温低导热连接件连接。
50、本专利技术的有益效果是：
51、1.通过流量控制阀的安装，能够有效控制石英管体扩散腔和石英管体出口的流量打下，满足使用者的不同需求，提高了石英扩散管的实用性；
52、2.通过扩管装置的设置能够有效优化石英扩散管的制造工艺，降低石英扩散管在扩管步骤中出现管壁厚度均匀性差以及损坏和瑕疵的现象，提高了石英扩散管的成品质量；
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【技术保护点】
1.一种石英扩散管，包括：
2.一种适用于权利要求1所述石英扩散管的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述扩管装置还包括：
4.根据权利要求3所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述扩管装置还包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述余热回收部(21)还包括：
6.根据权利要求5所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述热交换塔(22)还包括：
7.根据权利要求6所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求4所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述排热管(23)还包括：
9.根据权利要求8所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述半壳(33)还包括：
【技术特征摘要】
1.一种石英扩散管，包括：
2.一种适用于权利要求1所述石英扩散管的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述扩管装置还包括：
4.根据权利要求3所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述扩管装置还包括：
5.根据权利要求4所述的一种石英扩散管的制造方法，其特征在于，所述余热回收部(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡石侣，陈佳彬，王晶，杨军，
申请(专利权)人：浙江富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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