【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体为一种带加热装置的连续真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。在薄膜表面镀上氧化铝能够生产出高阻隔透明膜。
2、现有的带加热装置的连续真空镀膜设备在对薄膜进行双面镀膜时为了防止滚轴将薄膜表面的镀层刮花，一般会先进行单面镀膜，镀膜完成后，再将薄膜拆下重新安装后进行另一面的镀膜操作，这种镀膜方式难以自由切换所需镀膜的面，大大降低了生产的效率。为此，我们提出一种带加热装置的连续真空镀膜设备。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种便于自由切换滚轴上薄膜所需镀膜面的带加热装置的连续真空镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种带加热装置的连续真空镀膜设备，包括机体、切换机构和镀膜机构，所述机体内部固定连接有加热箱，所述机体内转动连接有第一滚轴、第二滚轴和第三滚轴，所述机体内设有第四滚轴、第五滚轴和第六滚轴，所述切换机构包括与所述第六滚轴转动连接的转动架，所述机体上设有用于控制所述转动架转动状态的控制件，所述机体上设有用于在所述控制件运行时同步调节所述第四滚轴和所述第五滚轴位置
3、优选的，所述控制件包括固定安装于所述机体上的驱动电机，所述驱动电机的输出端同轴固定连接有第一齿轮，所述转动架上转动连接有装置盘，所述装置盘的一侧同轴固定连接有与所述第一齿轮相啮合的第二齿轮，所述转动架上固定连接有固定柱，所述固定柱的外壁与所述装置盘的内壁转动连接，所述装置盘上设有用于控制所述固定柱转动状态的连接件，便于控制所述转动架转动状态。
4、优选的，所述切换机构还包括与所述转动架转动连接的第三齿轮，所述第三齿轮通过皮带轮传动连接有与所述第二齿轮上的皮带轮传动连接的第一传动带，所述机体上转动连接有能够与所述第三齿轮相啮合的第四齿轮，所述第四齿轮通过皮带轮传动连接有与所述第一滚轴上的皮带轮传动连接的第二传动带，所述机体上设有用于在所述第六滚轴移动到另一侧时通过所述第三齿轮带动所述第六滚轴转动的驱动件，便于改变薄膜的输送方向以及与所述第四滚轴和所述第五滚轴之间的贴合面。
5、优选的，所述驱动件包括与所述机体转动连接的第五齿轮，所述第五齿轮同轴固定连接有第六齿轮，所述第五齿轮能够与所述第三齿轮相啮合，所述第六滚轴的一端同轴固定连接有能够与所述第六齿轮相啮合的第七齿轮，便于在所述第六滚轴移动到另一侧时通过所述第三齿轮带动所述第六滚轴转动。
6、优选的，所述连接件包括多组安装于所述装置盘内的插块，所述插块与所述装置盘滑动连接，所述固定柱的外壁均匀开设有多组能够与所述插块相插接的插接槽，所述第二齿轮和所述装置盘上开设有多组连通管，所述连通管内滑动连接有推动杆，所述推动杆的一端与所述插块固定连接，所述机体上设有用于控制所述连通管内气压状态的输气件，便于控制所述固定柱转动状态。
7、优选的，所述输气件包括固定安装于所述机体上的输气管，所述输气管的一端连通连接有环形管，所述环形管的一侧与所述第二齿轮转动连接，多组所述连通管的一端均与所述环形管相连通，所述机体上固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的伸缩端固定连接有与所述输气管内壁滑动连接的滑动板，便于控制所述连通管内气压状态。
8、优选的，所述调节件包括固定安装于所述机体上的第二电动伸缩杆，所述套接箱上固定连接有与所述固定箱固定连接的复位弹簧，所述第四滚轴的两端均转动连接有连接杆，所述第五滚轴的两端分别与两侧所述连接杆转动连接，所述第二电动伸缩杆的输出的与所述连接杆固定连接，便于在所述控制件运行时同步调节所述第四滚轴和所述第五滚轴位置状态，所述第五滚轴能够与所述套接箱的开口内壁相贴合，所述套接箱的两侧均开设有与所述连接杆滑动连接的限位槽，便于控制套接箱开口的镀膜状态。
9、优选的，所述镀膜机构还包括固定安装于所述加热箱内的封堵板，所述封堵板能够将所述升降箱的开口进行封堵，所述加热箱的侧面连通连接有连接管，所述连接管的一端与所述固定箱相连通，便于控制所述套接箱和所述升降箱的开合状态，从而控制切换对不同的面进行镀膜。
10、优选的，所述机体内部固定连接有用于对所述转动架进行限位固定的限位板，便于对所述转动架进行限位固定。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
12、1.本专利技术提供的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，解决了现有的连续真空镀膜设备使用时难以在不影响镀层完整性的同时自由切换镀膜面的问题，将薄膜绕卷在第六滚轴上，中部沿着附图2中所示的路径依次与第二滚轴、第三滚轴、第四滚轴和第五滚轴外壁进行贴合导向，最终将薄膜的顶端与第一滚轴的表面进行固定，此后将升降箱上移到贴近第三滚轴的位置，通过机体对内部进行抽真空，同时对加热箱内部的镀膜原料进行加热蒸发，靶材上升到升降箱上端开口的位置处即可对薄膜下侧进行镀膜操作，启动驱动电机即可带动第一滚轴进行转动，将薄膜的一端不断拉动，逐渐从第六滚轴上绕卷到第一滚轴上，此过程中，通过升降箱上侧的薄膜都将完成单侧的镀膜。
13、2.本专利技术提供的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，当需要对另一面进行镀膜时，先将升降箱下移到最底端，封堵板将升降箱的开口挡住，启动第一电动伸缩杆，推动滑动板在输气管内滑动，将输气管内的气体通过环形管输送到多组连通管内，连通管内气压增加推动推动杆和插块滑动，插块逐渐贴合插接槽，此时驱动电机反向转动，带动第二齿轮和装置盘反转，装置盘在反转的过程中，当插块与插接槽相插接后即可完成限位，带动转动架一起转动，直到转动架转动到另一侧位置时，如图11所示，此过程中，第三齿轮依旧被第一传动带带动进行转动，第三齿轮在与第五齿轮贴合的过程中不断自转完成啮合，之后第六齿轮转动的过程中与第七齿轮啮合，即可带动第六滚轴进行转动，同时限位板上设有能够对转动架位置进行限位的装置，完成固定后第一电动伸缩杆收回，连通管内气体抽出，插块解除与插接槽的插接限位，连接架不再转动。
14、3.本专利技术提供的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，第二电动伸缩杆启动推出，将连接杆推入到限位槽内，第五滚轴不再将套接箱的开口进本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述控制件（11）包括固定安装于所述机体（1）上的驱动电机（16），所述驱动电机（16）的输出端同轴固定连接有第一齿轮（17），所述转动架（10）上转动连接有装置盘（18），所述装置盘（18）的一侧同轴固定连接有与所述第一齿轮（17）相啮合的第二齿轮（19），所述转动架（10）上固定连接有固定柱（20），所述固定柱（20）的外壁与所述装置盘（18）的内壁转动连接，所述装置盘（18）上设有用于控制所述固定柱（20）转动状态的连接件（21）。
3.根据权利要求2所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述切换机构（9）还包括与所述转动架（10）转动连接的第三齿轮（22），所述第三齿轮（22）通过皮带轮传动连接有与所述第二齿轮（19）上的皮带轮传动连接的第一传动带（23），所述机体（1）上转动连接有能够与所述第三齿轮（22）相啮合的第四齿轮（24），所述第四齿轮（24）通过皮带轮传动连接有与所述第一滚轴（3）上的皮带轮传动连
4.根据权利要求3所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述驱动件（26）包括与所述机体（1）转动连接的第五齿轮（27），所述第五齿轮（27）同轴固定连接有第六齿轮（28），所述第五齿轮（27）能够与所述第三齿轮（22）相啮合，所述第六滚轴（8）的一端同轴固定连接有能够与所述第六齿轮（28）相啮合的第七齿轮（29）。
5.根据权利要求2所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述连接件（21）包括多组安装于所述装置盘（18）内的插块（30），所述插块（30）与所述装置盘（18）滑动连接，所述固定柱（20）的外壁均匀开设有多组能够与所述插块（30）相插接的插接槽（31），所述第二齿轮（19）和所述装置盘（18）上开设有多组连通管（32），所述连通管（32）内滑动连接有推动杆（33），所述推动杆（33）的一端与所述插块（30）固定连接，所述机体（1）上设有用于控制所述连通管（32）内气压状态的输气件（34）。
6.根据权利要求5所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述输气件（34）包括固定安装于所述机体（1）上的输气管（35），所述输气管（35）的一端连通连接有环形管（36），所述环形管（36）的一侧与所述第二齿轮（19）转动连接，多组所述连通管（32）的一端均与所述环形管（36）相连通，所述机体（1）上固定连接有第一电动伸缩杆（37），所述第一电动伸缩杆（37）的伸缩端固定连接有与所述输气管（35）内壁滑动连接的滑动板（38）。
7.根据权利要求1所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述调节件（12）包括固定安装于所述机体（1）上的第二电动伸缩杆（39），所述套接箱（14）上固定连接有与所述固定箱（13）固定连接的复位弹簧（40），所述第四滚轴（6）的两端均转动连接有连接杆（41），所述第五滚轴（7）的两端分别与两侧所述连接杆（41）转动连接，所述第二电动伸缩杆（39）的输出的与所述连接杆（41）固定连接，所述第五滚轴（7）能够与所述套接箱（14）的开口内壁相贴合，所述套接箱（14）的两侧均开设有与所述连接杆（41）滑动连接的限位槽（42）。
8.根据权利要求1所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜机构（46）还包括固定安装于所述加热箱（2）内的封堵板（43），所述封堵板（43）能够将所述升降箱（15）的开口进行封堵，所述加热箱（2）的侧面连通连接有连接管（44），所述连接管（44）的一端与所述固定箱（13）相连通。
9.根据权利要求1所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述机体（1）内部固定连接有用于对所述转动架（10）进行限位固定的限位板（45）。
...【技术特征摘要】
1.一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述控制件（11）包括固定安装于所述机体（1）上的驱动电机（16），所述驱动电机（16）的输出端同轴固定连接有第一齿轮（17），所述转动架（10）上转动连接有装置盘（18），所述装置盘（18）的一侧同轴固定连接有与所述第一齿轮（17）相啮合的第二齿轮（19），所述转动架（10）上固定连接有固定柱（20），所述固定柱（20）的外壁与所述装置盘（18）的内壁转动连接，所述装置盘（18）上设有用于控制所述固定柱（20）转动状态的连接件（21）。
3.根据权利要求2所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述切换机构（9）还包括与所述转动架（10）转动连接的第三齿轮（22），所述第三齿轮（22）通过皮带轮传动连接有与所述第二齿轮（19）上的皮带轮传动连接的第一传动带（23），所述机体（1）上转动连接有能够与所述第三齿轮（22）相啮合的第四齿轮（24），所述第四齿轮（24）通过皮带轮传动连接有与所述第一滚轴（3）上的皮带轮传动连接的第二传动带（25），所述机体（1）上设有用于在所述第六滚轴（8）移动到另一侧时通过所述第三齿轮（22）带动所述第六滚轴（8）转动的驱动件（26）。
4.根据权利要求3所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述驱动件（26）包括与所述机体（1）转动连接的第五齿轮（27），所述第五齿轮（27）同轴固定连接有第六齿轮（28），所述第五齿轮（27）能够与所述第三齿轮（22）相啮合，所述第六滚轴（8）的一端同轴固定连接有能够与所述第六齿轮（28）相啮合的第七齿轮（29）。
5.根据权利要求2所述的一种带加热装置的连续真空镀膜设备，其特征在于：所述连接件（21）包括多组安装于所述装置盘（18）内的插块（30），所述插块（30）与所述装置盘（18）滑动连接，所述固定柱（20）的外壁均匀开设有多组能够与所述插块（30）相插...
【专利技术属性】
技术研发人员：马尚忠，
申请(专利权)人：江苏欧展科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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