【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机台固定装置，尤其涉及一种机台压力侦测计的固定装置。
技术介绍
1、pvd(physical vapor deposition：物理气相沉积)是指在真空条件下，采用中电压、大电流的电弧放电技术，电离惰性气体(如he)产生he离子，he轰击靶材使靶材粒子在磁场的控制下旋转并均匀地沉积在基板上，薄膜在基板上形成的过程包括吸附过程、表面扩散过程和表面凝结过程。当原子溅射到基板上时，一部分会反弹回去，一部分气相会吸附在基板上，当吸附在基板上形成能量交换，失去法线上的动能，水平方向的动能使粒子继续扩散，扩散遇到阻力就凝结成核，最终在基板上形成薄膜。
2、现有技术中，在pvd机台中设置有压力侦测计用于侦测管路压力及真空度，通常压力侦测计的安装位置距离反应腔比较近，在pm保养时容易被误触，且由于真空计无进一步的固定装置，导致真空计容易松动从而出现量测异常导致的机台宕机情况。
3、因此，现有技术中存在对机台压力侦测计的固定装置改进的需求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例的目的在于提出一种机台压力侦测计的固定装置，通过固定装置将压力侦测计的管路部分卡接在固定装置的槽内，再通过连接件进一步锁合，以实现对压力侦测计的固定。
2、基于上述目的，本技术实施例的提供了机台压力侦测计的固定装置，包括：
3、相对间隔设置的第一固定板和第二固定板以及多个连接件，多个连接件可拆卸地连接于第一固定板和第二固定板之间，第一固定板和第二固定板上均设置有沿固
4、在一些实施方式中，第一固定板和第二固定板为圆形平板。
5、在一些实施方式中，圆形平板的直径为50～60mm，厚度为2～5mm。
6、在一些实施方式中，多个连接件为三个，三个连接件沿第一固定板和第二固定板的外缘等间距设置。
7、在一些实施方式中，连接件为螺丝紧固件，第一固定板和第二固定板上设置有多个螺丝安装孔位，连接件通过螺丝安装孔位可拆卸地连接于第一固定板和第二固定板之间。
8、在一些实施方式中，连接件通过磁吸的方式与第一固定板和第二固定板连接。
9、在一些实施方式中，卡槽的开口处设置有卡扣。
10、在一些实施方式中，卡槽内设置有橡胶垫圈。
11、在一些实施方式中，压力侦测计为真空计。
12、在一些实施方式中，真空计为电阻真空计、热电偶真空计、电容真空计、电离子真空计、冷阴极电离真空计或全量程真空计。
13、本技术至少具有以下有益技术效果：
14、(1)压力侦测计体积大，两端管路较窄，通过固定装置将管路部分卡接在固定装置的槽内，再通过连接件进一步锁合，可以确保压力侦测计始终处于正确的位置，不受震动或位移的影响，从而提高测量的精度；
15、(2)本装置的固定方式还可以保护压力侦测计免受不当应力的影响，从而延长其使用寿命；
16、(3)本装置方便拆装，使得设备的安装与维护变得更加简单高效，降低操作成本。
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1.一种机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述第一固定板和所述第二固定板为圆形平板。
3.根据权利要求2所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述圆形平板的直径为50～60mm，厚度为2～5mm。
4.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述多个连接件为三个，所述三个连接件沿所述第一固定板和所述第二固定板的外缘等间距设置。
5.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述连接件为螺丝紧固件，所述第一固定板和所述第二固定板上设置有多个螺丝安装孔位，所述连接件通过所述螺丝安装孔位可拆卸地连接于所述第一固定板和所述第二固定板之间。
6.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述连接件通过磁吸的方式与所述第一固定板和所述第二固定板连接。
7.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述卡槽的开口处设置有卡扣。
8.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的
9.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述压力侦测计为真空计。
10.根据权利要求9所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述真空计为电阻真空计、热电偶真空计、电容真空计、电离子真空计、冷阴极电离真空计或全量程真空计。
...【技术特征摘要】
1.一种机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述第一固定板和所述第二固定板为圆形平板。
3.根据权利要求2所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述圆形平板的直径为50～60mm，厚度为2～5mm。
4.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述多个连接件为三个，所述三个连接件沿所述第一固定板和所述第二固定板的外缘等间距设置。
5.根据权利要求1所述的机台压力侦测计的固定装置，其特征在于，所述连接件为螺丝紧固件，所述第一固定板和所述第二固定板上设置有多个螺丝安装孔位，所述连接件通过所述螺丝安装孔位可拆卸地连...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪金金，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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