【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及提拉法炉领域，尤其涉及celyso多晶粉体制作生长设备及方法。
技术介绍
1、celyso多晶粉体也就是掺铈硅酸钇镥闪烁晶体，其制作过程包括配比原料、混合原料、制作固定前驱体粉末以及最终的晶体生长工作，而晶体生长工作通过采用提拉法炉进行完成，具体为将前驱体粉末投入到提拉法炉坩埚内进行熔融，随后操作籽晶进入到熔融叶面进行提拉形成晶棒，随后进行晶棒下料；
2、现有技术中的提拉法炉在进行提拉晶棒时，晶棒被提拉设备提拉至生长室顶部的副室内，而在下料时，控制设备使得副室上升并转动至一侧，随后提拉设备缓慢放置晶棒，而现有的提拉法炉的提拉设备通过钢索作为承载主体进行籽晶和晶棒的提拉工作，故而在下放晶棒时，晶棒极容易发生晃动，而晃动较为剧烈时则会发生掉棒的情况，导致整个晶棒不能够使用，现有技术通过极大地降低下放速度从而避免晃动的发生，如此则导致晶棒下料工作效率大大降低。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术问题的不足，本专利技术的目的是提供一种能够在下料晶棒时对晶棒进行防护避免晶棒晃动的celyso多晶粉体制作生长设备及方法。
2、为了解决现有技术问题，本专利技术的技术方案如下：
3、celyso多晶粉体制作生长设备，包括生长室以及位于生长室上方的与生长室内腔相连通的副室，所述副室下端的外壁上等角度间距转动安装有若干个侧挡板组件，所述侧挡板组件具有处于水平的扩张姿态以及呈竖直的将晶棒围住的防护姿态，所述副室的外壁上安装有用于驱动侧挡板组件翻转进行防护
4、优选的，所述副室包括通过轴承转动连接在副室下端外壁上的连接圈，所述副室下端的外壁上安装有用于驱动连接圈转动的第二转动组件，所述侧挡板组件转动安装在连接圈上。
5、优选的，所述侧挡板组件包括通过轴承转动连接在连接圈外壁上的第一转轴，所述第一转轴的中部固定有翻转条，所述翻转条远离第一转轴的一端固定有支撑板，所述支撑板上安装有内抵板，所述内抵板远离翻转条的一端固定有清洁刷。
6、优选的，所述同步翻转组件包括对称套设在第一转轴两端的扭力弹簧，所述扭力弹簧的一端与连接圈的外壁固定，所述扭力弹簧的另一端与第一转轴的外壁固定，所述翻转条远离支撑板的一端通过轴销转动连接有滚轮，所述副室下端的外壁上滑动安装有驱动圈，所述驱动圈顶面的外圈部分呈倒圆角状设置，所述滚轮抵触在驱动圈的顶面上，所述副室下端的外壁上对称固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸出端与驱动圈的外壁固定。
7、优选的，所述第二转动组件包括固定在连接圈顶部的内齿圈，所述副室下端的外壁上固定有第一电机，所述第一电机的输出端固定有第一齿轮，所述第一齿轮与内齿圈啮合连接。
8、优选的，所述驱动圈的内壁对称固定有滑块，所述副室的外壁上对称开设有第一滑槽，所述滑块滑动插接在第一滑槽内。
9、优选的，所述内抵板靠近支撑板的一侧对称固定有滑柱，所述滑柱通过第二滑槽与支撑板滑动连接，所述内抵板与支撑板之间对称固定有第二弹簧，所述滑柱远离内抵板的一端固定有限位块，所述限位块抵紧在支撑板的外壁上，所述支撑板靠近内抵板的一侧固定有距离传感器。
10、优选的，所述侧挡板组件还包括安装在支撑板上的用于分离晶棒和籽晶的分离组件。
11、优选的，所述分离组件包括通过轴承对称转动连接在支撑板靠近翻转条一端的第二转轴，所述第二转轴靠近翻转条的一端固定有切刀，所述第二转轴远离切刀的一端固定有第二齿轮，两个所述第二齿轮相互啮合，所述支撑板靠近第二转轴的一端固定有第二电机，其中一个所述第二转轴靠近第二电机的一端与第二电机的输出端固定。
12、本专利技术还提供一种celyso多晶粉体制作生长方法，采用celyso多晶粉体制作生长设备，其特征在于，包括如下步骤：
13、a1、对原料进行准备和预处理；
14、a2、经过预处理后的原材料制备前驱体；
15、a3、采用提拉法，采用celyso多晶粉体制作生长设备进行晶体的生长工作。
16、与现有技术相比较，本专利技术的优点如下：
17、1、通过设置侧挡板组件和同步翻转组件，使得多个侧挡板组件在晶棒下料过程中能够翻转成防护姿态将晶棒围住，从而能够在保证晶棒具有较快的下放速度下也不会发生晃动，从而大大降低掉棒的情况发生，同时提升了晶棒下料速度；
18、2、设置的侧挡板组件由于在内抵板上安装有清洁刷，并配合设置的第二转动组件，在进行晶棒晃动防护工作的同时，使得多个侧挡板环绕晶棒转动，能够同时对晶棒的外周进行预清洁工作，利用下料晶棒的过程，实现对晶棒外周从上至下的清洁工作，在下料过程中完成对晶棒的清洁，提升了整个晶棒处理过程的效率；
19、3、配合设置的分离组件在晶棒完全下料后，能够自动将晶棒和籽晶连接处剪断，无需人工进行剪断，极大地节省了人力，且自动化可控的剪断过程相较于人工而言稳定性更高；
20、4、在进行防晃动工作时，若下料的晶棒存在弯曲歪斜的情况，晶棒则能够在重力作用下顶开内抵板，使得内抵板滑动，而距离传感器监测到与内抵板的距离变化，变化达到阈值则控制器能够进行报警，并驱动设备进行停机，以作为提醒，提示该晶棒存在外形不规则的问题，如此实现了自动检查晶棒外形的效果，无需人工检测，同时利用下料晶棒的过程完成检测，进一步地提升了整个晶棒处理过程的效率。
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1.CeLYSO多晶粉体制作生长设备，包括生长室（2）以及位于生长室（2）上方的与生长室（2）内腔相连通的副室（6），其特征在于，所述副室（6）下端的外壁上等角度间距转动安装有若干个侧挡板组件（8），所述侧挡板组件（8）具有处于水平的扩张姿态以及呈竖直的将晶棒围住的防护姿态，所述副室（6）的外壁上安装有用于驱动侧挡板组件（8）翻转进行防护姿态以及扩张姿态切换工作的同步翻转组件（9）。
2.根据权利要求1所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述副室（6）包括通过轴承转动连接在副室（6）下端外壁上的连接圈（61），所述副室（6）下端的外壁上安装有用于驱动连接圈（61）转动的第二转动组件（62），所述侧挡板组件（8）转动安装在连接圈（61）上。
3.根据权利要求2所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述侧挡板组件（8）包括通过轴承转动连接在连接圈（61）外壁上的第一转轴（81），所述第一转轴（81）的中部固定有翻转条（82），所述翻转条（82）远离第一转轴（81）的一端固定有支撑板（83），所述支撑板（83）上安装有内抵板（84）
4.根据权利要求3所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述同步翻转组件（9）包括对称套设在第一转轴（81）两端的扭力弹簧（91），所述扭力弹簧（91）的一端与连接圈（61）的外壁固定，所述扭力弹簧（91）的另一端与第一转轴（81）的外壁固定，所述翻转条（82）远离支撑板（83）的一端通过轴销转动连接有滚轮（92），所述副室（6）下端的外壁上滑动安装有驱动圈（93），所述驱动圈（93）顶面的外圈部分呈倒圆角状设置，所述滚轮（92）抵触在驱动圈（93）的顶面上，所述副室（6）下端的外壁上对称固定有第二电动推杆（94），所述第二电动推杆（94）的伸出端与驱动圈（93）的外壁固定。
5.根据权利要求2所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述第二转动组件（62）包括固定在连接圈（61）顶部的内齿圈（621），所述副室（6）下端的外壁上固定有第一电机（622），所述第一电机（622）的输出端固定有第一齿轮（623），所述第一齿轮（623）与内齿圈（621）啮合连接。
6.根据权利要求4所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述驱动圈（93）的内壁对称固定有滑块（10），所述副室（6）的外壁上对称开设有第一滑槽（11），所述滑块（10）滑动插接在第一滑槽（11）内。
7.根据权利要求3所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述内抵板（84）靠近支撑板（83）的一侧对称固定有滑柱（13），所述滑柱（13）通过第二滑槽与支撑板（83）滑动连接，所述内抵板（84）与支撑板（83）之间对称固定有第二弹簧（14），所述滑柱（13）远离内抵板（84）的一端固定有限位块（15），所述限位块（15）抵紧在支撑板（83）的外壁上，所述支撑板（83）靠近内抵板（84）的一侧固定有距离传感器（16）。
8.根据权利要求3所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述侧挡板组件（8）还包括安装在支撑板（83）上的用于分离晶棒和籽晶的分离组件（12）。
9.根据权利要求8所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述分离组件（12）包括通过轴承对称转动连接在支撑板（83）靠近翻转条（82）一端的第二转轴（121），所述第二转轴（121）靠近翻转条（82）的一端固定有切刀（122），所述第二转轴（121）远离切刀（122）的一端固定有第二齿轮（123），两个所述第二齿轮（123）相互啮合，所述支撑板（83）靠近第二转轴（121）的一端固定有第二电机（124），其中一个所述第二转轴（121）靠近第二电机（124）的一端与第二电机（124）的输出端固定。
10.一种CeLYSO多晶粉体制作生长方法，采用权利要求1至9任意一项所述的CeLYSO多晶粉体制作生长设备，其特征在于，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.celyso多晶粉体制作生长设备，包括生长室（2）以及位于生长室（2）上方的与生长室（2）内腔相连通的副室（6），其特征在于，所述副室（6）下端的外壁上等角度间距转动安装有若干个侧挡板组件（8），所述侧挡板组件（8）具有处于水平的扩张姿态以及呈竖直的将晶棒围住的防护姿态，所述副室（6）的外壁上安装有用于驱动侧挡板组件（8）翻转进行防护姿态以及扩张姿态切换工作的同步翻转组件（9）。
2.根据权利要求1所述的celyso多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述副室（6）包括通过轴承转动连接在副室（6）下端外壁上的连接圈（61），所述副室（6）下端的外壁上安装有用于驱动连接圈（61）转动的第二转动组件（62），所述侧挡板组件（8）转动安装在连接圈（61）上。
3.根据权利要求2所述的celyso多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述侧挡板组件（8）包括通过轴承转动连接在连接圈（61）外壁上的第一转轴（81），所述第一转轴（81）的中部固定有翻转条（82），所述翻转条（82）远离第一转轴（81）的一端固定有支撑板（83），所述支撑板（83）上安装有内抵板（84），所述内抵板（84）远离翻转条（82）的一端固定有清洁刷（85）。
4.根据权利要求3所述的celyso多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所述同步翻转组件（9）包括对称套设在第一转轴（81）两端的扭力弹簧（91），所述扭力弹簧（91）的一端与连接圈（61）的外壁固定，所述扭力弹簧（91）的另一端与第一转轴（81）的外壁固定，所述翻转条（82）远离支撑板（83）的一端通过轴销转动连接有滚轮（92），所述副室（6）下端的外壁上滑动安装有驱动圈（93），所述驱动圈（93）顶面的外圈部分呈倒圆角状设置，所述滚轮（92）抵触在驱动圈（93）的顶面上，所述副室（6）下端的外壁上对称固定有第二电动推杆（94），所述第二电动推杆（94）的伸出端与驱动圈（93）的外壁固定。
5.根据权利要求2所述的celyso多晶粉体制作生长设备，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗毅，龚瑞，赵建华，
申请(专利权)人：安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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