一种晶圆量测夹具制造技术

本技术涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆量测夹具，包括夹座、若干夹手、传动电机、传动组件、若干驱动组件和若干滑动组件，若干夹手与夹座拆卸连接，传动电机与夹座拆卸连接，传动组件的一端与传动电机拆卸连接，传动组件的另一端与夹座拆卸连接，每个驱动组件的一端与传动组件拆卸连接，若干驱动组件的另一端与夹座拆卸连接，每个滑动组件的一端与对应的驱动组件拆卸连接，每个滑动组件的另一端与夹座拆卸连接，每个夹手与对应的驱动组件拆卸连接，通过上述结构设置，解决了不能对晶圆进行很好的夹持，影响效率的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种晶圆量测夹具。

技术介绍

1、目前量测机台上夹持晶圆的夹具只能夹持一种尺寸的晶圆，如果夹持另一种尺寸的晶圆则需要更换夹具，无法自动切换，所以每次作业不同尺寸晶圆都需要手动更换对应夹具，很容易造成夹具更换错误导致破片，且影响检测效率

2、为解决上述问题，现有技术专利(cn219457569u)公开了一种晶圆量测夹具，包括下压环、上压环、至少三个晶圆承载头、至少三个晶圆夹持部及气缸，其中，所有晶圆承载头沿周向固定在下压环上，所有晶圆夹持部沿周向固定在上压环上，所有晶圆承载头与所有晶圆夹持部一一对应配合，每个晶圆夹持部均包括相邻的第一夹持部及第二夹持部，第一、二夹持部的头部压在晶圆表面边缘，第一夹持部的头部沿晶圆径向的长度小于第二夹持部的头部沿晶圆径向的长度，第二夹持部的头部朝向晶圆一面与晶圆具有夹角ф，ф＞0°，气缸控制上压环上下移动。

3、但是上述现有技术中，不能对晶圆进行很好的夹持，影响效率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶圆量测夹具，解决了现有技术中不能对晶圆进行很好的夹持，影响效率的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术采用的一种晶圆量测夹具，包括夹座、若干夹手、传动电机、传动组件、若干驱动组件和若干滑动组件，若干所述夹手与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，所述传动电机与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的一端，且贯穿所述夹座，所述传动组件的一端与所述传动电机拆卸连接，并位于所述传动电机的一端，所述传动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的内部的侧壁，每个所述驱动组件的一端与所述传动组件拆卸连接，并位于所述传动组件的一端，若干所述驱动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，每个所述滑动组件的一端与对应的所述驱动组件拆卸连接，并位于对应的所述驱动组件的一端，每个所述滑动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的一端，且贯穿所述夹座，每个所述夹手与对应的所述驱动组件拆卸连接，并位于对应的所述驱动组件的一端。

3、其中，所述传动组件包括传动杆、转动齿轮和传动齿轮，所述传动杆的一端与所述传动电机的输出端固定连接，并位于所述传动电机的一端，所述转动齿轮与所述传动杆拆卸连接，并位于所述传动杆的另一端，所述传动齿轮与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的内部的侧壁，所述传动齿轮与所述转动齿轮啮合。

4、其中，每个所述驱动组件包括驱动齿轮和齿条，所述驱动齿轮与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的一端，所述齿条与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的上端，且贯穿所述夹座，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合，所述驱动齿轮和所述齿条啮合。

5、其中，每个所述滑动组件包括滑块和滑槽，所述滑槽与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的上端，且贯穿所述夹座，所述滑块的一端与所述齿条拆卸连接，并位于所述齿条的一端，所述滑块的另一端与所述滑槽拆卸连接，并位于所述滑槽的内部。

6、其中，每个所述夹手包括安装架、第一夹持部和晶圆夹持部，第一夹持部与所述安装架拆卸连接，并位于所述安装架的上端，所述晶圆夹持部与所述安装架拆卸连接，并位于所述安装架的下端。

7、其中，所述晶圆量测夹具还包括密封盖、若干螺钉和若干螺母，所述密封盖与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的上端，若干所述螺钉的一端与所述密封盖拆卸连接，并均匀设置于所述密封盖的内部，且贯穿所述密封盖，若干所述螺钉的另一端与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，且贯穿所述夹座，每个所述螺母与对应的所述螺钉拆卸连接，并位于对应的所述螺钉的上端。

8、本技术的一种晶圆量测夹具，所述传动电机与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的一端，且贯穿所述夹座，所述传动组件的一端与所述传动电机拆卸连接，并位于所述传动电机的一端，所述传动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的内部的侧壁，每个所述驱动组件的一端与所述传动组件拆卸连接，并位于所述传动组件的一端，若干所述驱动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，每个所述滑动组件的一端与对应的所述驱动组件拆卸连接，并位于对应的所述驱动组件的一端，每个所述滑动组件的另一端与所述夹座拆卸连接，并位于所述夹座的一端，且贯穿所述夹座，每个所述夹手与对应的所述驱动组件拆卸连接，并位于对应的所述驱动组件的一端，所述传动电机带动所述传动组件传动，所述传动组件带动若干所述驱动组件转动，若干所述驱动组件带动若干所述滑动组件移动，所述滑动组件带动所述夹手移动，以此方法能够有效解决不能对晶圆进行很好的夹持，影响效率的问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆量测夹具，包括夹座和若干夹手，若干所述夹手与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，其特征在于，

2.如权利要求1所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

3.如权利要求2所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

4.如权利要求3所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

5.如权利要求4所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

6.如权利要求5所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种晶圆量测夹具，包括夹座和若干夹手，若干所述夹手与所述夹座拆卸连接，并均匀设置于所述夹座的上端，其特征在于，

2.如权利要求1所述的晶圆量测夹具，其特征在于，

3.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：哈捷，吴志锋，
申请(专利权)人：阿博索伯苏州自动化设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：