【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可使发出的光的波长变化的光源装置。
技术介绍
1、可使发出的光的波长变化的激光光源等的光源用于光通信领域及检查装置领域等。
2、例如，作为检查装置的一例，已知有可非侵入性取得与被检体的断层像相关的信息的光学干涩断层仪(optical coherence tomography：oct)。在作为该oct的一方式的扫频光源oct(swept source oct：ss-oct)中，使用使发出的光的波长随着时间在宽带变化的光源，对各个波长取得使样本光与参照光干涉的光的强度。因此，在ss-oct中使用可在宽带扫描输出光的波长的波长扫描光源(频率扫描光源)。
3、作为该波长扫描光源，例如有将发出光的增益介质与mems(micro electronicmechanical systems：微机电系统)的振动镜组合的外部谐振器型的波长扫描光源等(例如专利文献1等)。在该外部谐振器型的波长扫描光源中，一边使自增益介质发出的具有一定宽度的波长的光通过衍射光栅等根据波长而分光，并且利用mems的振动镜的往复运动选择性地使所期望的波长的光反射并返回增益介质，一边扫描从光源发出的光的波长。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本专利特开2017-148109号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、然而，在使用mems的振动镜的外部谐振器型的波长扫描光源中，例如，在扫描从光源发出的光的波长所需
3、另外，在使用mems的振动镜的外部谐振器型的波长扫描光源中，例如，通过mems的振动镜的振动，在特定波长域中从最大波长朝向最小波长的方向、或从最小波长朝向最大波长的方向上，只能依次变更从光源发出的光的波长。
4、因此，对于外部谐振器型的波长扫描光源，例如在迅速变更发出的光的波长的点上尚有改善的余地。
5、本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在在提供一种可迅速变更发出的光的波长的光源装置。
6、用于解决课题的手段
7、为了解决上述课题，第1方式的光源装置具备光放大器、分光元件、空间相位调制元件及控制部。上述光放大器放大并发射光。上述分光元件根据波长而使从上述光放大器发射的光分光。上述空间相位调制元件具有基底部和反射由上述分光元件分光后的光的多个光栅要素，使该多个光栅要素中的至少一部分光栅要素相对于上述基底部相对位移，从而对由上述分光元件分光后的光实施相位调制，针对由上述分光元件分光后的光的波长区域中的一部分波长，沿着来自上述分光元件的入射光路向上述分光元件出射衍射光。上述控制部控制上述多个光栅要素相对于上述基底部的位移。从上述空间相位调制元件出射的上述衍射光在上述分光元件中产生上述一部分波长的光，该一部分波长的光被上述光放大器放大后向上述分光元件发射。输出通过上述光放大器进行多次放大后的上述一部分波长的光。
8、第2方式的光源装置为第1方式的光源装置，其中，上述光放大器包含半导体光放大器、助推光学放大器、或半导体激光器。
9、第3方式的光源装置为第1或第2方式的光源装置，其中，上述分光元件包含衍射光栅。
10、第4方式的光源装置为第1至第3中任一方式的光源装置，其中，上述控制部通过上述空间相位调制元件使上述多个光栅要素相对于上述基底部位移的模式从第1模式变更为第2模式，从而从上述一部分波长包含第1波长的状态切换为上述一部分波长包含与上述第1波长不同的第2波长的状态。
11、第5方式的光源装置为第1至第3中任一方式的光源装置，其中，上述一部分波长包含相互分离且不相同的多个波长。
12、第6方式的光源装置为第5方式的光源装置，其中，上述控制部通过上述空间相位调制元件使上述多个光栅要素相对于上述基底部位移的模式从第1模式变更为第2模式，从而从上述多个波长包含第1a波长和第1b波长的状态切换为上述多个波长包含与第1a波长不同的第2a波长和与第1b波长不同的第2b波长的状态。
13、第7方式的光源装置为第1至第6中任一方式的光源装置，其中，所述光源装置具备：第1导光部、光路变更光学系统和第2导光部。上述第1导光部将从上述光放大器发射的光向上述光路变更光学系统引导，上述光路变更光学系统将从上述光放大器发射并经过了上述第1导光部的光向上述分光元件引导，并且将根据从上述空间相位调制元件出射的上述衍射光而由上述分光元件产生的上述一部分波长的光向上述第2导光部引导。上述第2导光部包含：第1光输出部，其将通过上述光路变更光学系统向上述第2导光部引导的光中的一部分光输出至上述第2导光部的外部；以及导光部分，其将通过上述光路变更光学系统向上述第2导光部引导的光中的除上述一部分光以外的剩余的光向上述光放大器引导。
14、第8方式的光源装置为第1至第6中任一方式的光源装置，其中，所述光源装置具备第3导光部与部分反射光学系统。上述第3导光部将从上述光放大器的第1端面发射的光向上述分光元件引导，并且将根据从上述空间相位调制元件出射的上述衍射光而由上述分光元件产生的上述一部分波长的光向上述光放大器的上述第1端面引导。上述部分反射光学系统使从上述光放大器的第2端面发射的光中的一部分光透过而输出，将从上述光放大器的第2端面发射的光中的除上述一部分光以外的剩余的光向上述第2端面反射。
15、第9方式的光源装置为第1至第8中任一方式的光源装置，其中，上述多个光栅要素包含多个带状部分。上述多个带状部分分别具有沿着第1方向延伸的细长带状的形状、可挠性、在与上述基底部相反侧具备光反射面的反射部。上述多个带状部分沿着与上述第1方向正交的第2方向排列。上述多个带状部分各自的上述反射部隔着空间与上述基底部相对。上述多个带状部分各自包含在上述第1方向的两端部分别与上述基底部连结的连结部。上述基底部包含与各上述反射部相对的电极。上述控制部调整向上述多个带状部分各自的上述反射部与上述电极之间赋予的电位差，从而通过上述多个带状部分各自的上述反射部与上述电极之间的静电力使上述多个带状部分挠曲，来控制上述多个带状部分各自的上述反射部相对于上述基底部的位移。
16、第10方式的光源装置为第1至第8中任一方式的光源装置，其中，上述空间相位调制元件包含排列为矩阵状的多个反射元件。上述多个反射元件分别包含：可动反射部，其隔着空间与上述基底部相对，并且在与上述基底部相反的一侧具有光反射面；以及具有可挠性的支持部，其分别支持该可动反射部的多个部位，并且与上述基底部连结。上述多个光栅要素包含上述多个反射元件各自的上述可动反射部。上述基底部包含与各上述可动反射部相对的电极。上述控制部在上述多个反射元件的每一个中，调整向上述可动反射部与上述电极之间赋予的电位差，从而通过上述可动反射部与上述电极之间的静电力使上述支持部挠曲，来控制上述可动反射本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光源装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至3中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
8.根据权利要求1至6中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
10.根据权利要求1至8中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光源装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至3中的任一项所述的光源装置，其特征在于，
6.根据权利...
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