【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种等离子水洗式单腔废气处理设备。
技术介绍
1、当前废气处理设备的主要处理方式为燃烧式，通过热氧化作用将废气中的可燃有害成分转化为无害物或易于进一步处理或回收的物质。燃烧的特性导致其存在一些弊端：难以处理所有类型的废气，仅适用于可燃性有机废气，对于无机废气等气体效果有限；对温度要求较高，燃烧法是高温下的氧化反应，需要一定的启动和预热时间；需要消耗大量能量，进行高温燃烧，能耗大、成本较高；处理过程中可能会产生其他有害气体，如二氧化碳等，不环保；需要定期维护和管理燃烧设备，防止出现故障和损坏，增加了人力成本。
2、这里的陈述仅提供与本技术有关的
技术介绍
，而并不必然地构成现有技术。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种等离子水洗式单腔废气处理设备，提高了处理效率，提升了废气处理效果，降低了维护成本。
2、为了达到上述目的，本技术提供一种等离子水洗式单腔废气处理设备，包含：
3、多根进气管，用于通入待处理废气；
4、歧管装置，其与多根进气管连通，用于将来自所述进气管的废气导入反应腔；所述进气管与所述歧管装置的主体之间呈固定角度，角度范围为35°～55°；
5、点火装置，其与所述歧管装置连通，用于产生等离子体火焰；
6、反应腔，其连接所述歧管装置，所述点火装置产生的等离子火焰与所述歧管装置通入的废气在所述反应腔内充分接触并发生反应；
7、冷却装置，其连接所述反应腔，用于使反应后的气体熄火并冷
8、水洗塔，用于对熄火后的气体进行再冷却和吸附；
9、水汽分离装置，其连接所述水洗塔，用于析出水分，排出干燥的气体；
10、排气管，其连接所述水汽分离装置，用于排出处理后的气体。
11、所述等离子水洗式单腔废气处理设备还包含：等离子体发生器，其连接所述点火装置，用于为所述点火装置提供等离子体。
12、所述等离子水洗式单腔废气处理设备还包含：连接部和水箱；
13、所述连接部具有一个输入端和两个输出端，所述输入端连接所述冷却装置，一个输出端连接水箱，另一个输出端连接水洗塔，所述连接部用于使反应后的气体进入水洗塔，而使冷却水进入水箱；
14、所述水箱连接所述连接部，用于容纳冷却水。
15、所述进气管上设置调节阀门，用于开启和调节进气流量。
16、所述点火装置包含：
17、循环冷却水管路，其设置在所述点火装置的内部，用于冷却所述点火装置；
18、点火气体入口，其连接所述等离子体发生器，用于将等离子体气体通入所述点火装置；
19、电极接头组件，其设置在所述点火装置的壳体上，用于点燃等离子体气体，所述电机接头组件包含阳极接头和阴极接头，所述阳极接头用于连接外部电源正极，所述阴极接头用于连接外部电源阴极；
20、吹扫气体入口，其设置在所述点火装置的底部，用于将吹扫气体通入所述点火装置。
21、所述歧管装置包含：
22、多个连接法兰，用于连接所述进气管，所述连接法兰上设置密封圈；
23、冷却水管路，其设置在所述歧管装置内部，用于冷却所述歧管装置。
24、所述反应腔包含：
25、喷淋装置，用于向所述反应腔中通入喷淋水，以去除废气中的粉尘和水溶性污染物；
26、进气装置，包含第一进气口和第二进气口，所述第一进气口用于向所述反应腔中通入cda气体，所述第二进气口用于向所述反应腔中通入n2气体；
27、温度检测装置，用于监测所述反应腔的温度。
28、所述反应腔5的长度设置为300mm～350mm。
29、所述连接部和所述水洗塔中安装有喷嘴，所述喷嘴向所述连接部和所述水洗塔中喷射水雾。
30、所述排气管包含：
31、吹扫气体入口，用于向所述排气管中通入吹扫气体；
32、温度检测装置，用于监测处理后的气体的实时温度；
33、压力检测装置，用于监测处理后的气体的实时压力。
34、所述水汽分离装置内设置有双螺旋装置和和设置所述双螺旋装置下方的筛网结构。
35、本技术令废气与等离子体火焰充分接触并发生反应，提高了处理效率，提升了废气处理效果，降低了维护成本。
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1.一种等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述等离子水洗式单腔废气处理设备还包含：连接部和水箱；
3.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述进气管上设置调节阀门，用于开启和调节进气流量。
4.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述点火装置包含：
5.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述歧管装置包含：
6.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述反应腔包含：
7.如权利要求6所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述反应腔的长度设置为300mm～350mm。
8.如权利要求2所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述连接部和所述水洗塔中安装有喷嘴，所述喷嘴向所述连接部和所述水洗塔中喷射水雾。
9.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述排气管包含：
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...【技术特征摘要】
1.一种等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述等离子水洗式单腔废气处理设备还包含：连接部和水箱；
3.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述进气管上设置调节阀门，用于开启和调节进气流量。
4.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述点火装置包含：
5.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气处理设备，其特征在于，所述歧管装置包含：
6.如权利要求1所述的等离子水洗式单腔废气...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟力，王锐，王涛，
申请(专利权)人：浙江亚笙半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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