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显示面板和用于制造该显示面板的方法技术

技术编号:43168317 阅读:5 留言:0更新日期:2024-11-01 19:59
本申请公开一种显示面板和用于制造该显示面板的方法。该显示面板包括:基底层,包括边界区和像素区;像素电路,包括包含第一半导体图案和第一栅极的第一晶体管并且与像素区重叠;以及多个绝缘层,其中,在多个绝缘层中限定的开口与边界区相对应。多个绝缘层中的第一绝缘层覆盖第一栅极,并且在第一绝缘层中限定的凹槽与开口间隔开。凹槽被形成为穿过第一绝缘层的一部分。

【技术实现步骤摘要】

在本文中描述的本公开的实施例涉及包括边界区的显示面板以及用于制造该显示面板的方法。


技术介绍

1、显示装置可以包括显示面板,并且显示面板可以包括发光元件以及用于控制施加到发光元件的电信号的晶体管。近来,随着一些技术的发展,已经开发了包括柔性显示面板的柔性显示装置。例如,已经开发了其形状可以被改变为弯曲的形状或者其可以被弯折或卷曲的各种柔性显示装置。能够进行各种形状改变的柔性显示装置可以提供提高的便携性并且提高用户便利性。然而,一些柔性显示面板可能由于外部冲击而变得脆弱或容易被损伤。相应地,需要用于保护晶体管免受外部冲击的技术。


技术实现思路

1、本公开的实施例提供耐受外部冲击且具有提高的可靠性的显示面板以及用于制造该显示面板的方法。

2、根据实施例,显示面板包括:基底层,包括边界区和像素区;像素电路,与像素区重叠并且包括包含第一半导体图案和第一栅极的第一晶体管;以及多个绝缘层,其中,在多个绝缘层中限定的开口与边界区相对应。多个绝缘层中的第一绝缘层覆盖第一栅极,并且在第一绝缘层中限定的凹槽与开口间隔开。凹槽被形成为穿过第一绝缘层的一部分。

3、凹槽可以被第一半导体图案重叠。

4、开口可以被形成为穿过多个绝缘层。

5、在显示面板的厚度方向上,开口的深度可以大于凹槽的深度。

6、显示面板可以进一步包括:金属层,设置在与第一栅极设置在其处的层相同的层处。

7、金属层的表面可以被凹槽暴露。

8、金属层可以包括铝(al)、钼(mo)、钛(ti)和氧化铟镓锌(igzo)中的至少一种。

9、像素电路可以进一步包括:第二晶体管,包括第二半导体图案和第二栅极。第二晶体管可以设置在与第一晶体管设置在其处的层不同的层处。

10、第一半导体图案可以包括氧化物半导体,并且第二半导体图案可以包括硅半导体。

11、根据实施例,显示面板包括:基底层,包括边界区和像素区;像素电路,与像素区重叠并且包括包含第一半导体图案和第一栅极的第一晶体管;以及多个绝缘层,其中,在多个绝缘层中限定的开口与边界区相对应。在垂直于显示面板的厚度方向的方向上,第一半导体图案与开口之间的距离是5μm以上且70μm以下。

12、开口可以被形成为穿过多个绝缘层。

13、第一半导体图案可以包括氧化物半导体。

14、显示面板可以进一步包括:阻挡层,设置在基底层上,并且阻挡层可以被开口暴露。

15、像素电路可以包括:第二晶体管,包括第二半导体图案和第二栅极。第二晶体管可以设置在与第一晶体管设置在其处的层不同的层处,并且第二半导体图案可以包括硅半导体。

16、根据实施例,用于制造显示面板的方法包括:准备包括边界区和像素区的基底层;形成与像素区重叠并且包括半导体图案和栅极的晶体管;以及形成覆盖栅极的绝缘层。在绝缘层的形成中,形成与边界区相对应的开口以及与开口间隔开的凹槽,并且凹槽被形成为穿过绝缘层的一部分。

17、用于制造显示面板的方法可以进一步包括:在形成晶体管之后并且在形成第一绝缘层之前,形成与半导体图案重叠的金属层。

18、金属层可以包括铝(al)、钼(mo)、钛(ti)和氧化铟镓锌(igzo)中的至少一种。

19、绝缘层的形成可以包括:蚀刻绝缘层。与形成凹槽相关联的第一蚀刻深度可以小于与形成开口相关联的第二蚀刻深度。

20、凹槽和开口的形成可以基于半色调掩模。

21、半导体图案可以包括氧化物半导体。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种显示面板,包括:

2.根据权利要求1所述的显示面板,其中,所述凹槽被所述第一半导体图案重叠。

3.根据权利要求1所述的显示面板,其中,所述开口被形成为穿过所述多个绝缘层。

4.根据权利要求1所述的显示面板,其中,在所述显示面板的厚度方向上,所述开口的深度大于所述凹槽的深度。

5.根据权利要求1所述的显示面板,进一步包括:

6.根据权利要求5所述的显示面板,其中,所述金属层包括铝、钼、钛和氧化铟镓锌中的至少一种。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的显示面板,其中,所述像素电路进一步包括:

8.一种显示面板,包括:

9.根据权利要求8所述的显示面板,其中,所述开口被形成为穿过所述多个绝缘层。

10.根据权利要求8所述的显示面板,进一步包括:

11.一种用于制造显示面板的方法,所述方法包括:

12.根据权利要求11所述的方法,进一步包括:

13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述金属层包括铝、钼、钛和氧化铟镓锌中的至少一种。>

14.根据权利要求11所述的方法,其中,所述绝缘层的所述形成包括:

15.根据权利要求11至14中任一项所述的方法,其中,所述凹槽和所述开口的所述形成基于半色调掩模。

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【技术特征摘要】

1.一种显示面板,包括:

2.根据权利要求1所述的显示面板,其中,所述凹槽被所述第一半导体图案重叠。

3.根据权利要求1所述的显示面板,其中,所述开口被形成为穿过所述多个绝缘层。

4.根据权利要求1所述的显示面板,其中,在所述显示面板的厚度方向上,所述开口的深度大于所述凹槽的深度。

5.根据权利要求1所述的显示面板,进一步包括:

6.根据权利要求5所述的显示面板,其中,所述金属层包括铝、钼、钛和氧化铟镓锌中的至少一种。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的显示面板,其中,所述像素电路进一步包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:周振豪李基准
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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