本申请公开电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，吸附单元包括树脂吸附塔。电子级氢氟酸的回收方法包括至少一所述吸附单元执行吸附操作，同时其余的所述吸附单元执行再生操作以恢复吸附能力。再生操作包括向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液。在执行吸附操作的所述树脂吸附塔达到饱和后，所述氢氟酸回收系统进入下一个循环，执行吸附操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行再生操作，而执行再生操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行吸附操作，以此循环以实现氢氟酸回收系统不间断地产出电子级的氢氟酸。
1、光伏太阳能是通过半导体材料的光伏效应将太阳光辐射能转化为电能的科学技术，该技术的核心在于太阳能电池板。目前太阳能电池板在生产制造的过程中，需要使用各种浓度的氢氟酸浸泡清洗，以除去硅片表面的氧化层、颗粒物以及金属离子等杂质。清洗槽内的氢氟酸溶液在使用一定时间后，浓度和纯度均会降低，导致清洗硅片的效果下降，因此需要工作人员定期更换氢氟酸溶液。从清洗槽排出的废弃的氢氟酸溶液中含有大量的氟资源，为了避免资源浪费，废弃的氢氟酸溶液需进入回收处理系统进行处理。
2、经过回收处理系统提取出的氢氟酸原料液中仍含有少量的金属离子，为去除金属离子，氢氟酸原料液需通入树脂吸附塔内进行吸附操作。随着金属离子在树脂吸附塔内累积树脂吸附塔达到饱和状态，为确保吸附效果树脂吸附塔需要暂停吸附操作而进行脱附再生，此时树脂吸附塔无法产出氢氟酸溶液，因此氢氟酸回收效率低。
3、cn114213238a公开了一种降低精己二酸产品中铁离子含量的制备方法。该专利表示浓度为4wt％左右的低浓度硝酸溶液，通过流量计13、调节阀14控制流量为1t/h，经电磁阀04由顶部进入吸附塔，吸附塔内树脂吸附的铜离子、钒离子、铁离子被硝酸溶液中的氢离子取代，树脂恢复为氢型树脂。然而在脱附的后期，吸附塔中的金属离子含量较少，故而金属离子与再生液之间离子交换的速率慢，此时再通入大量的再生液并不能加快交换速率反而会造成再生液资源的浪费。
>1、为解决上述技术问题和达到本专利技术的至少一个优势，本专利技术提供电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，所述氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，所述吸附单元包括树脂吸附塔，其特征在于，所述电子级氢氟酸的回收方法包括以下操作：2、至少一所述吸附单元执行吸附操作，向执行吸附操作的所述树脂吸附塔通入氢氟酸原料液，以由执行吸附操作的所述树脂吸附塔吸附氢氟酸原料液中的金属离子，以得到电子级氢氟酸；
3、同时其余的所述吸附单元执行再生操作，再生操作包括以下步骤：
4、停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入氢氟酸原料液，并向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液；
5、在执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的氢氟酸原料液被超纯水完全置换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入超纯水，并将再生液以预设的流速通入执行再生操作的所述树脂吸附塔中，执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换并随再生液排出塔；
6、在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入再生液，并将水洗液通入执行再生操作的所述树脂吸附塔，以使水洗液将附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液冲出；
7、在附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液被水洗液完全置换后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入水洗液，并于执行再生操作的所述树脂吸附塔的底部通入电子级氢氟酸，电子级氢氟酸置换出执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的水洗液；
8、循环吸附操作和再生操作，在执行吸附操作的所述树脂吸附塔达到饱和后，所述氢氟酸回收系统进入下一个循环，执行吸附操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行再生操作，而执行再生操作的所述树脂吸附塔于下个循环中执行吸附操作。
9、根据本专利技术一实施例，多个所述吸附单元各自包括的所述树脂吸附塔之间通过管阀串联，在附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液被水洗液完全置换后，执行吸附操作的所述树脂吸附塔净化所得的部分电子级氢氟酸通向执行再生操作的所述树脂吸附塔。
10、根据本专利技术一实施例，再生液由超纯水和酸按预定比例配置成的混合液。
11、根据本专利技术一实施例，再生液盐酸浓度：4～5％；再生液用量体积：树脂体积为2～3：1。
12、根据本专利技术一实施例，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液被通入氢氟酸原料罐中。
13、根据本专利技术一实施例，在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，再生液先以预设的流速冲洗执行再生操作的所述树脂吸附塔，再生液冲洗预设时间后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入再生液并且禁止再生液排出，再生液于执行再生操作的所述树脂吸附塔滞留预设时间后排出。
14、根据本专利技术一实施例，在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，水洗液通入执行再生操作的所述树脂吸附塔，根据通入所述树脂吸附塔内水洗液所处的时间段不同，将水洗液定义为第一水洗液、第二水洗液以及第三水洗液，其中第二水洗液和第三水洗液均被实施为超纯水；
15、步骤s31：第一水洗液通入执行再生操作的所述树脂吸附塔并冲洗预设时间，从执行再生操作的所述树脂吸附塔排出的第一水洗液排至解析罐中；
16、步骤s32：在步骤s31后，从执行再生操作的所述树脂吸附塔排出的第一水洗液停止通入解析罐，第二水洗液继续通入所述树脂吸附塔并冲洗预设时间，从所述树脂吸附塔排出的第二水洗液被通入回收水罐；
17、步骤s33：在步骤s32后，从执行再生操作的所述树脂吸附塔排出的第二水洗液停止通入回收水罐，第三水洗液继续通入执行再生操作的所述树脂吸附塔并冲洗预设时间，从执行再生操作的所述树脂吸附塔中排出的第三水洗液可作为步骤s31所使用的第一水洗液，当从所述树脂吸附塔排出的第三水洗液检测为中性时，可停止向所述树脂吸附塔通入第三水洗液。
18、根据本专利技术一实施例，在吸附操作中产出的电子级氢氟酸经过第一过滤器流向第一氢氟酸储存罐，以去除流向所述第一氢氟酸储存罐的电子级氢氟酸中的颗粒物质。
19、根据本专利技术一实施例，执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的水洗液随着氢氟酸溶液经过第二过滤器流向第二氢氟酸储存罐，以去除流向所述第二氢氟酸储存罐的氢氟酸溶液中的颗粒物质。
20、根据本专利技术一实施例，所述第二氢氟酸储存罐储存的氢氟酸溶液与高纯水配置作为再生液使用。
21、本专利技术提供的电子级氢氟酸的回收方法与现有技术相比具有以下技术效果：
22、1、本专利技术在至少一所述吸附单元执行吸附操作的同时，其余的所述吸附单元执行再生操作，使得系统能够不间断地产出氢氟酸溶液。
23、2、本专利技术在脱附时采用先动后静的模式，确保所述树脂吸附塔脱附效果的同时，还能够节约再生液的用量。
24、3、本专利技术在水洗的后期，所述树脂吸附塔中的再生液残留量低，故而将该时间段排出的水洗液用于初期水洗，节省了水洗液的用量。
25、4、本专利技术在吸附单元进行再生操作时，不向所述树脂吸附塔内引入其余杂质，使得再生后的所述树脂吸附塔内的洁净度高，故而再生后的的所述树脂吸附塔能够获得较高的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，所述氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，所述吸附单元包括树脂吸附塔，其特征在于，所述电子级氢氟酸的回收方法包括以下操作：
2.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，多个所述吸附单元各自包括的所述树脂吸附塔之间通过管阀串联，在附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液被水洗液完全置换后，执行吸附操作的所述树脂吸附塔净化所得的部分电子级氢氟酸通向执行再生操作的所述树脂吸附塔。
3.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，再生液由超纯水和酸按预定比例配置成的混合液。
4.根据权利要求3所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，再生液盐酸浓度： 4～5%；再生液用量体积：树脂体积为2～3：1。
5.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液被通入氢氟酸原料罐中。
6.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，再生液先以预设的流速冲洗执行再生操作的所述树脂吸附塔，再生液冲洗预设时间后，停止向执行再生操作的所述树脂吸附塔通入再生液并且禁止再生液排出，再生液于执行再生操作的所述树脂吸附塔滞留预设时间后排出。
7.根据权利要求1至6任一所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，水洗液通入执行再生操作的所述树脂吸附塔，根据通入所述树脂吸附塔内水洗液所处的时间段不同，将水洗液定义为第一水洗液、第二水洗液以及第三水洗液，其中第二水洗液和第三水洗液均被实施为超纯水；
8.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，在吸附操作中产出的电子级氢氟酸经过第一过滤器流向第一氢氟酸储存罐，以去除流向所述第一氢氟酸储存罐的电子级氢氟酸中的颗粒物质。
9.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，执行再生操作的所述树脂吸附塔中残留的水洗液随着氢氟酸溶液经过第二过滤器流向第二氢氟酸储存罐，以去除流向所述第二氢氟酸储存罐的氢氟酸溶液中的颗粒物质。
10.根据权利要求9所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，所述第二氢氟酸储存罐储存的氢氟酸溶液与高纯水配置作为再生液使用。
...
【技术特征摘要】
1.电子级氢氟酸的回收方法，能够被应用于氢氟酸回收系统，所述氢氟酸回收系统包括至少两吸附单元，所述吸附单元包括树脂吸附塔，其特征在于，所述电子级氢氟酸的回收方法包括以下操作：
2.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，多个所述吸附单元各自包括的所述树脂吸附塔之间通过管阀串联，在附着于执行再生操作的所述树脂吸附塔的再生液被水洗液完全置换后，执行吸附操作的所述树脂吸附塔净化所得的部分电子级氢氟酸通向执行再生操作的所述树脂吸附塔。
3.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，再生液由超纯水和酸按预定比例配置成的混合液。
4.根据权利要求3所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，再生液盐酸浓度： 4～5%；再生液用量体积：树脂体积为2～3：1。
5.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，由超纯水置换出残留于执行再生操作的所述树脂吸附塔中的氢氟酸原料液被通入氢氟酸原料罐中。
6.根据权利要求1所述电子级氢氟酸的回收方法，其特征在于，在执行再生操作的所述树脂吸附塔所吸附的金属离子与再生液进行离子交换后，再生液先以预设的流速冲洗执行再生操作的...
【专利技术属性】
技术研发人员：江孝平，张正雄，郝文炳，田海珍，王景怡，
申请(专利权)人：上海联风气体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。