真空密封腔体观测装置制造方法及图纸

技术编号:43165279 阅读:11 留言:0更新日期:2024-11-01 19:57
本技术涉及精密机械零件生产技术领域,尤其涉及真空密封腔体观测装置。真空密封腔体观测装置包括底座、钢化玻璃和盖板,底座开设观察通孔、玻璃安装槽和密封胶流道,底座与真空腔体密封连接,通过底座与真空腔体密封连接,并利用密封胶流道确保密封性能,通过盖板固定钢化玻璃,从而有效地保持真空腔体内的真空度不泄漏,利用钢化玻璃透过观察通孔对真空腔体内部的产品进行观察,能够在观察过程中防止外部气体渗入真空腔体内。底座、钢化玻璃和盖板的装配简便,同时确保了稳固的安装和密封连接。注胶孔用于注入密封胶,使得密封胶填充至密封胶流道,填补钢化玻璃与底座之间的空隙,以确保真空密封腔体观测装置的密封性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及精密机械零件生产,尤其涉及真空密封腔体观测装置


技术介绍

1、大型真空腔体内用于生产各种需要在无空气或无气体环境中进行处理或制造的高精度、高要求产品,比如制造半导体器件、光学元件和电子元件等等。在真空环境中制造半导体器件,如芯片、晶体管等。制造光学元件时,需要在无尘或无气体环境中进行,以确保最终产品的质量。一些电子元件的制造也需要在真空环境中进行,以防止氧化或其他污染。在真空腔体内,压力非常低,甚至接近真空状态(接近1pa,而1pa是极低的压力)。在这种环境下,任何突然的压力变化都可能导致真空泄漏,甚至腔体破裂,对产品生产和设备造成严重损害。因此,需要一种外部观察方式,以监测产品生产的状况,同时又能保持真空腔体的密封状态,以避免泄露和其他意外发生。这种外部观察方式必须能够在不破坏真空密封的情况下提供对内部产品状态的可视化信息,以便操作员或监控系统能够实时了解生产过程并采取必要的措施。现有的观测方式,成本高昂,安装方式繁琐。

2、因此亟需真空密封腔体观测装置以解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种真空密封腔体观测装置,能够在外部观测真空密封腔体内的产品生产状况,且不会导致真空泄露。

2、为达此目的,本技术采用了以下方案:

3、真空密封腔体观测装置,安装于真空腔体的侧壁,该真空密封腔体观测装置包括底座、钢化玻璃和盖板,该底座开设观察通孔、玻璃安装槽和密封胶流道,该底座与该真空腔体密封连接,该钢化玻璃安装于该玻璃安装槽,该密封胶流道连通该玻璃安装槽,该盖板安装于该底座,该盖板开设注胶孔,该注胶孔与该密封胶流道连通,该盖板用于固定该钢化玻璃于该底座。

4、作为可选方案,该真空密封腔体观测装置还包括密封圈,该底座朝向该真空腔体的一侧开设密封槽体,该密封圈安装于该密封槽体内。

5、作为可选方案,该密封圈为橡胶密封圈。

6、作为可选方案,该注胶孔开设有多个,多个该注胶孔间隔分布设置于该盖板。

7、作为可选方案,多个该注胶孔均匀分布设置。

8、作为可选方案,该盖板与该底座螺纹连接。

9、作为可选方案,该真空密封腔体观测装置还包括螺纹紧固件,该盖板开设第一螺纹孔,该底座开设第二螺纹孔,该第一螺纹孔对准该第二螺纹孔,该螺纹紧固件用于连接该第一螺纹孔和该第二螺纹孔。

10、作为可选方案,该盖板开设多个该第一螺纹孔,该底座开设多个该第二螺纹孔,多个该第一螺纹孔分别对准多个该第二螺纹孔。

11、作为可选方案,多个该第一螺纹孔均匀间隔分布,多个该第二螺纹孔均匀间隔分布。

12、作为可选方案,该钢化玻璃为钠钙钢化玻璃。

13、本技术的有益效果为:

14、本技术提供的真空密封腔体观测装置中,通过底座与真空腔体密封连接,并利用密封胶流道确保密封性能,通过盖板固定钢化玻璃,从而有效地保持真空腔体内的真空度不泄漏,利用钢化玻璃对真空腔体内部的产品进行观察,能够在观察过程中防止外部气体渗入真空腔体内,从而保护内部产品或环境免受污染或氧化的影响。钢化玻璃的使用提供了足够的透明度,使操作人员或监控系统可以清晰地观察到真空腔体内部产品的生产状况,有助于及时发现任何异常情况或问题,并采取必要的措施进行调整或修复。底座、钢化玻璃和盖板的装配简便,同时确保了稳固的安装和密封连接。注胶孔用于注入密封胶,使得密封胶填充至密封胶流道,填补钢化玻璃与底座之间的空隙,以确保真空密封腔体观测装置的密封性能。

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【技术保护点】

1.真空密封腔体观测装置,安装于真空腔体(100)的侧壁,其特征在于,所述真空密封腔体观测装置包括底座(200)、钢化玻璃(300)和盖板(400),所述底座(200)开设观察通孔(210)、玻璃安装槽(220)和密封胶流道(230),所述底座(200)与所述真空腔体(100)密封连接,所述钢化玻璃(300)安装于所述玻璃安装槽(220),所述密封胶流道(230)连通所述玻璃安装槽(220),所述盖板(400)安装于所述底座(200),所述盖板(400)开设注胶孔(410),所述注胶孔(410)与所述密封胶流道(230)连通,所述盖板(400)用于固定所述钢化玻璃(300)于所述底座(200)。

2.根据权利要求1所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述真空密封腔体观测装置还包括密封圈(500),所述底座(200)朝向所述真空腔体(100)的一侧开设密封槽体(240),所述密封圈(500)安装于所述密封槽体(240)内。

3.根据权利要求2所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述密封圈(500)为橡胶密封圈(500)。

4.根据权利要求1所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述注胶孔(410)开设有多个,多个所述注胶孔(410)间隔分布设置于所述盖板(400)。

5.根据权利要求4所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,多个所述注胶孔(410)均匀分布设置。

6.根据权利要求1所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述盖板(400)与所述底座(200)螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述真空密封腔体观测装置还包括螺纹紧固件,所述盖板(400)开设第一螺纹孔(420),所述底座(200)开设第二螺纹孔(250),所述第一螺纹孔(420)对准所述第二螺纹孔(250),所述螺纹紧固件用于连接所述第一螺纹孔(420)和所述第二螺纹孔(250)。

8.根据权利要求7所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述盖板(400)开设多个所述第一螺纹孔(420),所述底座(200)开设多个所述第二螺纹孔(250),多个所述第一螺纹孔(420)分别对准多个所述第二螺纹孔(250)。

9.根据权利要求8所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,多个所述第一螺纹孔(420)均匀间隔分布,多个所述第二螺纹孔(250)均匀间隔分布。

10.根据权利要求1-9任一项所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述钢化玻璃(300)为钠钙钢化玻璃。

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【技术特征摘要】

1.真空密封腔体观测装置,安装于真空腔体(100)的侧壁,其特征在于,所述真空密封腔体观测装置包括底座(200)、钢化玻璃(300)和盖板(400),所述底座(200)开设观察通孔(210)、玻璃安装槽(220)和密封胶流道(230),所述底座(200)与所述真空腔体(100)密封连接,所述钢化玻璃(300)安装于所述玻璃安装槽(220),所述密封胶流道(230)连通所述玻璃安装槽(220),所述盖板(400)安装于所述底座(200),所述盖板(400)开设注胶孔(410),所述注胶孔(410)与所述密封胶流道(230)连通,所述盖板(400)用于固定所述钢化玻璃(300)于所述底座(200)。

2.根据权利要求1所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述真空密封腔体观测装置还包括密封圈(500),所述底座(200)朝向所述真空腔体(100)的一侧开设密封槽体(240),所述密封圈(500)安装于所述密封槽体(240)内。

3.根据权利要求2所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述密封圈(500)为橡胶密封圈(500)。

4.根据权利要求1所述的真空密封腔体观测装置,其特征在于,所述注胶孔(410)开设有多个,多个所述注胶孔(410)间隔分布设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:苏州希盟科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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