【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测温，具体为一种用于晶圆测温的校准设备及其校准方法。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，它是生产集成电路所用的载体，也是制造集成电路或芯片的基础材料。
2、专利号为cn212300648u的专利公开了一种晶圆冷却腔体测温装置，该专利对晶圆的直接测温且实时测温，对于晶圆温度的一致性提供了保证，测温装置测量头和安装法兰分离，便于测量头的拆装维护，该专利虽然解决了上述问题但仍存在利用传感器对晶圆进行测温时无法保证检测数据传输的稳定，导致检测容易出错的问题，故而提出一种用于晶圆测温的校准设备及其校准方法来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供了一种用于晶圆测温的校准设备及其校准方法。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种用于晶圆测温的校准设备，包括晶圆片，所述晶圆片的下方设置有支座，所述支座的两侧固定连接有支撑侧板，所述支座的后侧设置有测温仪，所述测温仪的前侧面固定连接有传输线，所述传输线的顶端固定连接有传感器，所述支座的顶部开设有接线口，所述支撑侧板靠近支座的一侧固定连接有双动子直线电机，所述双动子直线电机的上表面前后两侧分别滑动连接有两个传动滑块，两个所述传动滑块远离双动子直线电
3、优选的，晶圆定位装置包括有弧形夹板、弧形压板、导向斜槽一、滑动轴、滑动柱、复位弹簧，所述弧形夹板滑动连接在支座上表面，所述滑动柱滑动连接在弧形夹板内表面，所述弧形压板固定连接在滑动柱顶端，所述导向斜槽一开设在支座内侧，所述滑动轴滑动连接在导向斜槽一内表面，所述复位弹簧固定连接在弧形压板下表面，所述晶圆定位装置还包括有延迟传动框、限位滑槽、导向轴一、弹性伸缩杆、弧形推块、自适应滑槽，所述自适应滑槽开设在传动杆内侧，所述导向轴一滑动连接在自适应滑槽内表面，所述延迟传动框活动连接在导向轴一外表面，所述限位滑槽开设在延迟传动框内表面，所述弹性伸缩杆固定连接在限位滑槽内表面，所述弧形推块固定连接在弹性伸缩杆靠近导向轴一的一端，所述复位弹簧的底端和弧形夹板内表面固定连接，所述滑动轴的顶端和弧形夹板底面固定连接，所述弧形推块的内弧面和导向轴一的圆周面相互接触，所述弧形推块和限位滑槽内表面滑动连接，所述滑动轴和延迟传动框靠近弧形夹板一端的内表面铰接，将晶圆片放在四个弧形夹板中间，弧形夹板能够对晶圆片的边缘进行夹持，同时弧形压板能够压住晶圆片的顶部，当遇到不同厚度的晶圆片时可以抬起弧形压板，弧形压板带动滑动柱上升在不脱离弧形夹板的情况下使复位弹簧拉伸，然后放开弧形压板，弧形压板受到复位弹簧的拉力下降并自动适应晶圆片的厚度进而对不同厚度的晶圆片进行夹持，前后两个传动杆相互靠近时带动前后两个导向轴一相互靠近，导向轴一带动前后两个延迟传动框相互靠近，延迟传动框再带动滑动轴在导向斜槽一内滑动，并沿着导向斜槽一的靠近晶圆片，当弧形夹板夹持直径较长的晶圆片时弧形夹板与晶圆片边缘接触后导向轴一能够继续在延迟传动框内滑动，从而在不影响两个传动杆相互贴合的情况下对晶圆片进行夹持，当弧形夹板松开晶圆片后弧形推块通过弹性伸缩杆的弹性作用带动导向轴一复位到延迟传动框内的初始位置。
4、优选的，检测防护装置包括有支撑板、顶部防护板、内框板、升降斜块、外挡板，所述支撑板固定连接在支撑侧板远离支座的一侧，所述顶部防护板固定连接在支撑板顶部内表面，所述内框板固定连接在顶部防护板下表面，所述升降斜块滑动连接在内框板外表面，所述外挡板滑动连接在内框板外表面，所述检测防护装置还包括有导向轴二、导向斜槽二、传动斜板、限位卡板，所述导向斜槽二开设在支座内侧，所述导向轴二滑动连接在导向斜槽二内表面，所述传动斜板固定连接在导向轴二顶端，所述限位卡板固定连接在传动斜板上表面，所述导向轴二的底端和导向轴一的顶端相互接触，所述传动斜板的底端和支座上表面滑动连接，所述升降斜块的下表面和传动斜板上表面相互接触，所述升降斜块的底端和限位卡板外表面卡接，所述导向轴二的底端和延迟传动框的上表面固定连接，所述升降斜块和外挡板的两侧固定连接，滑动轴在导向斜槽一内滑动时带动延迟传动框沿导向斜槽一的导向移动，延迟传动框再带动导向轴二在导向斜槽二内滑动，导向轴二带动传动斜板沿导向斜槽二的导向向晶圆片靠近，传动斜板向晶圆片靠近时升降斜块因为传动斜板的斜面下降，升降斜块下降带动外挡板下降，升降斜块和外挡板下降后将晶圆片的四周挡住，同时升降斜块和外挡板下降后露出的内框板挡住了顶部防护板和外挡板之间的缝隙，当晶圆片检测完成后，导向轴二沿导向斜槽二向远离晶圆片的方向移动，从而带动传动斜板向远离晶圆片的方向移动，传动斜板通过斜面的导向推动升降斜块和外挡板上升。
5、一种用于晶圆测温的校准设备的校准方法，包括以下步骤：
6、步骤一：首先，将切割后的晶圆放置在支座上，将传输线和传感器通过接线口贴在晶圆上；
7、步骤二：然后，启动测温仪，传感器将检测到的温度数据通过传输线传输给测温仪，测温仪将检测数据显示出来；
8、步骤三：随后，将升降斜块和外挡板抬起，再抬起弧形压板，将晶圆从弧形夹板中取出；
9、步骤四：最后，工作人员对晶圆温度异常的部位进行排查，对确定有异常的部位进行处理，完成测温校准。
10、本专利技术采用上述技术方案，能够带来如下有益效果：
11、1、该用于晶圆测温的校准设备及其校准方法，限位夹持框本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆测温的校准设备，包括晶圆片（1），其特征在于：所述晶圆片（1）的下方设置有支座（2），所述支座（2）的两侧固定连接有支撑侧板（3），所述支座（2）的后侧设置有测温仪（4），所述测温仪（4）的前侧面固定连接有传输线（41），所述传输线（41）的顶端固定连接有传感器（42），所述支座（2）的顶部开设有接线口（43），所述支撑侧板（3）靠近支座（2）的一侧固定连接有双动子直线电机（5），所述双动子直线电机（5）的上表面前后两侧分别滑动连接有两个传动滑块（6），两个所述传动滑块（6）远离双动子直线电机（5）前后两端的一侧分别固定连接有两个传动杆（61），两个所述传动杆（61）的内表面分别固定连接有两个限位夹持框（62），后侧所述限位夹持框（62）前侧面固定连接有卡块（63），前侧所述限位夹持框（62）后侧面开设有卡槽（64），所述限位夹持框（62）的内表面固定连接有套轴（65），所述套轴（65）的内表面滑动连接有弹性伸缩轴（66），所述弹性伸缩轴（66）远离套轴（65）的一端固定连接有半圆弧定位环（67）；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测温的校准设备，
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述晶圆定位装置（7）包括有弧形夹板（71）、弧形压板（72）、导向斜槽一（73）、滑动轴（74）、滑动柱（75）、复位弹簧（76），所述弧形夹板（71）滑动连接在支座（2）上表面，所述滑动柱（75）滑动连接在弧形夹板（71）内表面，所述弧形压板（72）固定连接在滑动柱（75）顶端，所述导向斜槽一（73）开设在支座（2）内侧，所述滑动轴（74）滑动连接在导向斜槽一（73）内表面，所述复位弹簧（76）固定连接在弧形压板（72）下表面。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述晶圆定位装置（7）还包括有延迟传动框（77）、限位滑槽（78）、导向轴一（79）、弹性伸缩杆（710）、弧形推块（711）、自适应滑槽（712），所述自适应滑槽（712）开设在传动杆（61）内侧，所述导向轴一（79）滑动连接在自适应滑槽（712）内表面，所述延迟传动框（77）活动连接在导向轴一（79）外表面，所述限位滑槽（78）开设在延迟传动框（77）内表面，所述弹性伸缩杆（710）固定连接在限位滑槽（78）内表面，所述弧形推块（711）固定连接在弹性伸缩杆（710）靠近导向轴一（79）的一端。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述复位弹簧（76）的底端和弧形夹板（71）内表面固定连接，所述滑动轴（74）的顶端和弧形夹板（71）底面固定连接，所述弧形推块（711）的内弧面和导向轴一（79）的圆周面相互接触，所述弧形推块（711）和限位滑槽（78）内表面滑动连接，所述滑动轴（74）和延迟传动框（77）靠近弧形夹板（71）一端的内表面铰接。
6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述检测防护装置（8）包括有支撑板（85）、顶部防护板（86）、内框板（87）、升降斜块（88）、外挡板（89），所述支撑板（85）固定连接在支撑侧板（3）远离支座（2）的一侧，所述顶部防护板（86）固定连接在支撑板（85）顶部内表面，所述内框板（87）固定连接在顶部防护板（86）下表面，所述升降斜块（88）滑动连接在内框板（87）外表面，所述外挡板（89）滑动连接在内框板（87）外表面。
7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述检测防护装置（8）还包括有导向轴二（81）、导向斜槽二（82）、传动斜板（83）、限位卡板（84），所述导向斜槽二（82）开设在支座（2）内侧，所述导向轴二（81）滑动连接在导向斜槽二（82）内表面，所述传动斜板（83）固定连接在导向轴二（81）顶端，所述限位卡板（84）固定连接在传动斜板（83）上表面。
8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述导向轴二（81）的底端和导向轴一（79）的顶端相互接触，所述传动斜板（83）的底端和支座（2）上表面滑动连接，所述升降斜块（88）的下表面和传动斜板（83）上表面相互接触，所述升降斜块（88）的底端和限位卡板（84）外表面卡接，所述导向轴二（81）的底端和延迟传动框（77）的上表面固定连接，所述升降斜块（88）和外挡板（89）的两侧固定连接。
9.一种用于晶圆测温的校准设备的校准方法，采用权利要求8所述的一种用于晶圆测温的校准设备，...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆测温的校准设备，包括晶圆片（1），其特征在于：所述晶圆片（1）的下方设置有支座（2），所述支座（2）的两侧固定连接有支撑侧板（3），所述支座（2）的后侧设置有测温仪（4），所述测温仪（4）的前侧面固定连接有传输线（41），所述传输线（41）的顶端固定连接有传感器（42），所述支座（2）的顶部开设有接线口（43），所述支撑侧板（3）靠近支座（2）的一侧固定连接有双动子直线电机（5），所述双动子直线电机（5）的上表面前后两侧分别滑动连接有两个传动滑块（6），两个所述传动滑块（6）远离双动子直线电机（5）前后两端的一侧分别固定连接有两个传动杆（61），两个所述传动杆（61）的内表面分别固定连接有两个限位夹持框（62），后侧所述限位夹持框（62）前侧面固定连接有卡块（63），前侧所述限位夹持框（62）后侧面开设有卡槽（64），所述限位夹持框（62）的内表面固定连接有套轴（65），所述套轴（65）的内表面滑动连接有弹性伸缩轴（66），所述弹性伸缩轴（66）远离套轴（65）的一端固定连接有半圆弧定位环（67）；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述传感器（42）的上表面和晶圆片（1）的下表面相互接触，所述晶圆片（1）的下表面和支座（2）的上表面相互接触。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述晶圆定位装置（7）包括有弧形夹板（71）、弧形压板（72）、导向斜槽一（73）、滑动轴（74）、滑动柱（75）、复位弹簧（76），所述弧形夹板（71）滑动连接在支座（2）上表面，所述滑动柱（75）滑动连接在弧形夹板（71）内表面，所述弧形压板（72）固定连接在滑动柱（75）顶端，所述导向斜槽一（73）开设在支座（2）内侧，所述滑动轴（74）滑动连接在导向斜槽一（73）内表面，所述复位弹簧（76）固定连接在弧形压板（72）下表面。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测温的校准设备，其特征在于：所述晶圆定位装置（7）还包括有延迟传动框（77）、限位滑槽（78）、导向轴一（79）、弹性伸缩杆（710）、弧形推块（711）、自适应滑槽（712），所述自适应滑槽（712）开设在传动杆（61）内侧，所述导向轴一（79）滑动连接在自适应滑槽（712）内表面，所述延迟传动框（77）活动连接在导向轴一（...
【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，曹晓光，邵秋新，
申请(专利权)人：涌淳半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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