【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工设备的，尤其涉及一种真空吸附装置。
技术介绍
1、在半导体封测过程中晶圆会需要清洗，且在某些加工工序中，需要在晶圆表面均匀的涂覆一层保护胶，不管是清洗过程还是涂覆过程，都需要吸附装置利用真空将晶圆吸附并带动晶圆旋转，传统的吸附装置的转轴的转速一般低于1000rpm，若转轴的转速过大，不仅会造成转轴与基座之间的发热量过大，且转轴与基座易出现磨损。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于：提供一种真空吸附装置的转轴可以高速旋转，不会出现发热量过大和磨损的问题。
2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种真空吸附装置，包括：
4、基座，开设有轴孔和第一气孔；
5、转轴，至少部分转动式安装于所述轴孔内；所述转轴开设有第二气孔和注油孔；
6、轴承组，套装在所述转轴并位于轴孔内；
7、以及
8、油封，套装在所述转轴并位于所述轴孔内；
9、所述转轴具有吸附面和外周侧面，所述转轴的外周侧面与所述轴孔的内壁共同围合形成沿着所述转轴的轴线周向延伸的环腔，所述第一气孔的一端与所述环腔连通，所述第一气孔的另一端与所述基座的外部连通，所述第二气孔的一端与所述环腔连通，所述第二气孔的另一端位于所述吸附面上；
10、所述油封与所述转轴的外周侧面共同围合形成油腔，所述油腔与所述注油孔连通。
11、可选地，所述轴孔的内壁上设有环槽，所述环槽沿着所述转轴的轴线周向延伸，
12、可选地，所述第二气孔包括第一孔段和第二孔段；所述第一孔段沿着所述转轴的径向贯穿所述转轴且所述第一孔段的两端均与所述环腔连通，所述第二孔段的一端位于所述吸附面上，所述第二孔段的另一端沿着所述转轴的轴向延伸并与所述第一孔段连通。
13、可选地，所述真空吸附装置还包括压盖；所述压盖、所述转轴的外周侧面、所述轴孔的内壁共同围合形成密封腔，所述油封位于所述密封腔内。
14、可选地，所述注油孔有多个且间隔布设，所述压盖有多个且沿着所述转轴的轴向依次布设，任意所述压盖、所述转轴的外周侧面、所述轴孔的内壁共同围合形成一个所述密封腔，各所述密封腔内均设有所述油封，任意所述油封和所述转轴的外周侧面共同围合形成一个所述油腔，至少一个所述注油孔与所述油腔连通。
15、可选地，所述轴承组包括双列角接触轴承和深沟球轴承；所述吸附面、所述双列角接触轴承和所述深沟球轴承沿着所述转轴的轴向依次排列。
16、可选地，所述真空吸附装置还包括端盖和挡圈；所述轴孔具有第一孔口和位于第一孔口下方的第二孔口，所述双列角接触轴承从所述第一孔口安装在所述轴孔内，所述端盖安装在所述第一孔口处并覆盖所述转轴与第一孔口的边缘之间的间隙，所述深沟球轴承从所述第二孔口安装在所述轴孔内，所述挡圈安装在所述第二孔口处并覆盖所述转轴与第二孔口的边缘之间的间隙。
17、可选地，所述真空吸附装置还包括油塞；所述注油孔具有与所述油腔连通的出油口和位于所述吸附面上的入油口，所述油塞从所述入油口卡入所述注油孔。
18、可选地，所述真空吸附装置还包括具有第三气孔的管接头；所述管接头的一端与所述基座螺纹连接且所述第三气孔与所述第一气孔连通。
19、可选地，所述基座的外侧面上设有若干散热鳍片；若干所述散热鳍片间隔布设。
20、本技术的有益效果为：本真空吸附装置利用转动式安装的转轴通过吸附面来吸附晶圆，既可以实现对晶圆进行吸附，也可以带动晶圆高速转动，真空吸附装置的转动通过油封安装在基座上，利用注油孔可以加入润滑油，降低转轴高速转动时的产生的发热量和降低转轴的磨损。
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1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述轴孔(111)的内壁上设有环槽(113)，所述环槽(113)沿着所述转轴(12)的轴线周向延伸，所述环槽(113)的内壁和所述转轴(12)的外周侧面(124)共同围合形成所述环腔(22)。
3.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述第二气孔(121)包括第一孔段(125)和第二孔段(126)；所述第一孔段(125)沿着所述转轴(12)的径向贯穿所述转轴(12)且所述第一孔段(125)的两端均与所述环腔(22)连通，所述第二孔段(126)的一端位于所述吸附面(123)上，所述第二孔段(126)的另一端沿着所述转轴(12)的轴向延伸并与所述第一孔段(125)连通。
4.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括压盖(21)；所述压盖(21)、所述转轴(12)的外周侧面(124)、所述轴孔(111)的内壁共同围合形成密封腔(24)，所述油封(13)位于所述密封腔(24)内。
5.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于
6.根据权利要求1至5任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，所述轴承组包括双列角接触轴承(14)和深沟球轴承(15)；所述吸附面(123)、所述双列角接触轴承(14)和所述深沟球轴承(15)沿着所述转轴(12)的轴向依次排列。
7.根据权利要求6所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括端盖(18)和挡圈(19)；所述轴孔(111)具有第一孔口和位于第一孔口下方的第二孔口，所述双列角接触轴承(14)从所述第一孔口安装在所述轴孔(111)内，所述端盖(18)安装在所述第一孔口处并覆盖所述转轴(12)与第一孔口的边缘之间的间隙，所述深沟球轴承(15)从所述第二孔口安装在所述轴孔(111)内，所述挡圈(19)安装在所述第二孔口处并覆盖所述转轴(12)与第二孔口的边缘之间的间隙。
8.根据权利要求1至5任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括油塞(17)；所述注油孔(122)具有与所述油腔(23)连通的出油口和位于所述吸附面(123)上的入油口，所述油塞(17)从所述入油口卡入所述注油孔(122)。
9.根据权利要求1至5任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括具有第三气孔(161)的管接头(16)；所述管接头(16)的一端与所述基座(11)螺纹连接且所述第三气孔(161)与所述第一气孔(112)连通。
10.根据权利要求1至5任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，所述基座(11)的外侧面上设有若干散热鳍片(114)；若干所述散热鳍片(114)间隔布设。
...【技术特征摘要】
1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述轴孔(111)的内壁上设有环槽(113)，所述环槽(113)沿着所述转轴(12)的轴线周向延伸，所述环槽(113)的内壁和所述转轴(12)的外周侧面(124)共同围合形成所述环腔(22)。
3.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述第二气孔(121)包括第一孔段(125)和第二孔段(126)；所述第一孔段(125)沿着所述转轴(12)的径向贯穿所述转轴(12)且所述第一孔段(125)的两端均与所述环腔(22)连通，所述第二孔段(126)的一端位于所述吸附面(123)上，所述第二孔段(126)的另一端沿着所述转轴(12)的轴向延伸并与所述第一孔段(125)连通。
4.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，还包括压盖(21)；所述压盖(21)、所述转轴(12)的外周侧面(124)、所述轴孔(111)的内壁共同围合形成密封腔(24)，所述油封(13)位于所述密封腔(24)内。
5.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于，所述注油孔(122)有多个且间隔布设，所述压盖(21)有多个且沿着所述转轴(12)的轴向依次布设，任意所述压盖(21)、所述转轴(12)的外周侧面(124)、所述轴孔(111)的内壁共同围合形成一个所述密封腔(24)，各所述密封腔(24)内均设有所述油封(13)，任意所述油封(13)和所述转轴(12)的外周侧面(124)共同围合形成一个所述油腔(23)，至少一个所述注油...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆，陈吉，赵泽通，马林，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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