双舟管式镀膜设备制造技术

本技术提供了一种双舟管式镀膜设备，包括炉管、炉管前门、炉管后门和设置在炉管内的夹层板，所述夹层板将炉管内腔体分隔成两部分，分别为上方的石墨舟放置区和下方的辅热区，所述夹层板为对称弯折结构，包括第一坡道和第二坡道，所述炉管前门和所述炉管后门上均设置有两根电极杆，分别对应插入炉管内两个石墨舟上的电极插孔内。通过优化炉管内支撑结构和石墨舟的电极连接方式，统一双舟放电方式，提高石墨舟使用寿命，简化维修操作，节省成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏组件镀膜领域，尤其涉及一种双舟管式镀膜设备。

技术介绍

1、在现有的管式pecvd双舟系统中，镀膜主机台中炉管可以同时放两个石墨舟，两个石墨舟通过炉管内的支撑杆支撑，前舟为舟脚直接落在支撑杆上的金属电极块连接电源，后舟通过电极插孔与炉门上的电极杆连接电源，因其接触电源的位置不同，则这两个石墨舟在炉管中的放电方式不同，放电方式不同也就导致了两个石墨舟负载的功率不同，从而会造成同一组石墨舟前后两个舟使用寿命有差异。而且前舟的舟脚受力点落在支撑杆的金属电极块上，容易在长时间受力情况下使支撑杆与金属电极块之间的连接产生松动，导致舟脚与金属电极块的接触产生偏差，进而导致放电异常，放电异常又会使石墨舟寿命缩短，还会产生粉尘，造成返工，所以金属电极块就需要定期维护、调整位置，增加维修和时间成本。另外前舟这种水平接触电极块导电的方式，在炉内掉片较多，碎片易掉落在金属电极块、下方辅热管上，造成镀膜异常还难以清理。

技术实现思路

1、鉴于以上，本技术提供一种双舟管式镀膜设备，通过优化炉管内支撑结构和石墨舟的电极连接方式，统一双舟放电方式，提高石墨舟使用寿命，简化维修操作，节省成本。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种双舟管式镀膜设备，包括炉管、炉管前门、炉管后门和设置在炉管内的夹层板，所述夹层板将炉管内腔体分隔成两部分，分别为上方的石墨舟放置区和下方的辅热区，所述夹层板为对称弯折结构，包括第一坡道和第二坡道，所述炉管前门和所述炉管后门上均设置有两根电极杆，分别对应插入炉管内两个石墨舟上的电极插孔内。

3、作为本技术进一步改进的技术方案，所述石墨舟放置区顶端设置有辅热棒，所述辅热区内也设置有辅热棒。

4、作为本技术进一步改进的技术方案，所述炉管前门的外侧设置有门架，所述门架的底端设置在位移运动模组上。

5、作为本技术进一步改进的技术方案，所述位移运动模组包括x轴和y轴双向的直线位移模组，带动炉管前门进行横向、纵向的移动。

6、作为本技术进一步改进的技术方案，所述炉管靠近炉管前门的侧壁上开设有进气口。

7、作为本技术进一步改进的技术方案，所述炉管后门上开设有辅热管接口、排气管接口、内热耦接口，所述辅热管接口与设置在炉管内的辅热棒连接。

8、作为本技术进一步改进的技术方案，所述炉管后门上还开设有观察窗。

9、作为本技术进一步改进的技术方案，所述夹层板为石英材质，与炉管内壁固定连接。

10、本技术的双舟管式镀膜设备，可在现有镀膜设备上进行改进，方便快捷，节省成本，通过结构的优化，去除掉原有的支撑杆和水平金属电极块，前舟、后舟统一使用电极杆插接放电方式，使在一个炉管内的两个石墨舟负载的功率相同，提高石墨舟使用寿命。另外增加夹层板对双石墨舟进行支撑，夹层板的双坡道设计方便清理碎片，当石墨舟上产生碎片时，在重力及坡度的作用下，碎片会顺着夹层板自动滑落至两边，不用担心碎片掉落至下方的辅热棒而影响工作，且便于清理碎片，节约维护保养时间，增加产能。

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【技术保护点】

1.一种双舟管式镀膜设备，其特征在于：包括炉管、炉管前门、炉管后门和设置在炉管内的夹层板，所述夹层板将炉管内腔体分隔成两部分，分别为上方的石墨舟放置区和下方的辅热区，所述夹层板为对称弯折结构，包括第一坡道和第二坡道，所述炉管前门和所述炉管后门上均设置有两根电极杆，分别对应插入炉管内两个石墨舟上的电极插孔内。

2.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述石墨舟放置区顶端设置有辅热棒，所述辅热区内也设置有辅热棒。

3.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述炉管前门的外侧设置有门架，所述门架的底端设置在位移运动模组上。

4.如权利要求3所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述位移运动模组包括X轴和Y轴双向的直线位移模组，带动炉管前门进行横向、纵向的移动。

5.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述炉管靠近炉管前门的侧壁上开设有进气口。

6.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述炉管后门上开设有辅热管接口、排气管接口、内热耦接口，所述辅热管接口与设置在炉管内的辅热棒连接。p>

7.如权利要求1或6所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述炉管后门上还开设有观察窗。

8.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述夹层板为石英材质，与炉管内壁固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种双舟管式镀膜设备，其特征在于：包括炉管、炉管前门、炉管后门和设置在炉管内的夹层板，所述夹层板将炉管内腔体分隔成两部分，分别为上方的石墨舟放置区和下方的辅热区，所述夹层板为对称弯折结构，包括第一坡道和第二坡道，所述炉管前门和所述炉管后门上均设置有两根电极杆，分别对应插入炉管内两个石墨舟上的电极插孔内。

2.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述石墨舟放置区顶端设置有辅热棒，所述辅热区内也设置有辅热棒。

3.如权利要求1所述的双舟管式镀膜设备，其特征在于：所述炉管前门的外侧设置有门架，所述门架的底端设置在位移运动模组上。

4.如权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雪强，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：