【技术实现步骤摘要】
本公开涉及真空蒸发镀膜，具体而言，涉及一种组合式蒸发舟及真空蒸发镀膜设备。
技术介绍
1、真空蒸发镀膜是一种常见的薄膜制备技术，它通过将原材料蒸发并沉积在基材上形成薄膜，蒸发舟是一种用于蒸发镀膜的设备，通常由钨、钼等金属制成。蒸发的原材料会在基材表面沉积形成薄膜。蒸发镀膜可以制备各种薄膜，如金属薄膜、半导体薄膜、光学薄膜等，广泛应用于电子、光学、太阳能等领域。
2、由于蒸发舟表面的原材料溶液波动较大，容易产生飞溅到基材表面，这极大影响了成膜的质量，因此去除基材表面的飞溅溶液缺陷对于基材制备工艺简化及后续产品应用都有很大意义。
技术实现思路
1、本公开的目的在于针对相关技术中的技术问题，提供一种组合式蒸发舟及真空蒸发镀膜设备。具体方案如下：
2、本公开实施例的第一方面提供一种组合式蒸发舟，包括第一蒸发舟，具有金属熔池，所述第一蒸发舟用于蒸发在所述金属熔池内熔化的靶材；第二蒸发舟，与所述第一蒸发舟大致平行设置，所述第二蒸发舟在所述第一蒸发舟上的投影至少覆盖所述金属熔池，所述第二蒸发舟用于遮挡所述第一蒸发舟飞溅的靶材熔液，其中，所述第二蒸发舟与所述第一蒸发舟之间具有预设间距。
3、在一些实施例中，所述第二蒸发舟包括：第一通孔，所述第一通孔贯穿设置于所述第二蒸发舟，所述第一通孔在所述第一蒸发舟上的投影区域至少覆盖所述金属熔池，所述第一通孔用于流通经所述第一蒸发舟蒸发的所述靶材。
4、在一些实施例中，所述第二蒸发舟还包括：第二通孔，贯穿设置于所
5、在一些实施例中，所述第二通孔的开口面积大于所述第一通孔的开口面积。
6、在一些实施例中，所述第一通孔为多个贯穿所述第二蒸发舟的通孔，多个所述第一通孔沿所述第二蒸发舟表面阵列式排布。
7、在一些实施例中，多个所述第一通孔环绕地设置于所述第二通孔周围。
8、在一些实施例中，多个所述第一通孔具有相同或不同的开口面积。
9、在一些实施例中，所述第一蒸发舟与所述第二蒸发舟之间的预设间距的取值范围为1～100mm。
10、在一些实施例中，所述第一通孔的直径不小于1mm。
11、本公开实施例的第二方面提供一种真空蒸发镀膜设备，包括：本公开实施例第一方面中任一项所述的组合式蒸发舟。
12、本公开实施例的上述方案与相关技术相比，至少具有以下有益效果：
13、本公开提供一种组合式蒸发舟及真空蒸发镀膜设备，所述组合式蒸发舟设置于所述真空蒸发镀膜设备内部，包括第一蒸发舟和第二蒸发舟，其中，所述第二蒸发舟可以遮挡飞溅的靶材熔液，并将飞溅的所述靶材熔液转化为蒸发的靶材，避免靶材熔化时产生的液滴飞溅至待镀膜的基材表面，导致基材表面形成金属颗粒等缺陷，对后续工艺步骤造成影响。
14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
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1.一种组合式蒸发舟，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的组合式蒸发舟，其特征在于，所述第二蒸发舟包括：
3.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其特征在于，所述第二蒸发舟还包括：
4.根据权利要求3所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
6.根据权利要求3所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
7.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
9.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
10.一种真空蒸发镀膜设备，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种组合式蒸发舟，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的组合式蒸发舟，其特征在于，所述第二蒸发舟包括：
3.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其特征在于，所述第二蒸发舟还包括：
4.根据权利要求3所述的组合式蒸发舟，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的组合式蒸发舟，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨怀超，李东亮，陈一民，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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