【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀膜装置，具体而言，涉及一种蒸镀装置、太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
1、电子传输层是有机发光二极管、有机光伏、有机晶体管和其他有机电子器件中的一种关键的功能性材料，主要用于促进电子从阴极向发光层或活性层的有效传输，从而提高器件的性能和效率。
2、现有技术中，一般采用富勒烯作为电子传输层材料，而富勒烯材料具有较大的寄生吸收，因此为了获得高性能有机电子器件，一般采用真空蒸镀方式进行亚纳米级的膜厚控制。富勒烯和发光层或者活性层的界面形态显著影响有机电子器件的缺陷复合过程，针对此缺陷复合过程，现有技术研究更多聚焦于增加界面钝化材料、替换富勒烯材料等方面；而缺少对富勒烯材料本征材料形貌的控制。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种蒸镀装置、太阳能电池及其制备方法，能够控制功能膜层的形态。
2、本申请的实施例一方面提供了一种蒸镀装置，包括反应腔室、调节气体发生器、以及设置于反应腔室内的坩埚和基底放置台，坩埚和基底放置台相对设置，调节气体发生器的输气口与反应腔室连通，调节气体发生器产生的调节气体进入反应腔室与坩埚产生的传输气体相互作用沉积于基底上形成功能膜层。
3、作为一种可实施的方式，蒸镀装置还包括控制器以及分别与控制器连接的分压检测器和流量控制器，分压检测器设置于反应腔室内，用于检测反应腔室内的调节气体的分压，流量控制器与调节气体发生器连接，控制器获取反应腔室内的调节气体的分压并根据调节气体的分压调节流量控制器，以使反应腔室内的调节气
4、作为一种可实施的方式，调节气体发生器为水汽发生器，水汽发生器产生水汽，水汽作为调节气体进入所述反应腔室与传输气体相互作用沉积于基底上。
5、作为一种可实施的方式，功能膜层材料为富勒烯材料。
6、作为一种可实施的方式，调节水汽分压值，以使功能膜层的表面为层状生长方式。
7、作为一种可实施的方式，蒸镀装置还包括与坩埚连接的镀率控制器，镀率控制器控制镀率，使得功能膜层的镀率在之间。
8、作为一种可实施的方式，调节水汽分压，以使功能膜层的表面为岛状生长方式。
9、作为一种可实施的方式，蒸镀装置还包括与坩埚连接的镀率控制器，镀率控制器控制镀率，使得功能膜层的镀率在之间。
10、本申请实施例另一方面还提供了一种太阳能电池的制备方法，包括：提供基底；将基底设置于如上述的蒸镀装置的基底放置台上，在基底上沉积功能膜层作为电荷传输层。
11、本申请实施例再一方面还提供了太阳能电池，采用上述的太阳能电池的制备方法制备而成，包括电荷传输层，电荷传输层的材料为富勒烯材料。
12、本申请实施例的有益效果包括：
13、本申请提供的蒸镀装置，包括反应腔室、调节气体发生器、以及设置于反应腔室内的坩埚和基底放置台，坩埚和基底放置台相对设置，调节气体发生器的输气口与反应腔室连通，调节气体发生器产生的调节气体进入反应腔室与坩埚产生的传输气体相互作用沉积于基底上形成功能膜层。在传输气体和调节气体在基底上相互作用沉积的过程中，当调节气体的含量较少，传输气体在反应腔室内非常多时，传输气体分子与基底的张力较大，易于形成表面为层状生长方式的功能膜层；当调节气体的含量较多时，传输气体分子与调节气体分子之间的碰撞几率增大，使得传输气体分子能够携带调节气体分子沉积到基底上，因为调节气体分子的加入，使得沉积形成电子传输层与基底之间的应力发生变化，传输气体分子间的张力变大，此时，易于形成表面为岛状生长方式的功能膜层。因此，本申请实施例可以通过调节气体在反应腔室内的含量实现对功能膜层形态的调整。
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1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括反应腔室、调节气体发生器、以及设置于所述反应腔室内的坩埚和基底放置台，所述坩埚和所述基底放置台相对设置，所述调节气体发生器的输气口与所述反应腔室连通，所述调节气体发生器产生的调节气体进入反应腔室与所述坩埚产生的传输气体相互作用沉积于基底上形成功能膜层。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括控制器以及分别与所述控制器连接的分压检测器和流量控制器，所述分压检测器设置于所述反应腔室内，用于检测所述反应腔室内的调节气体的分压，所述流量控制器与所述调节气体发生器连接，所述控制器获取所述反应腔室内的调节气体的分压并根据调节气体的分压调节所述流量控制器，以使所述反应腔室内的调节气体分压为预设值。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述调节气体发生器为水汽发生器，所述水汽发生器产生水汽，所述水汽作为调节气体进入所述反应腔室与传输气体相互作用沉积于基底上。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述功能膜层的材料为富勒烯材料。
5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，调节所述
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括与所述坩埚连接的镀率控制器，所述镀率控制器控制镀率，使得所述功能膜层的镀率在之间。
7.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，调节所述水汽分压值，以使所述功能膜层的表面为岛状生长方式。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括与所述坩埚连接的镀率控制器，所述镀率控制器控制镀率，使得所述功能膜层的镀率在之间。
9.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：
10.一种太阳能电池，其特征在于，采用权利要求9所述的太阳能电池的制备方法制备而成，包括电荷传输层，所述电荷传输层的材料为富勒烯材料。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括反应腔室、调节气体发生器、以及设置于所述反应腔室内的坩埚和基底放置台，所述坩埚和所述基底放置台相对设置，所述调节气体发生器的输气口与所述反应腔室连通，所述调节气体发生器产生的调节气体进入反应腔室与所述坩埚产生的传输气体相互作用沉积于基底上形成功能膜层。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括控制器以及分别与所述控制器连接的分压检测器和流量控制器，所述分压检测器设置于所述反应腔室内，用于检测所述反应腔室内的调节气体的分压，所述流量控制器与所述调节气体发生器连接，所述控制器获取所述反应腔室内的调节气体的分压并根据调节气体的分压调节所述流量控制器，以使所述反应腔室内的调节气体分压为预设值。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述调节气体发生器为水汽发生器，所述水汽发生器产生水汽，所述水汽作为调节气体进入所述反应腔室与传输气体相互作用沉积于基底上。...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶亚宽，张训路，吴颐良，李浩然，
申请(专利权)人：北京曜能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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