【技术实现步骤摘要】
本公开涉及显示装置，并且涉及能够从有源层容易地排放氢的显示装置。
技术介绍
1、薄膜晶体管(tft)已经在各种领域中使用。它已经被用作诸如液晶显示器(lcd)、有机发光二极管(oled)显示器和电泳显示器的平板显示装置中的开关和驱动元件。
2、薄膜晶体管的有源层(例如，半导体)可以由非晶硅或多晶硅等制成。非晶硅可以在低温下被沉积以形成薄膜，因此其被用于使用具有低熔点的玻璃作为基板的显示装置。多晶硅具有高场效应迁移率、高频操作和低泄漏电流的电特性。
3、在包括多晶硅的多晶硅膜的结晶工艺之后，可以执行脱氢工艺。例如，由于结晶之后的多晶硅膜的内部对低温多晶硅(ltps)器件的性能有大的影响，因此需要脱氢工艺来将多晶硅膜中的氢的量降低到特定水平以下。
4、应当理解，本
技术介绍
部分部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。但是，本
技术介绍
部分也可能包括在本文公开的主题的对应的有效申请日之前不是本领域技术人员所已知或理解的一部分的想法、概念或认识。
技术实现思路
1、本公开的方面提供能够从有源层容易地排放氢的显示装置。
2、本公开的目的不限于上面提到的目的，并且本领域技术人员将从本公开的以下描述中清楚地理解本文没有提到的本公开的附加目的。
3、然而，本公开的方面不限于本文阐述的那些。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。
4、根据实施例，显示装置可以包括：
5、在实施例中，第一栅电极的整个孔可以不与第一有源层重叠。
6、在实施例中，绝缘层可以设置在第一栅电极的孔中。
7、在实施例中，显示装置可以进一步包括：遮光层，设置在基板与第一有源层之间。
8、在实施例中，第一栅电极的孔可以与遮光层重叠。
9、在实施例中，显示装置可以进一步包括：电容器电极，具有与第一栅电极重叠的孔。
10、在实施例中，第一栅电极的孔可以与电容器电极重叠。
11、在实施例中，第一栅电极的孔可以与电容器电极的孔重叠。
12、在实施例中，显示装置可以进一步包括：第二有源层，与第一有源层相邻。
13、在实施例中，显示装置可以进一步包括：栅连接电极，通过绝缘层的接触孔将第一栅电极电连接到第二有源层。
14、在实施例中，第一栅电极的孔可以与栅连接电极重叠。
15、在实施例中，第一有源层可以包含多晶硅，并且第二有源层可以包含氧化物。
16、在实施例中，第二有源层可以包含氧化铟镓锌(igzo)或氧化铟镓锌锡(igzto)。
17、在实施例中，显示装置可以进一步包括：第二栅电极，与第二有源层重叠。
18、在实施例中，第二栅电极可以包括孔。
19、在实施例中，第二栅电极的孔可以与第二有源层重叠。
20、在实施例中，绝缘层可以设置在第二栅电极的孔中。
21、在实施例中，显示装置可以进一步包括：栅线，电连接到第二栅电极。
22、在实施例中，显示装置可以进一步包括：绝缘层，具有与栅线重叠的孔。
23、在实施例中，栅线的一部分可以设置在绝缘层的孔中。
24、在实施例中，绝缘层的孔可以与第二有源层相邻。
25、在实施例中，第一栅电极可以包含钛和铝。
26、根据本公开的显示装置，在氢排放工艺期间，氢可以被容易地排放到外部。相应地，可以提高晶体管的质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的整个所述孔不与所述第一有源层重叠。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，绝缘层设置在所述第一栅电极的所述孔中。
4.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述遮光层重叠。
6.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述电容器电极重叠。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述电容器电极的所述孔重叠。
9.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
10.根据权利要求9所述的显示装置，进一步包括：
11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述栅连接电极重叠。
12.根据权利要求9所述的显示装置，进一步包括：
13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述第二栅电
14.根据权利要求13所述的显示装置，其中，所述第二栅电极的所述孔与所述第二有源层重叠。
15.根据权利要求13所述的显示装置，其中，绝缘层设置在所述第二栅电极的所述孔中。
16.根据权利要求12所述的显示装置，进一步包括：
17.根据权利要求16所述的显示装置，进一步包括：
18.根据权利要求17所述的显示装置，其中，所述栅线的一部分设置在所述绝缘层的所述孔中。
19.根据权利要求1-18中任一项所述的显示装置，其中，所述第一栅电极包含钛和铝。
...【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的整个所述孔不与所述第一有源层重叠。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，绝缘层设置在所述第一栅电极的所述孔中。
4.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述遮光层重叠。
6.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述电容器电极重叠。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第一栅电极的所述孔与所述电容器电极的所述孔重叠。
9.根据权利要求1所述的显示装置，进一步包括：
10.根据权利要求9所述的显示装置，进一步包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：崔千基，金桐煜，金铉镐，金亨基，李现范，李薰基，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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