一种高精度片盒转移机构制造技术

本技术公开了一种高精度片盒转移机构，包括轴向移动机构、片盒托架和横移机构。轴向移动机构通过轴向丝杠和电机提供精准的上升下降运动，片盒托架包括支撑梁，确保托举片盒的稳定性。横移机构采用横向丝杠和电机，为轴向移动机构和片盒托架提供前进和后退的准确驱动力。整体设计实现了高精度的片盒转移，有效避免了传统气缸传动中的不准确性和可靠性问题，提高了装置的可靠性和稳定性，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，具体是指一种高精度片盒转移机构。

技术介绍

1、在现有的半导体晶圆槽式湿法清洗设备中，其上下料位置从外围传送片盒到设备内部通常使用气缸做驱动传送，气缸传送位置不够精确，气压过低或气源不纯时容易发生传送不到位的情况，酸气泄露或废气积沉时气缸有腐蚀风险，可靠性不高。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是克服以上的技术缺陷，提供一种高精度片盒转移机构，该机构采用简单的托举及其驱动结构，解决现有晶圆气动传送结构可靠性问题。

2、为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：一种高精度片盒转移机构，包括：

3、轴向移动机构，所述轴向移动机构包括轴向固定架，所述轴向固定架的底部设有底板，所述轴向固定架的内侧设有上安装板和下安装板，所述上安装板和下安装板之间转动设有轴向丝杠，所述轴向丝杠由设置在底板上的轴向电机驱动，所述轴向丝杠上螺纹连接有轴向丝杠螺母；

4、片盒托架，所述片盒托架包括支撑梁，所述支撑梁与轴向丝杠螺母固定连接且支撑梁远离轴向丝杠螺母的一端设有用来托举片盒的若干托架；

5、横移机构，所述横移机构包括横向固定架，所述横向固定架上设有前安装板和后安装板，所述前安装板和后安装板之间转动设有横向丝杠，所述横向丝杠由设置在横向固定架上的横向电机驱动，所述横向丝杠上螺纹连接有横向丝杠螺母，所述横向丝杠螺母固定有支撑固定板且支撑固定板的上端与底板固定。

6、优选地，所述轴向固定架侧面设有轴向导轨，所述支撑梁通过轴向导轨滑块滑动设置在轴向导轨上。

7、优选地，所述横向固定架上设有横向导轨，所述支撑固定板的底部通过横向导轨滑块与横向导轨滑动连接。

8、优选地，所述轴向固定架的侧面设有轴向密封罩，所述轴向密封罩上设有轴向开口，所述支撑梁穿过轴向开口且支撑梁上固定连接有位于轴向开口内侧的轴向活动密封板。

9、优选地，所述横向固定架上设有横向密封罩，所述横向密封罩上设有横向开口，所述支撑固定板穿过横向开口且支撑固定板上安装有位于横向开口上方的横向活动密封板。

10、优选地，所述片盒放置在料台上，所述料台上设有第一工位和第二工位，所述第一工位和第二工位上均设有上料口，所述上料口的四周均设有位置可调的片盒限位块。

11、本技术与现有技术相比的优点在于：

12、本申请的片盒转移机构采用轴向移动机构和横移机构，通过轴向电机和横向电机精确控制片盒托架的上升下降、前进后退速度，避免了气缸传送的不精确性和可靠性不高的问题。轴向移动机构采用轴向丝杠和电机的组合，提供更为稳定和准确的驱动力，避免了气缸传动中的常见问题。横移机构同样采用横向丝杠和电机的结构，为轴向移动机构和片盒托架提供前进和后退的精准驱动力，确保了转移过程的稳定性和准确性。整个转移机构的设计不仅降低了对高纯气体的依赖，从而减少了生产成本，而且通过精准控制机构的运动，避免了传统装置中存在的气压、气源等问题，提高了装置的可靠性和稳定性。因此，本申请的高精度片盒转移机构相对于现有技术具有更高的精度、可靠性和经济性，为半导体晶圆槽式湿法清洗设备的升级提供了有效的解决方案。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高精度片盒转移机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述轴向固定架(1-1)侧面设有轴向导轨(1-2)，所述支撑梁(3-1)通过轴向导轨滑块(1-3)滑动设置在轴向导轨(1-2)上。

3.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述横向固定架(2-1)上设有横向导轨(2-2)，所述支撑固定板(2-7)的底部通过横向导轨滑块(2-3)与横向导轨(2-2)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述轴向固定架(1-1)的侧面设有轴向密封罩(1-8)，所述轴向密封罩(1-8)上设有轴向开口，所述支撑梁(3-1)穿过轴向开口且支撑梁(3-1)上固定连接有位于轴向开口内侧的轴向活动密封板(1-7)。

5.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述横向固定架(2-1)上设有横向密封罩(2-9)，所述横向密封罩(2-9)上设有横向开口，所述支撑固定板(2-7)穿过横向开口且支撑固定板(2-7)上安装有位于横向开口上方的横向活动密封板(2-8)。

6.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述片盒(3-3)放置在料台(4)上，所述料台(4)上设有第一工位(4-3)和第二工位(4-4)，所述第一工位(4-3)和第二工位(4-4)上均设有上料口(4-1)，所述上料口(4-1)的四周均设有位置可调的片盒限位块(4-2)。

...

【技术特征摘要】

1.一种高精度片盒转移机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述轴向固定架(1-1)侧面设有轴向导轨(1-2)，所述支撑梁(3-1)通过轴向导轨滑块(1-3)滑动设置在轴向导轨(1-2)上。

3.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述横向固定架(2-1)上设有横向导轨(2-2)，所述支撑固定板(2-7)的底部通过横向导轨滑块(2-3)与横向导轨(2-2)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种高精度片盒转移机构，其特征在于，所述轴向固定架(1-1)的侧面设有轴向密封罩(1-8)，所述轴向密封罩(1-8)上设有轴向开口，所述支撑梁(3-1)穿过轴向...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚泽熙，董知悦，彭洁，贾世杰，王云飞，魏守冲，
申请(专利权)人：磐石创新江苏电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：